封裝清洗后芯片表面出現(xiàn)的白點(diǎn)可能是多種原因?qū)е碌奈廴疚锘驓埩粑?，具體需結(jié)合清洗工藝、材料和檢測手段綜合分析。以下是可能的原因及解決方案：

1. 助焊劑殘留

原因：

封裝過程中使用的助焊劑（如松香基或水溶性助焊劑）未徹底清洗干凈，殘留物干燥后形成白色結(jié)晶或斑點(diǎn)。

清洗參數(shù)（如溫度、時(shí)間、化學(xué)濃度）不足，導(dǎo)致有機(jī)物殘留。

檢測方法：

FTIR（傅里葉紅外光譜）：檢測有機(jī)物官能團(tuán)（如羧酸、酯類）。

接觸角測試：若表面潤濕性差（接觸角大），表明有機(jī)物殘留。

解決方案：

優(yōu)化清洗工藝（如提高SC2清洗液濃度或延長清洗時(shí)間）。

更換更易清洗的助焊劑（如低殘留型）。

2. 顆粒污染

原因：

清洗液中的微小顆粒（如硅屑、氧化物、灰塵）吸附在芯片表面，干燥后形成白點(diǎn)。

清洗設(shè)備或環(huán)境的潔凈度不足（如空氣過濾器失效、槽體材料脫落）。

檢測方法：

激光粒子計(jì)數(shù)器（LPC）：檢測清洗液中顆粒數(shù)量及尺寸分布。

SEM（掃描電子顯微鏡）：觀察顆粒形狀和成分（如是否為硅、金屬氧化物）。

解決方案：

加強(qiáng)清洗液過濾（如使用0.1 μm PTFE濾芯）。

提升清洗環(huán)境潔凈度（如百級潔凈室、定期更換過濾器）。

3. 化學(xué)沉淀物

原因：

清洗液與芯片表面材料發(fā)生反應(yīng)，生成白色沉淀物（如氟化物、金屬鹽）。

例如：DHF（稀釋氫氟酸）清洗后未徹底漂洗，殘留的氟化物與空氣中的水分結(jié)合形成白色結(jié)晶。

檢測方法：

XPS（X射線光電子能譜）：分析表面元素組成，判斷是否含氟、鈉等離子。

EDS（能譜分析）：識(shí)別沉淀物的化學(xué)成分。

解決方案：

優(yōu)化清洗工藝順序（如DHF清洗后增加DIW沖洗步驟）。

控制清洗液pH值，避免過度腐蝕。

4. 氧化或腐蝕產(chǎn)物

原因：

芯片表面金屬層（如鋁、銅）在清洗過程中被氧化，形成白色氧化物（如Al?O?）。

酸性或堿性清洗液過度腐蝕金屬布線，產(chǎn)生腐蝕產(chǎn)物。

檢測方法：

光學(xué)顯微鏡：觀察白點(diǎn)是否呈均勻分布或局部腐蝕痕跡。

ICP-OES（電感耦合等離子體發(fā)射光譜）：檢測金屬離子濃度是否異常升高。

解決方案：

調(diào)整清洗液濃度或溫度，避免過腐蝕。

增加鈍化處理步驟（如SC2清洗后涂覆保護(hù)層）。

5. 水痕或干燥殘留

原因：

清洗后干燥不徹底，去離子水（DIW）殘留蒸發(fā)后留下白色水漬（尤其當(dāng)水中含微量離子時(shí)）。

IPA（異丙醇）脫水步驟不充分，殘留有機(jī)物形成斑駁痕跡。

檢測方法：

光學(xué)顯微鏡：觀察白點(diǎn)是否呈不規(guī)則水痕分布。

離子污染測試：通過萃取液電導(dǎo)率檢測是否含Na?、Cl?等離子。

解決方案：

優(yōu)化干燥工藝（如提高IPA濃度或增加熱風(fēng)干燥步驟）。

確保DIW水質(zhì)符合標(biāo)準(zhǔn)（電阻率≥18.2 MΩ·cm）。

6. 外部污染引入

原因：

清洗后搬運(yùn)或存儲(chǔ)過程中，芯片表面接觸了外界污染物（如手套粉末、包裝材料纖維）。

測試設(shè)備（如探針臺(tái)）的清潔度不足，引入二次污染。

檢測方法：

熒光染色法：使用紫外燈照射，觀察白點(diǎn)是否發(fā)熒光（外來污染物可能含熒光劑）。

AFM（原子力顯微鏡）：分析表面粗糙度是否異常。

解決方案：

加強(qiáng)操作人員防護(hù)（如佩戴無粉手套）。

清洗后盡快進(jìn)入無塵封裝環(huán)境。

審核編輯 黃宇