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湖北鼎龍控股投資近4億元 建成目前國(guó)內(nèi)唯一的集成電路芯片CMP拋光墊產(chǎn)研基地

半導(dǎo)體動(dòng)態(tài) ? 來(lái)源:工程師吳畏 ? 2019-01-30 15:12 ? 次閱讀
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集成電路芯片有一個(gè)關(guān)鍵制程——化學(xué)機(jī)械拋光,最多需要反復(fù)128次。國(guó)際先進(jìn)的芯片制造廠已使用7納米制程工藝,1納米相當(dāng)于6萬(wàn)分之一根頭發(fā)絲,難度可想而知。過(guò)去,國(guó)內(nèi)拋光所用關(guān)鍵材料——CMP拋光墊,幾乎全部依賴(lài)進(jìn)口。位于武漢經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)的湖北鼎龍控股股份有限公司(以下簡(jiǎn)稱(chēng)“鼎龍股份”)投資近4億元,經(jīng)過(guò)6年的艱苦研發(fā),建成目前國(guó)內(nèi)唯一、國(guó)際先進(jìn)的集成電路芯片CMP拋光墊產(chǎn)研基地,并承擔(dān)起國(guó)家“02專(zhuān)項(xiàng)”。

鼎龍股份創(chuàng)始人、董事長(zhǎng)朱雙全1月29日接受長(zhǎng)江日?qǐng)?bào)記者采訪時(shí)說(shuō):“創(chuàng)業(yè)最困難的時(shí)候,我們?cè)疫^(guò)一家風(fēng)投公司,愿意以500萬(wàn)元出讓控股權(quán),但還是被拒于門(mén)外?!?/p>

從激光打印復(fù)印耗材產(chǎn)業(yè)起步,到進(jìn)入光電半導(dǎo)體領(lǐng)域。因?yàn)楦谊J敢干,朱雙全、朱順全朱氏兄弟和鼎龍股份團(tuán)隊(duì),一次次在國(guó)外巨頭壟斷的領(lǐng)域開(kāi)辟出中國(guó)企業(yè)的生存空間,矢志培育核心產(chǎn)業(yè)的國(guó)產(chǎn)供應(yīng)鏈。

挑戰(zhàn)最高難度系數(shù) 闖入打印耗材關(guān)鍵領(lǐng)域?yàn)橹袊?guó)發(fā)聲

2001年下海創(chuàng)業(yè)之初,鼎龍股份選擇了一個(gè)細(xì)分品類(lèi)——碳粉用電荷調(diào)節(jié)劑。彼時(shí),打印耗材產(chǎn)業(yè)鏈下游的碳粉、墨粉全被國(guó)外大公司壟斷。他們找了很多上游的大公司,希望加入其供應(yīng)鏈,對(duì)方不約而同地問(wèn)一句話:“你們中國(guó)人怎么能做這個(gè)?技術(shù)從哪里來(lái)?”

“這個(gè)圈子里沒(méi)有中國(guó)企業(yè),鼎龍偏要闖進(jìn)去;沒(méi)有現(xiàn)成技術(shù),鼎龍自己干出來(lái)!”朱雙全帶著一幫從國(guó)企出來(lái)的研發(fā)人員,開(kāi)始艱難跋涉?!白铍y的是頭兩年,產(chǎn)品打不開(kāi)市場(chǎng),融資非常困難,有陣子公司賬上連出國(guó)的機(jī)票都付不起,只能私人借錢(qián)?!?/p>

剛有點(diǎn)起色時(shí),又碰到個(gè)難題。日本、歐美客戶(hù)來(lái)參觀考察,公司里的關(guān)鍵設(shè)備“排場(chǎng)”不夠大。朱雙全硬著頭皮去武漢理工大學(xué)檢測(cè)中心借,那里的設(shè)備從沒(méi)離開(kāi)過(guò)實(shí)驗(yàn)室,怎么可能借出去給小民企?他用真誠(chéng)打動(dòng)了中心負(fù)責(zé)人,借來(lái)設(shè)備不說(shuō),老師們還穿上白大褂到鼎龍股份幫忙。

