去離子水沖洗是半導(dǎo)體、微電子等領(lǐng)域的關(guān)鍵工藝步驟，其正確操作直接影響產(chǎn)品的潔凈度和性能。以下是標(biāo)準(zhǔn)化流程及注意事項：

一、前期準(zhǔn)備

設(shè)備檢查與校準(zhǔn)

• 確保去離子水系統(tǒng)的電阻率≥18 MΩ·cm（符合ASTM D5127標(biāo)準(zhǔn)），定期檢測水質(zhì)避免離子污染。
• 確認沖洗設(shè)備的噴嘴無堵塞或泄漏，壓力穩(wěn)定在設(shè)定范圍內(nèi)（通常0.2–0.5 MPa）。
• 若使用自動化機械臂或旋轉(zhuǎn)臺，需提前調(diào)試運動軌跡以保證覆蓋全部待清洗區(qū)域。

樣品預(yù)處理

• 移除明顯可見的大顆粒污染物（如灰塵、碎屑），防止劃傷表面或堵塞過濾器。
• 根據(jù)材料特性選擇合適的夾具或載具，避免金屬離子析出（優(yōu)先選用PFA/PTFE材質(zhì)）。

二、核心操作步驟

1. 初步噴淋（粗洗）

目的：快速沖走松散附著的雜質(zhì)和殘留化學(xué)品。
方法：以較低流速從頂部向下垂直噴淋，持續(xù)30秒至1分鐘，使水流均勻覆蓋整個表面。
?注意：避免高壓直射導(dǎo)致薄層損傷（如光刻膠翹邊）。

2. 多角度循環(huán)沖洗（精洗）

關(guān)鍵動作：采用雙向交叉噴淋或旋轉(zhuǎn)噴頭，確保每個角度均被清洗到。例如：

• 水平方向左右擺動噴嘴；
• 配合樣品自轉(zhuǎn)（如晶圓旋轉(zhuǎn)臺）實現(xiàn)全方位覆蓋。
  時間控制：單次循環(huán)不少于2分鐘，重復(fù)2–3次以提高清潔效率。

3. 溢流浸泡（可選但推薦）

適用場景：復(fù)雜結(jié)構(gòu)件（如溝槽、孔洞較多的MEMS器件）。將樣品浸沒于流動的去離子水中，利用流體動力學(xué)帶走微小顆粒。
時長建議：根據(jù)污染程度調(diào)整為1–5分鐘，期間保持水溫恒定（避免熱應(yīng)力）。

4. 梯度減壓排液

操作要點：關(guān)閉主供水閥后，逐步降低排水口高度，利用重力緩慢排出廢液，減少湍流引起的二次污染。
技巧：最后用氮氣吹掃表面殘余水滴，而非直接擦干，防止纖維脫落。

三、關(guān)鍵參數(shù)控制