S54.T1S/K-C系列高精度中空式二維壓電偏擺臺
S54.T1S/K-C系列壓電偏擺臺是一款高精度壓電偏擺臺，可產(chǎn)生θx、θy二維偏轉(zhuǎn)運動。整體采用無摩擦柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)設(shè)計，具有響應(yīng)速度快、定位精度高的特點。此款壓電偏擺臺配合閉環(huán)傳感器可實現(xiàn)0.011%F.S.的重復(fù)定位精度，適用于各種高精度應(yīng)用。它的中心具有大型通孔設(shè)計，透光孔徑為110×80mm^2，也適用于透射光應(yīng)用等。產(chǎn)品外觀如下圖所示。
產(chǎn)品特點
01θx、θy二維偏擺
02閉環(huán)重復(fù)定位精度高
03閉環(huán)快速階躍
負(fù)載300g運動0.4mrad的階躍時間可達(dá)25ms
04中心大通孔
產(chǎn)品應(yīng)用
注：圖片來源于網(wǎng)絡(luò)
技術(shù)參數(shù)
| 型號 | S54.T1S/K-C | |
| 運動自由度 | θx，θy | |
| 驅(qū)動控制 | 3路驅(qū)動，2路傳感/3路驅(qū)動 | |
|
標(biāo)稱偏擺角度 （0~120V） |
±0.65mrad | |
|
Max.偏擺角度 （0~150V） |
±0.8mrad | |
| 傳感器類型 | SGS/- | |
| 通孔尺寸 | 110mm×80mm | |
| 閉/開環(huán)偏擺分辨率 | 0.1μrad/0.03μrad | |
| 閉環(huán)線性度 |
θx0.01%F.S.， θy0.009%F.S./- |
|
| 閉環(huán)重復(fù)定位精度 |
θx0.011%F.S.， θy0.023%F.S./- |
|
| 空載諧振頻率 | 445Hz/490Hz | |
| 帶載諧振頻率@300g | 250Hz/300Hz | |
| 階躍時間 | 25ms@0.4mrad，300g/5ms | |
| 承載能力 | 水平方向 | 300g |
| 靜電容量 | 3.6μF/軸 | |
| 材質(zhì) | 不銹鋼、鋁合金 | |
| 重量 | 560g（含線） |
配套控制器
E70系列壓電控制器是一款小體積、大功率、低功耗、高帶寬、低紋波噪聲的三通道壓電陶瓷控制器。它采用DC24V供電，輸出電壓0~120V/150V可選，帶寬可達(dá)10kHz，優(yōu)化傳感伺服模塊提高了PI調(diào)節(jié)與控制的精準(zhǔn)度與穩(wěn)定性，可通過RS-232/RS-422、USB或網(wǎng)口進(jìn)行數(shù)字通信，同時上位機(jī)軟件支持二次開發(fā)，方便快捷。
審核編輯 黃宇
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