而蔡司工業(yè)CT計(jì)算機(jī)斷層掃描能在前兩者的基礎(chǔ)上輸出清晰的幾何形狀比較，還有全尺寸量測(cè)、虛擬裝配檢驗(yàn)、孔隙率及探傷分析、材料檢驗(yàn)等功能，同時(shí)還可以用于逆向工程。

可以簡(jiǎn)單概括為，一般型蔡司工業(yè)CT不具有尺寸精度認(rèn)證，所以無(wú)法保證檢測(cè)精度，且多用于缺陷檢測(cè)，著重于2D影像缺陷識(shí)別。而工業(yè)CT具有尺寸精度認(rèn)證，能完整追溯尺寸精度，能應(yīng)用于尺寸測(cè)量、失效分析、各類缺陷檢測(cè)中，具有完整的定位與檢測(cè)功能。

蔡司工業(yè)CT內(nèi)部結(jié)構(gòu)缺陷分析檢測(cè)后會(huì)生成Volume data和STL三角網(wǎng)格資料兩個(gè)主要的檔案。前者主要應(yīng)用于失效分析，可以透過(guò)軟件來(lái)看切層影像, 能透過(guò)灰階切層影像來(lái)做缺陷分析。在檢測(cè)中常用于開(kāi)發(fā)后段, 組裝相關(guān)問(wèn)題分析, 模塊測(cè)試前后分析, 客訴件分析等。后者常見(jiàn)于單材料檢測(cè)，可以與CAD 做比對(duì), 量測(cè)線性尺寸, GD&T 型位公差尺寸等。常用于開(kāi)發(fā)前期，進(jìn)行單一零件問(wèn)題解析與尺寸量測(cè)。