Coherent Astrella? 超快放大器與 KMLabs XUUS4? 高次諧波發(fā)生系統(tǒng)相結(jié)合，可提供穩(wěn)定、高質(zhì)量的相干 EUV 光，光子能量范圍在 25-50 eV 之間，光通量水平可滿足一系列科學(xué)應(yīng)用的需要。

激光器的發(fā)明徹底改變了近幾十年來科學(xué)技術(shù)的面貌。與此類似，最近開發(fā)的波長大幅縮短的桌面級相干激光源、EUV 和軟 X 射線也可能會對需要在這些短波長下具有類似激光性能的科學(xué)和技術(shù)應(yīng)用產(chǎn)生變革性影響。相干 EUV 是通過高峰值功率超快激光器驅(qū)動的高次諧波發(fā)生 (HHG) 過程產(chǎn)生的。HHG 光源的應(yīng)用包括 EUV 平版印刷術(shù)、光譜學(xué)、顯微鏡以及分子級磁性材料、和納米系統(tǒng)的動態(tài)研究。根據(jù)應(yīng)用要求，HHG 光源特性可以進(jìn)行定制，以獲得高達(dá) 30 meV/0.1 nm 的阿秒時間分辨率或能量/光譜分辨率，或?qū)崿F(xiàn)空間分辨率高達(dá) 12 nm 的相干成像。

在 HHG 過程中，強(qiáng)飛秒激光聚焦到氣體介質(zhì)中，氣體就會在場電離過程中會產(chǎn)生高次諧波。然而，優(yōu)化實(shí)現(xiàn) HHG 源并不意味著只需將光聚焦到氣體射流或氣室中即可：轉(zhuǎn)換為 EUV 的效率取決于多個參數(shù)，并且可能存在幾個數(shù)量級的變化。在早期的實(shí)驗(yàn)中，目標(biāo)只是觀察高次諧波的產(chǎn)生，這種優(yōu)化(相位匹配)并非關(guān)鍵因素。但隨著這些光源被用于更具挑戰(zhàn)性的現(xiàn)實(shí)應(yīng)用中，實(shí)現(xiàn)盡可能高的通量對于成功而言越來越重要。過去，科學(xué)家常常僅僅花費(fèi) 1-3 年的時間就能實(shí)現(xiàn)一種光源。即便如此，在 EUV 中進(jìn)行通量測量仍然很困難且容易出錯，導(dǎo)致光源可能未經(jīng)過優(yōu)化且功率不足，從而阻礙了所需應(yīng)用的成功。成功實(shí)施基于 HHG 的 EUV 光源需要采用全面的方法來簡化通量和光譜測量，并實(shí)現(xiàn)可靠的 EUV 通量規(guī)格。

KMLabs 開發(fā)了通過空心波導(dǎo)中的相位匹配轉(zhuǎn)換來提高 EUV 生成效率的技術(shù)，并在其商用 XUUS4? 產(chǎn)品中進(jìn)一步優(yōu)化了該技術(shù)。主力 HHG“桌面 X 射線激光”系統(tǒng)的三個關(guān)鍵要素是：(1) 強(qiáng)大的高平均功率、高重復(fù)率飛秒驅(qū)動激光器;(2) 用于產(chǎn)生高次諧波的優(yōu)化實(shí)施差動泵浦氣體靶幾何結(jié)構(gòu);(3) EUV 傳輸系統(tǒng)，旨在最大限度減少損失并管理熱負(fù)荷。這樣就有可能為應(yīng)用提供穩(wěn)定的高質(zhì)量輸出光束。KMLabs 數(shù)年來一直提供 XUUS4? 系統(tǒng)，作為與 Dragon? 和 Wyvern? 超快激光系統(tǒng)完全集成的指定系統(tǒng);但是，XUUS4? 和光束線系統(tǒng)可由其他具有適當(dāng)脈沖持續(xù)時間、光束質(zhì)量和穩(wěn)定性規(guī)格的高質(zhì)量超快激光器(例如 Coherent Astrella?)驅(qū)動。

超短波長桌面級相干激光源、極紫外(EUV)和軟 X 射線技術(shù)為激光技術(shù)應(yīng)用迎來了顛覆性的突破。由高峰值功率超快激光器驅(qū)動高次諧波(HHG)產(chǎn)生的相干 EUV，已在 EUV 平版印刷、光譜學(xué)、顯微鏡及分子動力學(xué)研究等領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。然而，穩(wěn)定的HHG光源制備并非易事。 Coherent Astrella 與 KMLabs XUUS4TM 高次諧波發(fā)生系統(tǒng)的協(xié)同創(chuàng)新，成功實(shí)現(xiàn) 25-50 nm 波長極紫外光的穩(wěn)定輸出，為科研人員突破技術(shù)邊界提供了全新可能。

實(shí)現(xiàn)緊湊型 EUV 光源

Astrella 具備穩(wěn)定可靠的高能量脈沖輸出能力，助力桌面級 EUV 實(shí)驗(yàn)平臺輕松搭建，無需龐大復(fù)雜的設(shè)備，提高了科研的便利性。

提升 HHG 性能

憑借卓越的脈沖穩(wěn)定性和光束質(zhì)量，Astrella確保諧波輸出的一致性和高效率，解決了 HHG 研究中常見的穩(wěn)定性不足問題，為實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)的可靠性提供堅(jiān)實(shí)保障。

倍受科研領(lǐng)域的青睞

Astrella 已在眾多前沿實(shí)驗(yàn)室廣泛應(yīng)用，支持先進(jìn)光譜學(xué)、材料科學(xué)和阿秒物理學(xué)等研究領(lǐng)域，其可靠的性能和強(qiáng)大的功能，已成為科研人員探索未知的得力助手。

審核編輯 黃宇