北方華創(chuàng)公開(kāi)“半導(dǎo)體設(shè)備及磁控管組件”專(zhuān)利
近日，北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司的“半導(dǎo)體設(shè)備及其磁控管組件”專(zhuān)利正式公布，申請(qǐng)日期為2024年5月7日，編號(hào)為CN117995642A。
該發(fā)明涉及半導(dǎo)體工藝技術(shù)領(lǐng)域，提出的磁控管組件包括至少兩個(gè)滑槽，滑槽兩端分別位于兩個(gè)不同直徑的圓周上，并與轉(zhuǎn)盤(pán)徑向呈一定夾角。每個(gè)滑槽內(nèi)置有一個(gè)或者多個(gè)磁控管或配重，在滑槽中隨轉(zhuǎn)盤(pán)旋轉(zhuǎn)而自由移動(dòng)。同時(shí)，專(zhuān)利還介紹了限位件通過(guò)轉(zhuǎn)軸與轉(zhuǎn)盤(pán)相連，并有多個(gè)限位槽與滑槽相對(duì)應(yīng)，以固定相應(yīng)的磁控管或配重。
此項(xiàng)技術(shù)方案能夠?qū)崿F(xiàn)磁控管在靶材邊緣及內(nèi)側(cè)兩個(gè)位置間的切換和旋轉(zhuǎn)，具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、運(yùn)動(dòng)軌跡清晰、易于操控、使用壽命長(zhǎng)以及可靠性高的優(yōu)勢(shì)。
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