近日,深圳銳盟半導(dǎo)體有限公司(下文簡稱“銳盟半導(dǎo)體”)官宣完成數(shù)千萬元的pre-A+輪融資,由達(dá)資本、合創(chuàng)資本投資,躍為資本擔(dān)任獨(dú)家財(cái)務(wù)顧問。
這是銳盟半導(dǎo)體一年內(nèi)斬獲的第三筆融資,年度融資規(guī)模已逼近億元。融資資金主要用于拉通產(chǎn)品中試平臺、補(bǔ)充研發(fā)資金等。
銳盟半導(dǎo)體成立于2020年,致力于成為全棧式傳感與執(zhí)行微系統(tǒng)解決方案全球領(lǐng)導(dǎo)者,產(chǎn)品線涵蓋觸覺感知與反饋、壓電散熱微泵、壓電超聲馬達(dá)、壓電超聲清洗等,應(yīng)用領(lǐng)域包括智能汽車、3C電子、智能家居/家電、AR/VR、工業(yè)控制及高性能計(jì)算等。
據(jù)悉,本次融資,投資方主要看重銳盟半導(dǎo)體掌握的基于MEMS制造工藝的壓電散熱微系統(tǒng)技術(shù)。
目前,銳盟半導(dǎo)體正加速推動智能終端及高算力芯片級主動式散熱微系統(tǒng)邁向規(guī)模化商用,是國內(nèi)稀缺的垂直整合型微系統(tǒng)方案商,構(gòu)建了完整的“材料-器件-芯片-算法”技術(shù)閉環(huán)。 值得一提的是,銳盟半導(dǎo)體創(chuàng)始人&CEO黎冰,目前擔(dān)任深圳大學(xué)電子與信息工程學(xué)院副院長、博士生導(dǎo)師,射頻異質(zhì)異構(gòu)集成全國重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室研究員。
黎冰本科畢業(yè)于華中科技大學(xué)電子科學(xué)與技術(shù)專業(yè),博士畢業(yè)于香港中文大學(xué)電子工程系微電子方向,長期從事模擬與混合信號集成電路、異質(zhì)集成微系統(tǒng)等方面的研究,在壓電MEMS傳感器與執(zhí)行器微系統(tǒng)芯片等領(lǐng)域潛心研究近二十年。
黎冰的主要研究興趣包括應(yīng)用于信號處理、通信、音頻、測量等方面的數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換器芯片,MEMS傳感與執(zhí)行微系統(tǒng)芯片,端側(cè)AI SoC芯片,光電融合異質(zhì)集成微系統(tǒng)芯片等相關(guān)領(lǐng)域。
黎冰曾被評為深圳市海外高層次引進(jìn)人才(“孔雀計(jì)劃”),深圳市優(yōu)秀教師,曾擔(dān)任IEEE電路與系統(tǒng)學(xué)會深圳分會主席。

