關(guān)于三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)三次元檢測(cè)設(shè)備校準(zhǔn)步驟，三本精密儀器小編講解如下：

1、檢查計(jì)算機(jī)和有關(guān)備份文件

2、清理三坐標(biāo)導(dǎo)軌。

3、檢查外罩。

4、檢查所有的氣路系統(tǒng)，更換老化的氣管。

5、檢查氣體過濾機(jī)構(gòu)，并對(duì)之進(jìn)行基本保養(yǎng)和維護(hù)。

6、檢查Z 軸安全保護(hù)裝置，檢查氣動(dòng)平衡機(jī)構(gòu)。

7、檢查和清洗氣浮軸承。

8、檢查調(diào)整電氣和機(jī)械行程開關(guān)。

9、檢查和調(diào)整傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，并做常規(guī)保養(yǎng)。

10、檢查和調(diào)整測(cè)量機(jī)水平。

11、檢查和調(diào)整三坐標(biāo)橫梁與XY 工作平面的平行。

12、用激光干涉儀檢測(cè)和補(bǔ)償測(cè)量機(jī)各軸誤差。