鼎龍股份用了3年時(shí)間,成功打入激光打印行業(yè)世界第二的美國(guó)lexmark公司的全球供應(yīng)鏈,替代了日本企業(yè)。通用耗材關(guān)鍵領(lǐng)域第一次有了“中國(guó)聲音”。在與國(guó)際巨頭的合作中,鼎龍股份逐步建立起了自己的知識(shí)產(chǎn)權(quán)體系,培養(yǎng)了核心人才團(tuán)隊(duì)。

2006年開(kāi)始有了規(guī)模盈利,鼎龍股份又一頭扎向彩色聚合碳粉的研發(fā)。這是打印復(fù)印耗材領(lǐng)域技術(shù)難度最大的產(chǎn)品,鼎龍股份花了6年時(shí)間,從零起步,最終實(shí)現(xiàn)大規(guī)模產(chǎn)業(yè)化,打破了日本企業(yè)20多年的全球壟斷。時(shí)至今日,鼎龍股份仍是國(guó)內(nèi)唯一的彩色碳粉供應(yīng)商,并已將國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手邊緣化。

朱雙全坦言,這確實(shí)是很大的冒險(xiǎn),國(guó)內(nèi)一些大型企業(yè)、高校曾展開(kāi)攻關(guān),均半途而廢。鼎龍股份幾乎把所有盈利全部投入其中,上市前沒(méi)有給股東分過(guò)一分錢(qián)紅利。

為芯片拋光 給柔性屏“打底”在光電及半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)接連破局

2018年11月,工信部、財(cái)政部公布全國(guó)首批國(guó)家新材料生產(chǎn)應(yīng)用示范平臺(tái)建設(shè)入選項(xiàng)目名單,鼎龍股份作為國(guó)內(nèi)唯一一家擁有集成電路制程關(guān)鍵材料——CMP拋光墊全制程技術(shù)及產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)能力的企業(yè),和其他18家集成電路行業(yè)領(lǐng)軍企業(yè)一起入選。

這份名單展示了一個(gè)與人們傳統(tǒng)印象不一樣的鼎龍股份。事實(shí)上,鼎龍股份官網(wǎng)顯示的公司兩大主營(yíng)業(yè)務(wù)中,光電及半導(dǎo)體材料已然排在了激光打印復(fù)印耗材之前。

近年來(lái),武漢大力發(fā)展“芯屏端網(wǎng)”產(chǎn)業(yè),長(zhǎng)江存儲(chǔ)、京東方、天馬、華星光電等企業(yè)生產(chǎn)線紛紛落地,形成了武漢目前投資規(guī)模最大、技術(shù)要求最高、產(chǎn)業(yè)配套最復(fù)雜的產(chǎn)業(yè)集群。鼎龍股份正是布局較早(2012年開(kāi)始涉足)且已逐步實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化的、為數(shù)不多的上游關(guān)鍵材料研發(fā)、供應(yīng)商之一,建成了國(guó)內(nèi)唯一、國(guó)際先進(jìn)的集成電路芯片CMP拋光墊產(chǎn)研基地和我國(guó)首條柔性OLED用聚酰亞胺漿料生產(chǎn)線。業(yè)內(nèi)評(píng)價(jià),鼎龍股份打破了國(guó)外企業(yè)多年的全球壟斷,而且可有效促進(jìn)我國(guó)半導(dǎo)體集成電路產(chǎn)業(yè)和面板顯示產(chǎn)業(yè)所需材料的國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程。

拋光是為了保證芯片有更好的性能及結(jié)構(gòu)的穩(wěn)定性。CMP拋光墊是晶圓芯片制程中“卡脖子”的關(guān)鍵材料,此前,生產(chǎn)技術(shù)主要被美國(guó)、日本等幾家大公司掌握,其中某全球500強(qiáng)公司壟斷了85%的市場(chǎng)份額。