散熱成AI時(shí)代剛需,MEMS技術(shù)帶來新突破,銳盟半導(dǎo)體布局四大產(chǎn)品線
隨著AI終端算力爆發(fā),散熱逐漸成為性能釋放的關(guān)鍵瓶頸。以搭載第三代驍龍8s處理器的旗艦機(jī)型為例,其NPU算力達(dá)50TOPS,功耗密度同比提升40%,運(yùn)行Stable Diffusion等生成式模型時(shí),CPU與GPU協(xié)同功耗瞬間突破8W,機(jī)身溫度15分鐘內(nèi)飆升至45℃,觸發(fā)強(qiáng)制降頻,導(dǎo)致實(shí)時(shí)AI處理、語音交互等功能卡頓。
本輪投資方毅達(dá)資本投資總監(jiān)姚博稱:
隨著AI大模型在端側(cè)設(shè)備的滲透率不斷提高,散熱問題已經(jīng)成為行業(yè)內(nèi)共識且亟待解決的核心痛點(diǎn)。依靠現(xiàn)有被動散熱解決方案已無法滿足急劇攀升的散熱需求。銳盟團(tuán)隊(duì)基于多年在壓電陶瓷器件的積累為客戶提供了創(chuàng)新型的壓電散熱微系統(tǒng),對比現(xiàn)有散熱方案在尺寸、換熱效率等層面實(shí)現(xiàn)了跨越式的提升,有望引領(lǐng)未來散熱系統(tǒng)發(fā)展的趨勢。
銳盟半導(dǎo)體黎冰認(rèn)為“從市場需求來看,由于AI大模型興起,云端和終端側(cè)芯片的散熱需求都極為迫切?!?/p>
此外,黎冰強(qiáng)調(diào),芯片散熱的未來是面向封裝級、晶圓級的主動散熱技術(shù)。在早期采用的機(jī)械風(fēng)扇方案中,雖然其能提供一定的散熱能力,但面臨著空間占用與輕薄化沖突、可靠性與壽命短板、噪音體驗(yàn)不佳等痛點(diǎn)。因此,這些痛點(diǎn)使得機(jī)械風(fēng)扇難以適配厚度≤7mm的超薄手機(jī)、AR眼鏡等新興終端,行業(yè)急需更微型化、可靠的主動散熱方案。
2024年5月,銳盟半導(dǎo)體舉行全棧式傳感與執(zhí)行微系統(tǒng)全新戰(zhàn)略發(fā)布會,發(fā)布四大產(chǎn)品線,分別為MagicCool壓電散熱微泵、MagicTa觸覺感知與反饋、MagicEng壓電超聲馬達(dá)和MagicClear壓電超聲清洗。
MagicCool壓電散熱微泵采用射流式結(jié)構(gòu),是全球首顆單芯片微泵驅(qū)動芯片,內(nèi)置實(shí)時(shí)追頻算法。擁有靜音高背壓高流星和高凈換熱系數(shù),在多個(gè)模式下自動切換。其尺寸小巧,低至11*11*2mm的微型單模塊尺寸,可應(yīng)用于手機(jī)、電腦、汽車方向盤和VR眼鏡等產(chǎn)品中。
MagicCool散熱微泵產(chǎn)品實(shí)現(xiàn)了毫米級厚度與工業(yè)級散熱效能的突破性平衡,是基于壓電MEMS技術(shù)、與現(xiàn)有半導(dǎo)體和先進(jìn)封裝工藝兼容的全棧式散熱方案,通過高頻壓電振動,帶動氣體或液體的流動,從而實(shí)現(xiàn)高效散熱。
從具體性能指標(biāo)來看,該產(chǎn)品在100mm2*2mm的尺寸下流量達(dá)2 L/min、功耗達(dá)200 mW、背壓達(dá)420 Pa、換熱系數(shù)達(dá)330 W/(m^2*K),關(guān)鍵指標(biāo)已實(shí)現(xiàn)領(lǐng)先?!澳壳埃疽雅c多家頭部終端進(jìn)行量產(chǎn)項(xiàng)目的深度合作,即將實(shí)現(xiàn)批量出貨。”黎冰透露。

MagicTa觸覺感知與反饋融合主動式超聲波觸覺感知技術(shù),打破了材質(zhì)間的障礙,做到了多手勢的精準(zhǔn)識別。它擁有智能壓電觸覺反饋系統(tǒng)和高壓任意驅(qū)動波形綜合器,瞬時(shí)響應(yīng)低至500us,獲得了能量回收架構(gòu)的專利,可應(yīng)用于電腦、手機(jī)無線充電器、云服務(wù)器和VR眼鏡等產(chǎn)品中。

MagicEng壓電超聲馬達(dá)達(dá)到了納米級別的驅(qū)動精度,采用高精度閉環(huán)運(yùn)動控制算法,可實(shí)現(xiàn)零阻尼快速穩(wěn)定。在斷電時(shí)自動鎖定,避免高頻振動的損害。此外該馬達(dá)擁有超過百克的推力,速度最大可達(dá)100mm/s。可應(yīng)用于汽車、監(jiān)控?cái)z像頭、手機(jī)、VR眼鏡和無人機(jī)等產(chǎn)品中。

MagicClear是一套壓電超聲震動清洗方案,搭配全球首顆超聲清洗專用SOC芯片,內(nèi)置污漬監(jiān)測與多震動模態(tài)算法。擁有高速清潔加熱能力,可以根據(jù)客戶定制化結(jié)構(gòu)尺寸。該方案可應(yīng)用于汽車后視鏡、監(jiān)控?cái)z像頭、無人機(jī)和智能駕駛汽車等產(chǎn)品中。

