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背面供電成先進制程競爭又一技術(shù)高地,英特爾先發(fā)制人,臺積電、三星加碼跟進

Robot Vision ? 來源:電子發(fā)燒友網(wǎng) ? 作者:李寧遠(yuǎn) ? 2023-09-03 00:01 ? 次閱讀
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電子發(fā)燒友網(wǎng)報道(文/李寧遠(yuǎn))半導(dǎo)體芯片制造領(lǐng)域制程工藝的角逐從來未曾停歇,白熱化的競爭不斷挑戰(zhàn)著摩爾定律的極限。隨著摩爾定律的演進,晶體管越來越小,密度越來越高,堆棧層數(shù)也越來越多。
現(xiàn)今的邏輯半導(dǎo)體具有10至15層甚至更多的多層布線,細(xì)信號線和粗電源線混合在多層布線中,線路層越來越混亂。為了解決芯片設(shè)計線路層混亂的問題,背面供電網(wǎng)絡(luò)BSPDN技術(shù)的應(yīng)用受到越來越多的關(guān)注。
探索背面供電,解決芯片線路設(shè)計兩難
隨著半導(dǎo)體技術(shù)的飛速發(fā)展,先進制程的角逐已經(jīng)圍繞著5nm以下的工藝展開。隨著制程節(jié)點由5nm向3nm、2nm發(fā)展和演進,芯片制造的難度逐步逼近摩爾定律的物理極限,從制程進步中獲得芯片性能提升的難度和成本越來越高。
在越來越小的晶體管中,堆棧層數(shù)越來越多,信號線和電源線在多層布線中混合在一起用于連接晶體管與金屬層。在越來越有限的芯片面積內(nèi),電源線進一步縮小會帶來IR Drop問題,晶體管得不到充足的電力供應(yīng)。
但是如果選擇保證電源線厚度避免電壓降,又會占用更多片內(nèi)信號線的布線空間。在以前的制程節(jié)點中,這一問題并沒有充分暴露出來,而線路層的信號線和電源線設(shè)計在3nm、2nm以及更小制程節(jié)點的演進下陷入兩難的境地。
傳統(tǒng)的供電線路是在正面進行布線,這種供電技術(shù)會影響到金屬層的資源的分配,在電路設(shè)計越來越復(fù)雜的情況下如何處理信號網(wǎng)絡(luò)跟供電網(wǎng)絡(luò)之間的資源排擠問題,是芯片進一步微縮的關(guān)鍵,也是芯片制造面臨的主要挑戰(zhàn)之一。
為了解決這一兩難的困境,業(yè)界不斷探索著新的芯片供電網(wǎng)絡(luò)方案。背面供電網(wǎng)絡(luò)BSPDN技術(shù)正是解決芯片線路設(shè)計兩難境地的革命性技術(shù)。
背面供電技術(shù)BSPDN該技術(shù)最早于2019年IMEC研討會上被提出,是在晶體管三維結(jié)構(gòu)上進行創(chuàng)新,挖掘晶圓背面空間的潛力,將原先和晶體管一同排布的供電網(wǎng)絡(luò)直接轉(zhuǎn)移到晶體管的背面重新排布。
供電問題在晶圓背面解決,IR Drop效應(yīng)明顯下降,芯片性能得以改善,芯片的正面只需要專注于信號互連。
背面供電技術(shù)能帶來的優(yōu)勢遠(yuǎn)遠(yuǎn)不止解決供電問題IR Drop這么單一,物理設(shè)計上的改善,能夠大幅提高芯片利用率,減少時序擁堵等問題;背面供電同時縮減了金屬線長,這意味著時鐘功耗能夠降低、緩沖器數(shù)量減少和主動功耗降低。
綜合這些所有的優(yōu)勢點,采用背面供電技術(shù)和采用傳統(tǒng)供電技術(shù)相比,芯片的性能、能效等系統(tǒng)級指標(biāo)均能夠大幅提升,功耗、面積得以進一步降低。
在2nm賽道摩拳擦掌的臺積電、三星以及英特爾,均在后續(xù)的開發(fā)路線圖上提及了背面供電技術(shù)這一方向。在2nm及以下的制程節(jié)點的競爭上,背面供電技術(shù)無疑是分量很重的一項布局。
巨頭競爭,搶攻背面供電技術(shù)高地
