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牛津儀器推出突破性超快ALD產(chǎn)品,用于量子技術(shù)和先進(jìn)研發(fā)

半導(dǎo)體芯科技SiSC ? 來(lái)源:牛津儀器 ? 作者:牛津儀器 ? 2023-10-23 16:20 ? 次閱讀
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來(lái)源:牛津儀器

牛津儀器(Oxford Instruments)推出PlasmaPro ASP系統(tǒng),這是其Atomfab?產(chǎn)品系列中的一款高速原子層沉積(ALD)研究系統(tǒng)。PlasmaPro ASP受益于新的專利遠(yuǎn)程等離子體源設(shè)計(jì)、優(yōu)化的腔室?guī)缀涡螤詈陀糜陔x子能量控制的晶圓臺(tái)偏置。這些特性結(jié)合在一起,為量子應(yīng)用提供了三倍快的ALD速率、低電阻率和高Tc超導(dǎo)氮化物薄膜,這是此次發(fā)布的最初應(yīng)用重點(diǎn)。

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等離子體源設(shè)計(jì)涉及與埃因霍溫理工大學(xué)(TU/e)的合作,該大學(xué)獲得了一個(gè)開(kāi)發(fā)模塊,用于研究等離子體參數(shù)空間并確認(rèn)高速率低損傷源特性。與TU/e聯(lián)合開(kāi)發(fā)后發(fā)表的論文(Innovative remote plasma source for atomic layer deposition for GaN devices)在去年的AVS ALD/ALE。

會(huì)議上榮獲最佳論文獎(jiǎng)。牛津儀器與TU/e的合作一直持續(xù)到工藝開(kāi)發(fā),過(guò)去一年,TU/e一直充當(dāng)量子和其他應(yīng)用的PlasmaPro ASP應(yīng)用開(kāi)發(fā)加速器。

PlasmaPro ASP系統(tǒng)是牛津儀器現(xiàn)有ALD工具集的絕佳補(bǔ)充,旨在通過(guò)創(chuàng)新的高速率源設(shè)計(jì)和超長(zhǎng)機(jī)器正常運(yùn)行時(shí)間,以及直觀軟件用戶界面來(lái)解決關(guān)鍵的量子挑戰(zhàn)。它在生產(chǎn)率和等離子體功能方面與眾不同,為在電子、光子學(xué)和量子技術(shù)領(lǐng)域的研究提供了一些獨(dú)特的機(jī)會(huì)。

審核編輯:湯梓紅

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