N56系列直線壓電馬達是采用壓電微驅(qū)動技術(shù)，即利用壓電微位移致動器實現(xiàn)高精度定位和運動的技術(shù)，將壓電陶瓷在一定電場作用下的微變形量，經(jīng)過結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)換，輸出宏動直線毫米級行程。

直線壓電馬達原理

N56系列壓電馬達具有小體積、高精度、大行程等優(yōu)勢。它的行程可達50mm，速度可達3mm/s，分辨率可達0.05μm，具有斷電自鎖功能?？蛇x配光柵傳感器作為閉環(huán)控制傳感器，完成高精度定位。該系列還具有適用于在真空環(huán)境中使用的真空版本。同時，芯明天還可提供定制服務(wù)，以滿足各類行程、精度要求。

運動效果圖

N56系列壓電馬達特點

1.行程可選10mm、20mm、30mm、50mm

2.斷電自鎖

3.可選1至6維運動版本

4.可選真空版本，可選10^-6或10^-9mbar版本

產(chǎn)品應(yīng)用

N56系列直線壓電馬達可廣泛應(yīng)用在小負載、大行程納米定位、科學(xué)研究、光纖對接、微細加工、原子力顯微鏡、半導(dǎo)體的精密定位和微納操作等領(lǐng)域。

技術(shù)參數(shù)

配套控制器

由芯明天研發(fā)生產(chǎn)的E53.D1E/C1K-J壓電控制器非常適用于驅(qū)動N56系列壓電馬達，它是單通道壓電控制器，尺寸僅105×103×30.1mm^3，采用數(shù)字控制，外觀體積小巧，結(jié)構(gòu)緊湊、易于集成。

審核編輯 黃宇