從目前布局開發(fā)背面供電技術(shù)幾家巨頭的進度來看,英特爾是在這條賽道上最激進也有望最先落地背面供電技術(shù)應(yīng)用的一方。根據(jù)英特爾目前已經(jīng)公布的信息,其獨家的背面供電技術(shù)PowerVia將用于18A、20A工藝節(jié)點,并且英特爾已經(jīng)率先在產(chǎn)品級測試芯片上實現(xiàn)了背面供電。
英特爾官方宣布該技術(shù)將在2024年20A制程節(jié)點上正式落地應(yīng)用,這比三星和臺積電暫定的背面供電技術(shù)推出時間都要早。
根據(jù)英特爾的測試,PowerVia將平臺電壓降低了30%,并帶來了6%的頻率增益。同時測試中芯片大部分區(qū)域的標(biāo)準(zhǔn)單元利用率都超過了90%,同時晶體管體積縮小,單元密度大幅增加。為此,英特爾還開發(fā)了新的散熱技術(shù)保證散熱。
當(dāng)前背面供電技術(shù)還面臨著良率和可靠性等方面的挑戰(zhàn),不過從英特爾目前已經(jīng)公布的測試來看,PowerVia的良率和可靠性已經(jīng)較為成熟。所以英特爾在明年正式使用PowerVia背面供電技術(shù)配合20A制程節(jié)點上線把握性還是很大的。
在先進制程的競爭中,三星同樣不甘示弱,其背面供電技術(shù)已經(jīng)在緊鑼密鼓地開發(fā)中。根據(jù)相關(guān)消息,三星目前正在針對背面供電技術(shù)做市場需求調(diào)查,在確保需求充分后,背面供電技術(shù)可能會應(yīng)用到計劃于2025年量產(chǎn)的2nm中以解決使用2nm工藝造成的布線擁塞問題,計劃于2027年量產(chǎn)的1.4nm工藝使用背面供電技術(shù)是可以確定的。
根據(jù)三星披露的其研發(fā)的背面供電技術(shù)測試數(shù)據(jù),兩個基于ARM架構(gòu)的處理器,采用背面供電技術(shù)后,相比采用傳統(tǒng)供電方式,芯片面積分別縮小了10.6%和19%。這意味著內(nèi)部的集成度和性能都能有不小的提升。同時,背面技術(shù)的應(yīng)用使布線長度減少了接近10%,這也能帶來額外的性能優(yōu)勢。
作為另一家巨頭,臺積電也在背部供電上進行著布局,但在技術(shù)推進上稍顯保守。根據(jù)臺積電此前公布的規(guī)劃,臺積電會在2026年推出一個N2P制程節(jié)點,同時在這個工藝上,背面供電技術(shù)將被引入進來。
根據(jù)臺積電透露的相關(guān)技術(shù)數(shù)據(jù),N2P制程技術(shù)將通過背后供電技術(shù)能夠有效減少IR Drop和改善信號,芯片性能提高了10%—12%,并將邏輯面積減少10%—15%。雖然推出時間有些落后,但在背面供電技術(shù)的前期準(zhǔn)備上,臺積電已經(jīng)做了不少相關(guān)的技術(shù)儲備。
三家巨頭中目前在背面供電技術(shù)最領(lǐng)先的無疑是英特爾,不論是從披露的相關(guān)技術(shù)進度、成熟度,還是從量產(chǎn)落地時間來看,英特爾目前都還是很有優(yōu)勢的,相比其他廠商有著兩年左右的領(lǐng)先。尤其是在良率和可靠性上,英特爾目前是最具把握性的。
先進制程的角逐,將在2025年之后,各家2nm以及更先進節(jié)點芯片量產(chǎn)后進入白熱化。而背面供電技術(shù)的成熟度無疑會影響各個巨頭在先進制程角逐中的話語權(quán)。
小結(jié)
雖然它的實現(xiàn)涉及調(diào)試、散熱等諸多難度很高的挑戰(zhàn),但背面供電技術(shù)能夠帶來的優(yōu)勢同樣非常明顯,使用背面供電技術(shù)的芯片在性能和能效上獲得極大的提升,繼續(xù)逼近著摩爾定律的極限。
用更少的能量實現(xiàn)多的擴展性能,該技術(shù)成熟后能給半導(dǎo)體工藝帶來的改變,或許不止這些現(xiàn)在已經(jīng)被發(fā)掘出來的優(yōu)勢。背面供電技術(shù)也被視為繼續(xù)開發(fā)更精細(xì)工藝節(jié)點技術(shù)的基本技術(shù),成為現(xiàn)在芯片晶圓廠正在全力競爭又一個技術(shù)高地。
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