矽睿科技成立于2012年，專注于高質(zhì)量傳感器產(chǎn)品的設(shè)計(jì)、制造、以及增值應(yīng)用與服務(wù)，致力于成為以應(yīng)用為導(dǎo)向的多傳感器平臺。矽?？萍紦碛型耆灾髦R產(chǎn)權(quán)，產(chǎn)品包括多款MEMS傳感器、磁性傳感器芯片、及汽車與物聯(lián)網(wǎng)智能模組和系統(tǒng)。

矽?？萍级嗄赀M(jìn)入“中國MEMS10強(qiáng)”企業(yè)名單，是我國磁傳感器、慣性傳感器主要廠商之一。矽?？萍加?023年1月公開IPO上市輔導(dǎo)備案情況，擬在中國A股上市。

5. 士蘭微電子股份有限公司

杭州士蘭微1997年成立，是國內(nèi)規(guī)模最大的集成電路芯片設(shè)計(jì)與制造一體（IDM）的企業(yè)之一。自2010年開始，士蘭微電子投入大量資金，通過對加速度傳感器、地磁傳感器、壓力傳感器等一系列傳感器產(chǎn)品的開發(fā)，在6吋、8吋芯片生產(chǎn)線上實(shí)現(xiàn)了批量制造能力。

目前士蘭微MEMS傳感器產(chǎn)品系列豐富，包括：MEMS加速度計(jì)、三軸AMR磁傳感器、六軸慣性傳感器、高性能MEMS麥克風(fēng)、數(shù)字三合一傳感器、心率傳感器、高性能氣壓壓力傳感器等。

6. 敏芯微電子技術(shù)股份有限公司

敏芯股份成立于2007年，是一家專業(yè)從事微電子機(jī)械系統(tǒng)傳感器研發(fā)設(shè)計(jì)的高新技術(shù)企業(yè)，主導(dǎo)推動了中國MEMS產(chǎn)業(yè)鏈構(gòu)建，被贊譽(yù)為產(chǎn)業(yè)拓荒者。2020年8月登陸上海證券交易所科創(chuàng)板，為中國MEMS芯片第一股。

敏芯股份的三大產(chǎn)品線分別為MEMS麥克風(fēng)、MEMS壓力傳感器和MEMS慣性傳感器35。敏芯股份是中國MEMS聲學(xué)傳感器芯片出貨量第一的企業(yè)，在全球排第三，也是唯一進(jìn)入全球前5的中國企業(yè)。

7. 納芯微電子股份有限公司

納芯微電子成立于2013年，是高性能高可靠性模擬芯片的研發(fā)設(shè)計(jì)企業(yè)，專注于圍繞各個(gè)應(yīng)用場景進(jìn)行產(chǎn)品開發(fā)。公司由傳感器信號調(diào)理ASIC芯片出發(fā)，向前后端拓展了集成式傳感器芯片、隔離與接口芯片、驅(qū)動與采樣芯片，形成了信號感知、系統(tǒng)互聯(lián)與功率驅(qū)動的產(chǎn)品布局。

納芯微電子是一家非常年輕但成長快速的國產(chǎn)傳感器芯片企業(yè)，2022年4月納芯微成功在上交所科創(chuàng)板上市，創(chuàng)下中國傳感器&半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)史上最貴IPO首發(fā)價(jià)的股票記錄。

8. 華潤微集成電路有限公司

華潤微電子是2002年華潤集團(tuán)收購華晶集團(tuán)改組而成，是領(lǐng)先的半導(dǎo)體和智能傳感器供應(yīng)商，總部位于無錫。公司擁有3條6英寸線，其中MEMS產(chǎn)線是國內(nèi)規(guī)模最大的與CMOS生產(chǎn)線兼容的MEMS傳感器量產(chǎn)生產(chǎn)線，具有國內(nèi)領(lǐng)先水平的MEMS表面和體硅加工技術(shù)。

華潤微電子8吋MEMS的3000片/月產(chǎn)能擴(kuò)充已經(jīng)完成，并投入使用35。光電及MEMS麥克風(fēng)工藝平臺從6英寸升級到8英寸，實(shí)現(xiàn)批量生產(chǎn)，產(chǎn)品性能及良率水平優(yōu)秀。

9. 美新半導(dǎo)體有限公司

美新半導(dǎo)體（MEMSIC）成立于1999年，是目前總部位于中國天津，曾于2007年在美國納斯達(dá)克上市，被譽(yù)為全球MEMS第一股。美新半導(dǎo)體是全球領(lǐng)先的慣性MEMS傳感器及解決方案提供商，也是中國最大的MEMS慣性傳感器企業(yè)。

2020年，美新獲得mCube獨(dú)家授權(quán)其所有慣性傳感器芯片技術(shù)，全面布局電容式加速度計(jì)和陀螺儀領(lǐng)域，開發(fā)了基于標(biāo)準(zhǔn)CMOS流程的微機(jī)電系統(tǒng)和全球領(lǐng)先的制造工藝和測試技術(shù)。

10. 河北美泰電子科技有限公司

美泰科技是中國電子科技集團(tuán)第十三研究所全資子公司，中國MEMS行業(yè)協(xié)會理事長單位，專門致力于MEMS（微電子機(jī)械系統(tǒng)）器件與系統(tǒng)的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。連續(xù)多年榮獲“中國半導(dǎo)體MEMS十強(qiáng)企業(yè)”，是國內(nèi)最大的MEMS核心芯片、器件和系統(tǒng)產(chǎn)品供應(yīng)商，中國MEMS技術(shù)領(lǐng)導(dǎo)者。

