在現(xiàn)代工業(yè)和科學(xué)研究領(lǐng)域，對于微小尺寸和位移的精確測量需求日益增長。作為精密測量領(lǐng)域的核心技術(shù)之一，電容測微儀主要用于長度（深度、高度、厚度、直徑、錐度）測量、振動測量、微位移檢測等，憑借其非接觸、高精度等優(yōu)勢，在高端制造、科研及醫(yī)療等領(lǐng)域發(fā)揮關(guān)鍵作用。

芯明天電容測微儀

電容測微儀是一種基于電容變化原理的非接觸式精密測量儀器。其核心原理是通過檢測電容器兩極板之間的電容值變化來反映被測物體的位移量。

芯明天電容測微儀它由電容傳感探頭和傳感及供電組成。它可以測量1mm范圍內(nèi)的微小位移，測量精度高達(dá)納米級。

（1）電容傳感探頭

芯明天電容傳感探頭分為柱型和方型兩種。如下圖所示。

產(chǎn)品特點(diǎn)

? 測量量程可達(dá) 1mm

? 測量分辨率可高達(dá) 1.25nm

? 非接觸式測量，無磨損

? 三電極結(jié)構(gòu)和電場屏蔽環(huán)構(gòu)造

? 可測量所有導(dǎo)電材料

? 探頭對被測件不產(chǎn)生機(jī)械外力

? 主動電場屏蔽設(shè)計

? 適用于潔凈室、真空環(huán)境下使用

? 提供更高的測量精度

? 被測物體導(dǎo)電性強(qiáng)弱不影響測量

典型應(yīng)用

1.晶圓厚度檢測：電容測微儀可以用于半導(dǎo)體晶圓厚度檢測，非接觸式測量可以避免晶圓表面在檢測過程中受到外界應(yīng)力而磨損或損傷，電容傳感器能夠以納米級分辨率精準(zhǔn)測量微小尺寸變化，確保晶圓制造的質(zhì)量和性能，提高良品率。

2.天文望遠(yuǎn)鏡鏡片定位：電容測微儀可測量鏡片之間的相對位置和間距，保證光學(xué)系統(tǒng)的成像質(zhì)量，使望遠(yuǎn)鏡能夠捕捉到更清晰、更遙遠(yuǎn)的天體圖像。

3.精密機(jī)械加工：在精密機(jī)械零件的加工中，電容測微儀可用于測量零件的尺寸精度、表面平整度和加工過程中的微小形變。

4.材料力學(xué)性能測試：在材料拉伸、壓縮等力學(xué)實(shí)驗(yàn)中，電容測微儀可以精確測量材料在受力過程中的微小變形，從而得到材料的應(yīng)力，分析材料的力學(xué)性能參數(shù)。

電容探頭技術(shù)參數(shù)

（2）傳感控制器

芯明天根據(jù)不同應(yīng)用需求，為電容傳感器匹配三種類型控制器，分別是模塊化多通道傳感控制器、單通道小體積傳感控制器和板卡式傳感控制器。

傳感控制技術(shù)參數(shù)

更多詳情歡迎致電芯明天0451-86268790、17051647888（微信同號）！

審核編輯 黃宇