X-Ray檢測(cè)技術(shù)自20世紀(jì)70年代開始應(yīng)用于工業(yè)領(lǐng)域以來，憑借其在微米范圍內(nèi)對(duì)材料缺陷分析的高精度優(yōu)勢(shì)，逐漸成為無損檢測(cè)領(lǐng)域的重要技術(shù)手段。隨著電子產(chǎn)品的微小化以及對(duì)元部件可靠性要求的不斷提高，X-Ray檢測(cè)技術(shù)在材料無損檢測(cè)中的應(yīng)用日益廣泛，并且隨著技術(shù)的不斷革新，其應(yīng)用范圍也在持續(xù)拓展。

X-Ray檢測(cè)的基本原理

微焦點(diǎn)X-Ray檢測(cè)的核心原理是利用X射線穿透待檢樣品，并在圖像探測(cè)器上形成放大的X光圖像。

圖像的質(zhì)量主要由分辨率和對(duì)比度兩個(gè)關(guān)鍵因素決定。

成像系統(tǒng)的分辨率，即圖像的清晰度，主要取決于X射線源的焦斑大小、X光路的幾何放大率以及探測(cè)器像素的大小。

微焦點(diǎn)X光管的焦斑可以小至幾個(gè)微米，X光路的幾何放大率可達(dá)到10~2500倍，而探測(cè)器像素的尺寸可小到幾十微米。這些因素共同作用，使得微焦點(diǎn)X-Ray檢測(cè)能夠在高放大率下實(shí)現(xiàn)微米范圍內(nèi)的清晰成像。

成像系統(tǒng)的對(duì)比度則取決于圖像探測(cè)器的探測(cè)效率、電子學(xué)系統(tǒng)的信噪比以及合適的X射線能量。

目前，一般的X射線成像技術(shù)能夠獲得優(yōu)于1%的對(duì)比度，這使得微焦點(diǎn)X-Ray檢測(cè)能夠有效區(qū)分材料內(nèi)部的微小差異，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)材料缺陷的精準(zhǔn)檢測(cè)。金鑒實(shí)驗(yàn)室在進(jìn)行試驗(yàn)時(shí)，嚴(yán)格遵循相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)操作，確保每一個(gè)測(cè)試環(huán)節(jié)都精準(zhǔn)無誤地符合標(biāo)準(zhǔn)要求。

微焦點(diǎn)X射線管的結(jié)構(gòu)與原理

• 傳統(tǒng)X射線管：毫米級(jí)焦斑，成像模糊。

微焦點(diǎn)管：電子經(jīng)磁透鏡聚焦為微米級(jí)焦斑，實(shí)現(xiàn)高倍放大下的清晰成像。

X射線探測(cè)器的發(fā)展與應(yīng)用

1. 膠片探測(cè)器

缺點(diǎn)：一次性、高成本、耗時(shí)、化學(xué)污染。

2. 數(shù)字成像技術(shù)

優(yōu)勢(shì)：快速、低成本、可存儲(chǔ)、無化學(xué)廢物，支持放大與自動(dòng)分析。

3. 技術(shù)演進(jìn)

熒光屏（1895年）：早期模擬成像，靈敏度低。

影像增強(qiáng)器（1950年代）：模擬信號(hào)放大，用于非關(guān)鍵工業(yè)場(chǎng)景。

數(shù)字射線成像（DR）：

①線性二極管陣列：靈活尺寸，但高速掃描精度受限。

②CR（計(jì)算機(jī)射線成像）：可重復(fù)使用的光感屏，需中間讀取步驟。

③平板探測(cè)器（非晶硅/非晶硒）：大尺寸、高分辨率，前者速度快，后者精度高。

④CMOS線性陣列：高分辨率，速度介于非晶硅與非晶硒之間。

數(shù)字X射線成像技術(shù)的發(fā)展歷程

• 1895年：倫琴發(fā)現(xiàn)X射線，早期用于醫(yī)學(xué)與工業(yè)檢測(cè)（如鍋爐）。
• 1950年代前：膠片為主，操作繁瑣。
• 1950年代：影像增強(qiáng)器實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)模擬成像。
• 1980年代：CR技術(shù)實(shí)現(xiàn)數(shù)字化，但非實(shí)時(shí)。
• 1990年代后：數(shù)字平板技術(shù)（非晶硅/硒、CMOS）取代膠片，高效、高精度。

目前，非晶硒和非晶硅是主流數(shù)字平板技術(shù)，前者空間分辨率高，后者成像速度快。此外，CMOS X射線平板技術(shù)也具高能量耐受性和高分辨率等優(yōu)勢(shì)。

X射線技術(shù)的案例

案例：MiniLED倒裝芯片焊接缺陷檢測(cè)

委托單位送測(cè)MiniLED燈珠進(jìn)行X-RAY檢測(cè)，排查倒裝芯片是否存在焊接缺陷，結(jié)果顯示芯片焊接存在空洞異常，其中負(fù)極焊盤的空洞比正極更為顯著。

結(jié)論

微焦點(diǎn)X-Ray檢測(cè)技術(shù)憑借其高分辨率和高對(duì)比度的優(yōu)勢(shì)，在材料無損檢測(cè)領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用。未來，隨著技術(shù)的進(jìn)一步革新，微焦點(diǎn)X-Ray檢測(cè)技術(shù)將在更多工業(yè)領(lǐng)域發(fā)揮重要作用，為提高產(chǎn)品質(zhì)量和可靠性提供有力支持。