美泰科技擁有自己的MEMS傳感器芯片產(chǎn)線，是一家IDM企業(yè)。2015年中電十三所的“6英寸SOI MEMS標(biāo)準(zhǔn)加工技術(shù)及在高性能MEMS器件中的應(yīng)用”通過科技部組織的專家驗(yàn)收。

技術(shù)創(chuàng)新與發(fā)展趨勢

MEMS超聲波傳感器技術(shù)正朝著多個(gè)方向快速發(fā)展：

智能化與AI融合：傳感器正向AI集成方向發(fā)展，結(jié)合機(jī)器學(xué)習(xí)優(yōu)化障礙物識別與距離測量精度。奧迪威等企業(yè)正在致力于研發(fā)創(chuàng)新，隨著人工智能技術(shù)的融合，MEMS傳感器將具備更強(qiáng)大的信號處理和識別能力。

小型化與低功耗設(shè)計(jì)：基于MEMS技術(shù)的微型傳感器成為趨勢，功耗降低50%以上，適用于可穿戴設(shè)備及物聯(lián)網(wǎng)終端。奧迪威的AW101傳感器就是這一趨勢的代表作品，尺寸僅為傳統(tǒng)傳感器的十分之一。

多傳感器融合：超聲波傳感器與LiDAR、視覺傳感器融合，提升復(fù)雜環(huán)境下的檢測可靠性。例如在自動駕駛系統(tǒng)中，通過卡爾曼濾波等算法對多源數(shù)據(jù)進(jìn)行融合處理，可以顯著提高障礙物檢測的精度和魯棒性。

無鉛化環(huán)保趨勢：歐盟RoHS對相關(guān)含鉛產(chǎn)品的豁免期是2026年7月21日，屆時(shí)傳統(tǒng)產(chǎn)品的市場將讓位于無鉛壓電新材料。奧迪威與蘭州大學(xué)共同合作開發(fā)無鉛壓電新材料技術(shù)，已取得階段性成果。

應(yīng)用領(lǐng)域拓展

MEMS超聲波傳感器的應(yīng)用領(lǐng)域正在不斷擴(kuò)展：

汽車電子與自動駕駛：隨著自動駕駛等級的不斷提升，智能汽車對各類型傳感器的數(shù)量、性能及精度都有更高要求。奧迪威的車載超聲波傳感器2006年進(jìn)入汽車制造廠商的前裝供應(yīng)鏈，實(shí)現(xiàn)了對博世、法雷奧、日本村田等國際廠商的進(jìn)口替代。

智能家居與物聯(lián)網(wǎng)：智能家居和物聯(lián)網(wǎng)（IoT）是MEMS超聲波TOF傳感器最主要的需求來源。奧迪威的超聲波材質(zhì)識別技術(shù)基于超聲波不受光線、顏色影響的特點(diǎn)，利用不同材質(zhì)對聲波的吸收能力不同而造成的回波差異，通過回波檢測技術(shù)分辨出不同材質(zhì)。

工業(yè)自動化：工業(yè)4.0和機(jī)器人應(yīng)用對精確測距、定位和材料檢測的需求激增4。MEMS TOF傳感器廣泛應(yīng)用于機(jī)器人避障和生產(chǎn)線質(zhì)量控制等場景4。奧迪威傳感器采用特殊的封裝設(shè)計(jì)和信號處理算法，能夠在各種環(huán)境條件下穩(wěn)定工作4。

人形機(jī)器人與智能制造：傳感器為人形機(jī)器人提供了與外界交互的能力，是實(shí)現(xiàn)其智能化的關(guān)鍵。據(jù)相關(guān)資料顯示，特斯拉Optimus機(jī)器人上各類傳感器成本占比接近30%。

發(fā)展機(jī)遇與挑戰(zhàn)

對中國MEMS超聲波傳感器企業(yè)來說，當(dāng)前面臨著多重發(fā)展機(jī)遇：

政策支持：中國政府高度重視傳感器產(chǎn)業(yè)發(fā)展，相繼出臺了一系列政策支持新型高性能傳感器技術(shù)研發(fā)。這為奧迪威等企業(yè)提供了良好的政策環(huán)境。

市場需求增長：隨著新能源汽車、智能汽車產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，對傳感器的需求持續(xù)增長。中國作為全球最大的汽車市場，為本土傳感器企業(yè)提供了廣闊的市場空間。

產(chǎn)業(yè)鏈完善：中國在電子制造領(lǐng)域的產(chǎn)業(yè)鏈優(yōu)勢明顯，從材料、制造到應(yīng)用形成了完整體系，有利于傳感器企業(yè)降低成本提高競爭力。

然而，挑戰(zhàn)也不可忽視：國際巨頭在技術(shù)積累和專利布局方面仍有較大優(yōu)勢；高端人才短缺問題突出；需要持續(xù)的高研發(fā)投入以保持技術(shù)競爭力。

隨著智能汽車、人形機(jī)器人和物聯(lián)網(wǎng)應(yīng)用的普及，MEMS超聲波傳感器市場將持續(xù)擴(kuò)大。

中國傳感器企業(yè)如奧迪威正憑借無鉛壓電新材料、PMUT技術(shù)和小型化設(shè)計(jì)，逐步打破國際廠商壟斷。

未來幾年，本土企業(yè)有望在細(xì)分領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)彎道超車，推動更多“中國智造”傳感器產(chǎn)品走向世界舞臺，為全球智能化發(fā)展提供關(guān)鍵技術(shù)支撐。