? 用MEMS技術(shù)造“風(fēng)扇”,對傳統(tǒng)散熱的顛覆,MEMS領(lǐng)域的又一藍(lán)海市場
MEMS是Micro-Electro-MechanicalSystem的縮寫,中文名稱是微機(jī)電系統(tǒng)。MEMS芯片簡而言之,就是用半導(dǎo)體技術(shù)在硅片上制造電子機(jī)械系統(tǒng),再形象一點(diǎn)說就是做一個(gè)微米納米級的機(jī)械系統(tǒng),這個(gè)機(jī)械系統(tǒng)可以把外界的物理、化學(xué)信號轉(zhuǎn)換成電信號。
MEMS技術(shù)是21世紀(jì)最具革命性的高新技術(shù)之一,目前,在MEMS麥克風(fēng)、慣性傳感器、壓力傳感器、投影儀DLP芯片、打印機(jī)噴墨頭等領(lǐng)域,MEMS器件實(shí)現(xiàn)了顛覆性的應(yīng)用,MEMS器件的出現(xiàn)大大推動和擴(kuò)展了傳統(tǒng)器件的應(yīng)用邊界。
在MEMS技術(shù)應(yīng)用中,傳感器和執(zhí)行器是最主要的兩大類應(yīng)用,MEMS傳感器包括MEMS聲學(xué)傳感器(硅麥克風(fēng))、MEMS慣性傳感器(加速度計(jì)、陀螺儀、磁力計(jì))、MEMS壓力傳感器等。MEMS執(zhí)行器包括MEMS噴墨頭、MEMS微流控芯片、射頻MEMS、MEMS振蕩器等。
銳盟半導(dǎo)體所從事的MagicCool壓電散熱微泵則屬于執(zhí)行器類,該器件亦被稱為MEMS冷卻器(MEMS Cooling)

壓電散熱微泵利用壓電效應(yīng):壓電晶體能將形變和電壓互相轉(zhuǎn)換,當(dāng)它受到擠壓,形狀發(fā)生變化的時(shí)候,就會產(chǎn)生電壓;反過來,給壓電晶體施加一個(gè)外加的電壓,它就會產(chǎn)生形變。
利用這個(gè)性質(zhì),我們就能給它通上電,讓片狀壓電晶體在往復(fù)的電壓驅(qū)動下震動,做成一個(gè)壓電風(fēng)扇或者說振動結(jié)構(gòu)。

但是,利用這一原理制造的傳統(tǒng)壓電“風(fēng)扇”,風(fēng)量小,風(fēng)速低,甚至需要四周完全空曠,才能吹起一點(diǎn)點(diǎn)風(fēng)。
除了不能使用電動機(jī)、需要避免維修的場合,這種壓電風(fēng)扇基本沒有使用價(jià)值。

這時(shí)候,MEMS技術(shù)發(fā)揮了重要作用,通過重新設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu),在硅片等材料上,用光刻機(jī)雕了成百上千個(gè)微小的壓電風(fēng)扇,還有配套的電路和風(fēng)道。

▲微觀壓電MEMS風(fēng)扇結(jié)構(gòu)示意,來源:xMEMS
一個(gè)壓電“風(fēng)扇”能力小,但成千上萬個(gè)壓電風(fēng)扇就能飛起來,這就像“折筷子”的故事。

強(qiáng)勁的風(fēng)與散熱片充分接觸,在相同散熱面積下,最多能產(chǎn)生傳統(tǒng)散熱器五倍的散熱效果。

▲來源:Frore Systems
結(jié)語
當(dāng)前,全球MEMS冷卻器(散熱微泵)市場仍處于起步階段,國外xMEMS、Frore Systems等企業(yè)相繼推出各自的壓電MEMS冷卻器方案。
隨著AI技術(shù)的普及,對端側(cè)算力要求增強(qiáng),依賴風(fēng)扇的傳感芯片散熱方案局限性日益顯現(xiàn)——占用空間大、能耗高、散熱效果一般,壓電MEMS冷卻器正成為AI時(shí)代智能設(shè)備的散熱新選擇。
在智能手機(jī)時(shí)代,MEMS硅麥克風(fēng)替代傳統(tǒng)駐極體麥克風(fēng),是智能手機(jī)、TWS耳機(jī)越做越薄、越做越小的關(guān)鍵之一,同時(shí),眾多MEMS傳感器賦予智能手機(jī)、AIOT設(shè)備各種智能感知能力。
在AI芯片級散熱的龐大需求下,MEMS冷卻器,有望重復(fù)MEMS傳感器先輩們的成功。
本文部分資料來自:
硬氪《深圳大學(xué)教授創(chuàng)業(yè)AI芯片主動式散熱,「銳盟半導(dǎo)體」再獲數(shù)千萬融資|硬氪首發(fā)》
差評《拿光刻機(jī)生產(chǎn)的電風(fēng)扇,散熱手段怎么能這么極限》
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銳盟半導(dǎo)體用MEMS技術(shù)造風(fēng)扇,深大教授又拿到數(shù)千萬元融資(又一個(gè)藍(lán)海市場)
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