CMP即化學(xué)機(jī)械拋光,是指在晶圓制造過(guò)程中,使用化學(xué)及機(jī)械力對(duì)晶圓進(jìn)行平坦化處理的技術(shù)。晶圓制造過(guò)程中需要反復(fù)使用CMP工藝,這個(gè)過(guò)程好比蓋大樓,每蓋好一層,就需要打磨、保證結(jié)構(gòu)穩(wěn)定才能繼續(xù)往上蓋。集成電路已經(jīng)做到了128層,拋光最多也可達(dá)128次。CMP技術(shù)能夠?qū)崿F(xiàn)晶片全局平坦化,是目前效果最好、應(yīng)用最廣泛的平坦化技術(shù)。而拋光墊的力學(xué)性能和表面組織特征對(duì)于平坦化的效果非常關(guān)鍵,是CMP工藝的技術(shù)核心和價(jià)值核心。

為什么要選擇這樣的“硬骨頭”來(lái)啃?朱雙全說(shuō):“從自主研發(fā)激光打印復(fù)印耗材領(lǐng)域核心高技術(shù)產(chǎn)品起步,再到進(jìn)入半導(dǎo)體和光電顯示產(chǎn)業(yè),我們有一個(gè)比較清晰的發(fā)展思路——瞄準(zhǔn)‘國(guó)內(nèi)急需但又依賴(lài)進(jìn)口的相關(guān)產(chǎn)業(yè)細(xì)分領(lǐng)域’,主攻高技術(shù)門(mén)檻的新材料產(chǎn)品?!?/p>

選擇光電顯示產(chǎn)業(yè),也是如此。柔性顯示屏代表了顯示屏的未來(lái)方向。為了實(shí)現(xiàn)“柔”,一種替代玻璃基板的柔性顯示高分子基材——聚酰亞胺(PI漿料)是關(guān)鍵。OLED柔性顯示屏制造過(guò)程有多道工序,PI漿料是應(yīng)用在最底層的,其作用是替代OLED底層玻璃的關(guān)鍵材料,其上再疊加TFT發(fā)光材料、顯示材料等后,通過(guò)蒸鍍、沉積、退火等400多攝氏度高溫制程處理,用激光剝離成一張薄膜。

PI漿料目前幾乎全部依賴(lài)進(jìn)口,鼎龍股份下屬的武漢柔顯公司經(jīng)自主研發(fā),產(chǎn)品已率先通過(guò)國(guó)內(nèi)某知名面板廠商O(píng)LED產(chǎn)線測(cè)評(píng),其國(guó)內(nèi)首條1000噸大規(guī)模PI漿料生產(chǎn)線也正在建設(shè)中,今年將建成。

培育完整的國(guó)產(chǎn)供應(yīng)鏈 在國(guó)產(chǎn)替代領(lǐng)域不斷“填空白”

想要在高端制造領(lǐng)域不受制于人,必須培育國(guó)產(chǎn)供應(yīng)鏈。

朱雙全介紹說(shuō):“過(guò)去國(guó)外競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手經(jīng)常用這個(gè)卡我們。在研發(fā)階段,我們就很注重培育國(guó)產(chǎn)化供應(yīng)鏈,帶動(dòng)供應(yīng)企業(yè)一起成長(zhǎng)。一方面是出于供應(yīng)安全考慮,另一方面也能進(jìn)一步降低成本。”

鼎龍股份在研發(fā)彩色聚合碳粉時(shí),一種關(guān)鍵的納米顏料必須向德國(guó)企業(yè)購(gòu)買(mǎi),一公斤要2000元,而且因?yàn)楦?jìng)爭(zhēng)關(guān)系,對(duì)方對(duì)鼎龍股份有諸多限制。為此,鼎龍股份選定了江蘇一家原本只能做普通工業(yè)級(jí)顏料的工廠,提出相關(guān)要求并給予技術(shù)支持,幫助其升級(jí)成為能夠生產(chǎn)專(zhuān)業(yè)級(jí)納米顏料的企業(yè),采購(gòu)價(jià)格降到了不到原來(lái)的1/4。

