電子發(fā)燒友原創(chuàng) 章鷹

MEMS傳感器是開啟智能感知時代的關(guān)鍵，從智能手機、智能汽車、智能機器人到無人機，MEMS傳感器的身影隨處可見。根據(jù)市場調(diào)研機構(gòu)Yole Development報告，2019年，全球高端慣性傳感器系統(tǒng)市場價值32.4億美元，2025年將達到38億美元的市場規(guī)模。

目前，在高精度慣性傳感器市場，Bosch、ST、TDK、霍尼韋爾等國際領(lǐng)先企業(yè)在MEMS慣性傳感器領(lǐng)域具有長時間積累，產(chǎn)品性能及穩(wěn)定性深受下游用戶信賴。近日，在深圳舉辦的國際傳感器大會上，蘇州億波達微系統(tǒng)技術(shù)有限公司研發(fā)總監(jiān)張裕華表示，在高精度慣性傳感器領(lǐng)域，國外企業(yè)占據(jù)90%的市場份額，高端產(chǎn)品及95%的芯片依賴進口。隨著國家政策大力扶持，MEMS傳感器迎來國產(chǎn)替代黃金發(fā)展期。

慣性傳感器市場持續(xù)增長，MEMS傳感器覆蓋三大細分市場需求

行業(yè)專家表示，在人形機器人領(lǐng)域，慣性傳感器主要負責(zé)機器人姿態(tài)調(diào)整，IMU相當(dāng)于人形機器人的“小腦”，能實時感知機器人的姿態(tài)、角速度和加速度；在工業(yè)領(lǐng)域，慣性傳感器可以精確測量物體的加速度、角速度和姿態(tài)等運動參數(shù)，在一些沒有衛(wèi)星信號覆蓋的工業(yè)環(huán)境中，慣性傳感器可以通過測量物體的運動信息，結(jié)合初識位置和姿態(tài)，實現(xiàn)自主導(dǎo)航和定位功能；在汽車領(lǐng)域，慣性傳感器可以實時監(jiān)測汽車的加速度變化，能監(jiān)測車輛的側(cè)傾、橫擺角速度等運動狀態(tài)。

2022年消費電子、汽車、工業(yè)是MEMS傳感器行業(yè)的最大的三個細分市場，規(guī)模合計達到128億美元。其中陀螺儀、磁力計和慣性傳感器組合，市場規(guī)模合計約為37.83億美元。2025年，全球MEMS傳感器接近2000億美元的市場規(guī)模，在中國MEMS市場的增長率達到10%以上。

根據(jù)Yole Development預(yù)測顯示，未來MEMS傳感器主要器件規(guī)模市場持續(xù)增長，應(yīng)用多元化，發(fā)展迅猛。壓力傳感器會達到24.9億美元，慣性傳感組合將會達到25.56億美元，光學(xué)MEMS將會達到13.04億，加速度計傳感器將達到17.54億美元。

億波達推出四大類MEMS傳感器

億波達是一家專注于MEMS傳感器設(shè)計、制造、封測、以及多傳感器融合系統(tǒng)集成的創(chuàng)新企業(yè)，2021年9月成立，產(chǎn)品可以廣泛應(yīng)用在汽車、無人機、物聯(lián)網(wǎng)、人工智能等領(lǐng)域。公司專注高精度MEMS傳感器，特別是高性能慣性傳感器，用于工業(yè)級慣性傳感器-陀螺儀，零偏不穩(wěn)定性約等于10度，應(yīng)用在工業(yè)設(shè)備、能源平臺，能獲取運動/角速度信息。億波達還推出了高穩(wěn)壓力芯片、單軸加速度計，三軸加速度計、Z軸MEMS陀螺儀、流量計傳感器等產(chǎn)品，均已經(jīng)通過試產(chǎn)和驗證，進入到工程批量產(chǎn)。

加速度計的關(guān)鍵性能指標(biāo)決定了高精度、穩(wěn)定性和適用場景，主要指標(biāo)有零偏穩(wěn)定性、帶寬、噪聲密度、響應(yīng)時間等。億波達EIA-X2002單軸加速度計，量程±2，非線性±0.3，帶寬1200Hz，噪聲5Hz，零偏穩(wěn)定性80μg；EIA-X2010單軸加速度計，量程±10，非線性±0.3，帶寬1800Hz，噪聲8Hz，零偏穩(wěn)定性140μg。

高精度慣性傳感器（如戰(zhàn)術(shù)級/導(dǎo)航級IMU）的性能指標(biāo)遠高于普通商用傳感器，其核心參數(shù)直接影響系統(tǒng)定位、姿態(tài)控制的準(zhǔn)確性。億波達公司研發(fā)總監(jiān)張裕華透露，除了單軸加速度計外，公司也在積極研發(fā)戰(zhàn)術(shù)級的MEMS陀螺儀。
億波達公司的愿景是成為全球MEMS技術(shù)的引領(lǐng)者，目前公司整體人員50多人，碩士、博士占比45%以上。公司首席顧問在MEMS行業(yè)已經(jīng)有二十多年建廠經(jīng)驗，公司不斷推出專利，形成自有的知識產(chǎn)權(quán)，公司已有發(fā)明專利16項，實用新型專利1項，軟件著作權(quán)2項，正在申請的發(fā)明專利3項。