在現(xiàn)代工業(yè)和科學(xué)研究領(lǐng)域，對(duì)于微小尺寸和位移的精確測(cè)量需求日益增長(zhǎng)。作為精密測(cè)量領(lǐng)域的核心技術(shù)之一，電容測(cè)微儀主要用于長(zhǎng)度（深度、高度、厚度、直徑、錐度）測(cè)量、振動(dòng)測(cè)量、微位移檢測(cè)等，憑借其非接觸、高精度等優(yōu)勢(shì)，在高端制造、科研及醫(yī)療等領(lǐng)域發(fā)揮關(guān)鍵作用。

芯明天電容測(cè)微儀

電容測(cè)微儀是一種基于電容變化原理的非接觸式精密測(cè)量?jī)x器。其核心原理是通過(guò)檢測(cè)電容器兩極板之間的電容值變化來(lái)反映被測(cè)物體的位移量。

芯明天電容測(cè)微儀它由電容傳感探頭和傳感及供電組成。它可以測(cè)量1mm范圍內(nèi)的微小位移，測(cè)量精度高達(dá)納米級(jí)。

（1）電容傳感探頭

芯明天電容傳感探頭分為柱型和方型兩種。如下圖所示。

產(chǎn)品特點(diǎn)

? 測(cè)量量程可達(dá) 1mm

? 測(cè)量分辨率可高達(dá) 1.25nm

? 非接觸式測(cè)量，無(wú)磨損

? 三電極結(jié)構(gòu)和電場(chǎng)屏蔽環(huán)構(gòu)造

? 可測(cè)量所有導(dǎo)電材料

? 探頭對(duì)被測(cè)件不產(chǎn)生機(jī)械外力

? 主動(dòng)電場(chǎng)屏蔽設(shè)計(jì)

? 適用于潔凈室、真空環(huán)境下使用

? 提供更高的測(cè)量精度

? 被測(cè)物體導(dǎo)電性強(qiáng)弱不影響測(cè)量

典型應(yīng)用

1.晶圓厚度檢測(cè)：電容測(cè)微儀可以用于半導(dǎo)體晶圓厚度檢測(cè)，非接觸式測(cè)量可以避免晶圓表面在檢測(cè)過(guò)程中受到外界應(yīng)力而磨損或損傷，電容傳感器能夠以納米級(jí)分辨率精準(zhǔn)測(cè)量微小尺寸變化，確保晶圓制造的質(zhì)量和性能，提高良品率。

2.天文望遠(yuǎn)鏡鏡片定位：電容測(cè)微儀可測(cè)量鏡片之間的相對(duì)位置和間距，保證光學(xué)系統(tǒng)的成像質(zhì)量，使望遠(yuǎn)鏡能夠捕捉到更清晰、更遙遠(yuǎn)的天體圖像。

3.精密機(jī)械加工：在精密機(jī)械零件的加工中，電容測(cè)微儀可用于測(cè)量零件的尺寸精度、表面平整度和加工過(guò)程中的微小形變。

4.材料力學(xué)性能測(cè)試：在材料拉伸、壓縮等力學(xué)實(shí)驗(yàn)中，電容測(cè)微儀可以精確測(cè)量材料在受力過(guò)程中的微小變形，從而得到材料的應(yīng)力，分析材料的力學(xué)性能參數(shù)。

電容探頭技術(shù)參數(shù)

（2）傳感控制器

芯明天根據(jù)不同應(yīng)用需求，為電容傳感器匹配三種類型控制器，分別是模塊化多通道傳感控制器、單通道小體積傳感控制器和板卡式傳感控制器。

傳感控制技術(shù)參數(shù)

更多詳情歡迎致電芯明天0451-86268790、17051647888（微信同號(hào)）！

審核編輯 黃宇