在光電和半導(dǎo)體新材料領(lǐng)域,這個(gè)問(wèn)題同樣存在。上游產(chǎn)業(yè)鏈中關(guān)鍵材料、關(guān)鍵設(shè)備、關(guān)鍵儀器幾乎全部依賴(lài)從發(fā)達(dá)國(guó)家進(jìn)口。下游應(yīng)用企業(yè)從風(fēng)險(xiǎn)角度考慮,一般不愿輕易去做國(guó)產(chǎn)替代,導(dǎo)致新材料企業(yè)產(chǎn)品應(yīng)用推廣困難。

朱雙全說(shuō),“芯屏端網(wǎng)”產(chǎn)業(yè)鏈上游關(guān)鍵材料的研發(fā)、生產(chǎn)及產(chǎn)業(yè)化,資本人才投入大、技術(shù)門(mén)檻高、國(guó)外知識(shí)產(chǎn)權(quán)封鎖嚴(yán)重。他呼吁政府牽頭,建設(shè)關(guān)鍵產(chǎn)業(yè)新材料的應(yīng)用測(cè)試公共平臺(tái),下游企業(yè)優(yōu)先試用,使用本地國(guó)產(chǎn)化新材料,把更多機(jī)會(huì)留給國(guó)內(nèi)企業(yè)(特別是創(chuàng)新型民企),大家一起來(lái)解決在這幾個(gè)核心產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域嚴(yán)重依賴(lài)進(jìn)口的問(wèn)題。

發(fā)展至今,鼎龍股份作為高技術(shù)創(chuàng)新的上市公司,在國(guó)產(chǎn)替代領(lǐng)域不斷“補(bǔ)短板”“填空白”,是2018年國(guó)家創(chuàng)新示范企業(yè)、工信部制造業(yè)單項(xiàng)冠軍企業(yè)和湖北省隱形冠軍企業(yè)。

朱雙全的辦公桌上擺著一只四足鼎模型。在他看來(lái),鼎代表強(qiáng)大,也代表制度與規(guī)范,鼎還有革新之意,寓意未來(lái)的創(chuàng)新。

“中國(guó)民營(yíng)企業(yè)能夠發(fā)展到一定規(guī)模,都是闖出來(lái)、干出來(lái)的。在創(chuàng)業(yè)早期,除了一個(gè)想法,除了一股干勁,除了對(duì)一個(gè)市場(chǎng)領(lǐng)域或者一類(lèi)產(chǎn)品的創(chuàng)新機(jī)會(huì)的認(rèn)識(shí),我們什么都沒(méi)有,就是憑著破釜沉舟的精神去干起來(lái)?!敝祀p全說(shuō),“鼎龍的這股干勁一直不會(huì)丟,還有更大的天地等著我們?nèi)リJ!”

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    的頭像 發(fā)表于 12-25 18:36 ?1961次閱讀

    單面拋光吸附是什么?

    單面拋光吸附拋光技術(shù)領(lǐng)域中的種重要配件,主要用于晶圓等半導(dǎo)體材料的單面拋光過(guò)程中。以下是對(duì)單面拋光
    的頭像 發(fā)表于 12-13 11:04 ?428次閱讀
    單面<b class='flag-5'>拋光</b>吸附<b class='flag-5'>墊</b>是什么?

    賽微電子發(fā)布澄清公告,51億元MEMS芯片產(chǎn)線終止原因公開(kāi)

    近期,多家媒體報(bào)道了賽微電子此前于安徽合肥高新區(qū)總投資51億元建設(shè)的12吋MEMS制造線項(xiàng)目停止推進(jìn)的消息,備受產(chǎn)業(yè)關(guān)注,相關(guān)信息參看《安徽5112吋MEMS芯片
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    賽微電子發(fā)布澄清公告,51<b class='flag-5'>億元</b>MEMS<b class='flag-5'>芯片</b><b class='flag-5'>產(chǎn)</b>線終止原因公開(kāi)