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詳細解讀三星的先進封裝技術(shù)

中科院半導(dǎo)體所 ? 來源:SiP與先進封裝技術(shù) ? 2025-05-15 16:50 ? 次閱讀
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文章來源:SiP與先進封裝技術(shù)

原文作者:Suny Li

本文主要講述三星所用的先進封裝技術(shù)。

集成電路產(chǎn)業(yè)通常被分為芯片設(shè)計、芯片制造封裝測試三大領(lǐng)域。其中,芯片制造是集成電路產(chǎn)業(yè)門檻最高的行業(yè),目前在高端芯片的制造上也只剩下臺積電(TSMC)、三星(SAMSUNG)和英特爾Intel)三家了。

隨著先進封裝技術(shù)的發(fā)展,芯片制造和封裝測試逐漸融合,我們發(fā)現(xiàn),在先進封裝領(lǐng)域的高端玩家,竟然也是臺積電、三星、英特爾三家,而傳統(tǒng)的封測廠商,已經(jīng)被他們遠遠地拋在身后。

那么,這三家的先進封裝到底有什么獨到之處呢?他們?yōu)楹文艹絺鹘y(tǒng)封測廠商,引領(lǐng)先進封裝?今天,我們詳細解讀三星的先進封裝技術(shù)。

在高端芯片制造領(lǐng)域,三星一直試圖與臺積電一爭高下,率先采用GAA全環(huán)繞柵極等最新技術(shù),可惜在良率方面一直被臺積電力壓一頭。

在先進封裝領(lǐng)域,與臺積電和英特爾相比,三星的存在感稍低,在我的印象中,除了FoPLP是三星首創(chuàng)之外,更多的時候,三星是作為一個跟隨者存在。

半導(dǎo)體領(lǐng)域,首先提出技術(shù)的未必能笑到最后,在持久戰(zhàn)中能堅持到最后并勝出的往往不是前浪而是后浪。正如三星曾經(jīng)是HBM的首創(chuàng)和領(lǐng)導(dǎo)者,如今卻被競爭對手超越并在競爭中處于下風。

今天,我們一起來解讀三星的先進封裝技術(shù)。

三星的先進封裝技術(shù)主要分為兩大類:屬于2.5D封裝的I-Cube和屬于3DIC 的X-Cube。為了更加容易理解三星先進封裝技術(shù)的結(jié)構(gòu)和特點,我們可以將其和臺積電,英特爾的先進封裝技術(shù)進行對比。

I-Cube首先分為 I-Cube S和I-Cube E,其中S代表Silicon Interposer, E代表Embedded Silicon Bridge。

I-Cube S

三星對I-Cube S介紹如下, I-Cube S兼具高帶寬和高性能的優(yōu)勢,即使在大中介層下,仍具有出色的翹曲控制能力。它不僅具有超低存儲損失和高存儲密度的特點,同時還大幅改進了熱效率控制能力。

此外,I-Cube S 是一種異構(gòu)技術(shù),將邏輯芯片與一組高帶寬存儲器 (HBM) 裸片水平放置在一個硅中介層上,實現(xiàn)了高算力、高帶寬數(shù)據(jù)傳輸和低延遲等特點。

下圖所示是I-Cube S的示意圖,從圖中可以看出,I-Cube S 和臺積電的CoWoS-S的結(jié)構(gòu)相同,都是將芯片安裝在硅轉(zhuǎn)接板上,然后再安裝在基板上。

wKgZO2gkCiiAKocKAAG11iFDIYU336.png

I-Cube E

I-Cube E 和I-Cube S采用的整體硅轉(zhuǎn)接板不同,I-Cube E 采用將硅橋嵌入RDL Interposer中,不僅具有硅橋的精細成像優(yōu)勢,也同時擁有大尺寸、無硅通孔 (TSV) 結(jié)構(gòu)的RDL 中介層。

