一般情況下，單個激光位移傳感器就可以完成被測物體的厚度測量，但難以確保被測物體與平臺之間有無氣隙，是否影響測量精度。

在電子器件、半導(dǎo)體、能源存儲等精密制造領(lǐng)域，要求工件厚度的極致精準(zhǔn)。

為應(yīng)對高標(biāo)準(zhǔn)的厚度檢測，光子精密采用PDH系列激光位移傳感器進行對射測厚，為企業(yè)的高精度厚度檢測提供參考。

01 試驗原理

通過兩個PDH系列激光位移傳感器上下對稱布局，同步連續(xù)獲取量塊的厚度，結(jié)合高精度運動平臺實現(xiàn)量塊厚度的動態(tài)測量。

測試樣品：2mm標(biāo)定塊。

測試儀器：上下各安裝一臺PDH系列激光位移傳感器，量程50±10mm，重復(fù)精度0.035 μm，線性精度±0.02% of F.S.，采樣速度可達260KHz。

運動平臺：帶動量塊進行上下移動，覆蓋PDH量程內(nèi)的20個測量點。

02 測試數(shù)據(jù)

動態(tài)測試單點重復(fù)性，測量20次。

03 方案優(yōu)勢

1.有效消除誤差：對射測厚可以有效消除單個傳感器因氣隙、振動等因素引起的誤差。

2.測量精度高：PDH系列擁有超高的重復(fù)精度與線性精度，結(jié)合260KHz高頻監(jiān)測，可更精準(zhǔn)更快速地捕捉被測物體的微小位移變化，大幅提升厚度值的準(zhǔn)確性與可靠性。

3.靈活高效：PDH系列采用新光學(xué)設(shè)計，光點對稱性與同步性優(yōu)異，可實現(xiàn)上下精準(zhǔn)對射。結(jié)合專用上位機軟件PDH-Navigator，能夠通過菜單選項便捷地進行配置，實時監(jiān)控數(shù)據(jù)變化。

4.測量場景更廣：PDH系列對射測厚可實現(xiàn)動態(tài)厚度檢測，還可穩(wěn)定檢測具有復(fù)雜曲面或形狀不規(guī)則的工件，適應(yīng)更多種測量環(huán)境和對象。

審核編輯 黃宇