一般情況下，單個(gè)激光位移傳感器就可以完成被測(cè)物體的厚度測(cè)量，但難以確保被測(cè)物體與平臺(tái)之間有無(wú)氣隙，是否影響測(cè)量精度。

在電子器件、半導(dǎo)體、能源存儲(chǔ)等精密制造領(lǐng)域，要求工件厚度的極致精準(zhǔn)。

為應(yīng)對(duì)高標(biāo)準(zhǔn)的厚度檢測(cè)，光子精密采用PDH系列激光位移傳感器進(jìn)行對(duì)射測(cè)厚，為企業(yè)的高精度厚度檢測(cè)提供參考。

01 試驗(yàn)原理

通過(guò)兩個(gè)PDH系列激光位移傳感器上下對(duì)稱布局，同步連續(xù)獲取量塊的厚度，結(jié)合高精度運(yùn)動(dòng)平臺(tái)實(shí)現(xiàn)量塊厚度的動(dòng)態(tài)測(cè)量。

測(cè)試樣品：2mm標(biāo)定塊。

測(cè)試儀器：上下各安裝一臺(tái)PDH系列激光位移傳感器，量程50±10mm，重復(fù)精度0.035 μm，線性精度±0.02% of F.S.，采樣速度可達(dá)260KHz。

運(yùn)動(dòng)平臺(tái)：帶動(dòng)量塊進(jìn)行上下移動(dòng)，覆蓋PDH量程內(nèi)的20個(gè)測(cè)量點(diǎn)。

02 測(cè)試數(shù)據(jù)

動(dòng)態(tài)測(cè)試單點(diǎn)重復(fù)性，測(cè)量20次。

03 方案優(yōu)勢(shì)

1.有效消除誤差：對(duì)射測(cè)厚可以有效消除單個(gè)傳感器因氣隙、振動(dòng)等因素引起的誤差。

2.測(cè)量精度高：PDH系列擁有超高的重復(fù)精度與線性精度，結(jié)合260KHz高頻監(jiān)測(cè)，可更精準(zhǔn)更快速地捕捉被測(cè)物體的微小位移變化，大幅提升厚度值的準(zhǔn)確性與可靠性。

3.靈活高效：PDH系列采用新光學(xué)設(shè)計(jì)，光點(diǎn)對(duì)稱性與同步性優(yōu)異，可實(shí)現(xiàn)上下精準(zhǔn)對(duì)射。結(jié)合專用上位機(jī)軟件PDH-Navigator，能夠通過(guò)菜單選項(xiàng)便捷地進(jìn)行配置，實(shí)時(shí)監(jiān)控?cái)?shù)據(jù)變化。

4.測(cè)量場(chǎng)景更廣：PDH系列對(duì)射測(cè)厚可實(shí)現(xiàn)動(dòng)態(tài)厚度檢測(cè)，還可穩(wěn)定檢測(cè)具有復(fù)雜曲面或形狀不規(guī)則的工件，適應(yīng)更多種測(cè)量環(huán)境和對(duì)象。

審核編輯 黃宇