中國集成電路制造年會近日邀請到了光刻機(jī)霸主ASML(阿斯麥)中國區(qū)總裁沈波參加,他出面解答了一些媒體關(guān)心的話題。
盡管UMC(聯(lián)電)和Globalfoundries(格芯)先后宣布放棄7nm制程及更先進(jìn)工藝的研發(fā),但ASML依然對EUV光刻機(jī)的前景表示樂觀。
此前有消息指出,中芯國際(SMIC)今年已向ASML訂購了一臺EUV光刻機(jī),預(yù)計明年交付,用于7nm節(jié)點。
同時,傳統(tǒng)的沉浸式光刻機(jī)方面,沈波稱,今年下半年ASML已開始出貨家族最先進(jìn)的NXT:2000i,很快會在中國市場上也見到。
另外,媒體早先有報道稱,長江存儲、上海華虹半導(dǎo)體分別向ASML訂購了193納米浸沒式光刻機(jī)和193納米雙工件臺沉浸式光刻機(jī)NXT:1980Di,分別用于存儲芯片制造、晶圓代工。
據(jù)悉,ASML今年第一季度和第二季度的財報顯示,大陸市場的銷售收入占比達(dá)到了20%左右,已與美國持平,且超過了***地區(qū)。
ASML今年的EUV光刻機(jī)產(chǎn)能將達(dá)到20臺,明后兩年將逐步提升到40臺。
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