這樣,在高密度互連區(qū)域,可以采用硅橋,其它區(qū)域則名采用RDL Interposer進行互連。

下圖所示是I-Cube E的示意圖:

wKgZPGgkCiiAFcn5AAGc_hP3maI512.png

從圖中可以看出,三星的I-Cube E和臺積電的CoWoS-L結(jié)構(gòu)相近,二者都是取經(jīng)Intel的EMIB技術(shù)。

H-Cube

H-Cube采用了混合基板結(jié)構(gòu),首先將Silicon Interposer安裝ABF 基板上,然后再安裝到HDI基板上。

H-Cube 將精細成像的 ABF(Ajinomoto Build-up Film)基板和 HDI(高密度互連)基板技術(shù)相結(jié)合,可在 I-Cube 2.5D 封裝中實現(xiàn)較大的封裝尺寸。

wKgZO2gkCiiAFcOxAAJyPgnbkbw426.png

從結(jié)構(gòu)上看,H-Cube是在I-Cube S的基礎(chǔ)上增加了一層ABF基板,可以進一步提高布線密度。

但從基板技術(shù)的發(fā)展來看,H-Cube應(yīng)該只是一種過渡產(chǎn)品,因為只要HDI基板支持的布線密度足夠高,ABF基板則完全可以省略。因此,三星也沒有將H-Cube單獨分離出來,而是劃分到了I-Cube的類別中。

I-Cube 和H-Cube都屬于2.5D封裝,在三星的劃分中,H-Cube 屬于I-Cube。

X-Cube

X-Cube屬于3D封裝,也可以稱之為3D IC,通過TSV技術(shù)將上下芯片直接進行電氣連接。

X-Cube分為,X-Cube (bump) 和 X-Cube (Hybrid Bonding),區(qū)別就在于上下芯片界面的連接方式,前者采用bump凸點連接,后者采用Hybrid Bonding混合鍵合連接。

下圖所示為X-Cube (bump) 的結(jié)構(gòu)示意圖:

wKgZPGgkCiiAQkzsAAGk7doTyZI676.png

下圖所示為X-Cube (Hybrid bonding) 的結(jié)構(gòu)示意圖:

wKgZO2gkCiiAJgPfAAGNpb2-BOQ312.png

比較可以看出,二者結(jié)構(gòu)完全相同,只是在界面連接上采用不同的技術(shù)。采用了Hybrid bonding界面連接的X-Cube,可實現(xiàn)更高的互連密度和更好的熱傳導(dǎo)系數(shù)。

下面表格是對TSMC,Intel和SAMSUNG的先進封裝技術(shù)的總結(jié),可供讀者參考。

wKgZPGgkCiiAHsIbAAFcyx9_FDA345.png

三星和英特爾因為本身就是芯片制造商,其先進封裝技術(shù)多為自己所用,而臺積電作為純代工廠,本身并無芯片產(chǎn)品,其先進封裝技術(shù)為眾多的大廠所用,市場知名度頗高,這也和本身的市場定位相關(guān)。

英特爾的先進封裝有獨特的技術(shù)特點和優(yōu)點,例如EMIB一開始雖然被業(yè)內(nèi)嘲笑為“膠水”,而后卻因其獨特的優(yōu)點而被臺積電和三星所效仿。

在先進封裝領(lǐng)域,三星更多作為跟隨者,其I-Cube和X-Cube和臺積電的產(chǎn)品有相似的特點,但其產(chǎn)品的知名度和市場影響力相對較低。如果想要趕超臺積電和英特爾,三星還需在先進封裝領(lǐng)域發(fā)力,投入更多的資源和技術(shù)。

不過,先進封裝畢竟是朝陽產(chǎn)業(yè),其技術(shù)成熟度還遠遠沒有達到頂峰。也許有一天,后浪或?qū)⒛苌w過前浪,讓我們拭目以待。

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原文標題:先進封裝技術(shù)解讀 | 三星

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