晶體管參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)是用于評(píng)估半導(dǎo)體分立器件電氣性能的專業(yè)儀器設(shè)備，其核心功能是對(duì)晶體管的靜態(tài)/動(dòng)態(tài)參數(shù)進(jìn)行精密測(cè)量與特性分析。以下是系統(tǒng)的關(guān)鍵要素解析：

一、系統(tǒng)核心功能

?靜態(tài)參數(shù)測(cè)試?

?基礎(chǔ)參數(shù)?：測(cè)量閾值電壓（Vth）、導(dǎo)通電阻（RDS(on)）、漏電流（I DSS）、擊穿電壓（BVCES）等指標(biāo)

?高精度要求?：漏電流檢測(cè)分辨率達(dá)pA級(jí)（如1.5pA），電壓精度±0.1%

?四線開爾文連接?：消除接觸阻抗誤差，實(shí)現(xiàn)μΩ級(jí)精準(zhǔn)測(cè)量

?動(dòng)態(tài)特性測(cè)試?

?開關(guān)特性?：分析開通/關(guān)斷延遲時(shí)間（td(on)/td(off)）、開關(guān)損耗（Eon/Eoff）

?結(jié)電容參數(shù)?：可選配模塊測(cè)試Ciss（輸入電容）、Crss（反向傳輸電容）、Coss（輸出電容）

?自動(dòng)化與擴(kuò)展能力?

通過Prober/Handler接口（16Bin分檔）連接分選機(jī)，實(shí)現(xiàn)批量測(cè)試（最高10,000件/小時(shí)）

參數(shù)自適應(yīng)分檔算法，支持自動(dòng)分類存儲(chǔ)

二、典型系統(tǒng)架構(gòu)

三、核心應(yīng)用場景

四、技術(shù)演進(jìn)方向

?寬禁帶材料適配?：擴(kuò)展至SiC/GaN器件的高溫測(cè)試（-55℃~175℃）及動(dòng)態(tài)雙脈沖測(cè)試

?智能化升級(jí)?：集成SPC過程監(jiān)控、DMC掃碼追溯功能，提升量產(chǎn)管控效率

?標(biāo)準(zhǔn)符合性?：嚴(yán)格遵循GJB128、JEDEC、AEC-Q100等軍工及行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)

以西安中昊芯測(cè)SC2020為代表的現(xiàn)代系統(tǒng)已發(fā)展為融合精密測(cè)量、自動(dòng)化分選及數(shù)據(jù)分析的半導(dǎo)體研發(fā)/生產(chǎn)核心工具。SC2020是一款完全自主研發(fā)的半導(dǎo)體分立器件電學(xué)參數(shù)測(cè)試專用設(shè)備，面向半導(dǎo)體制造企業(yè)提供晶圓中測(cè)(CP)和封裝終測(cè)(FT)支持，同時(shí)滿足整機(jī)廠商、科研院所的IQC來料檢驗(yàn)、失效分析、器件選型配對(duì)及可靠性驗(yàn)證需求。

審核編輯 黃宇