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　　一、前言

　　真空泵是一種旋轉(zhuǎn)式變?nèi)菡婵毡茫氂星凹壉门浜戏娇墒褂?。其作用就是從真空室中抽除氣體分子，降低真空室內(nèi)的氣體壓力，使之達(dá)到要求的真空度。在較寬的壓力范圍內(nèi)有較大的抽速，對被抽除氣體中含有灰塵和水蒸汽不敏感。真空泵分類廣泛，主要有WLW系列真空泵、W型真空泵、2X型真空泵、ZJ型真空泵、2SK型真空泵、SK型真空泵、2BV型真空泵、MH-2型真空泵、TLZ型真空泵、SL型羅茨鼓風(fēng)機(jī)、JZJX型真空泵、JZJS型真空泵、JZJWLW型真空泵、JZJP型真空泵、RPP型真空泵、2XZ型真空泵等型號。

　　二、傳統(tǒng)真空泵的控制問題

　　真空泵的負(fù)載隨著真空度的增加而減小。在容器內(nèi)空氣阻力大時(shí)，真空泵往往工作在過載狀態(tài)，隨著真空度的增加，電流下降，電機(jī)正常工作。當(dāng)容器密封正常時(shí)，電機(jī)在過載狀態(tài)下工作時(shí)間短，不會(huì)造成燒電機(jī)的事情發(fā)生;當(dāng)容器密封下降時(shí)，電機(jī)在過載狀態(tài)下工作時(shí)間延長，就會(huì)有燒電機(jī)的現(xiàn)象發(fā)生。

　　為解決泵過載的問題，傳統(tǒng)上采用以下方法：

　　1) 采用機(jī)械式自動(dòng)調(diào)壓旁通閥。

　　旁通閥安裝在羅茨真空泵的出口和入口之間的旁通管路上。此閥控制泵出入口之間的壓差不超過額定值。當(dāng)壓差達(dá)到額定值時(shí)，閥門靠壓差作用自動(dòng)打開，使羅茨真空泵出口和入口相通，使出入口之間的壓差迅速降低，這時(shí)羅茨真空泵在幾乎無壓差的負(fù)荷下工作。當(dāng)壓差低于額定值時(shí)，閥自動(dòng)關(guān)閉，氣體通過羅茨真空泵內(nèi)由前級泵抽走。帶有旁通溢流閥的羅茨真空泵可以與前級泵同時(shí)啟動(dòng)，使機(jī)組操作簡單方便。

　　2) 采用液力聯(lián)軸器

　　采用液力聯(lián)軸器也能防止泵的過載現(xiàn)象發(fā)生，使泵可以在高壓差下工作。液力聯(lián)軸器安裝在泵和電動(dòng)機(jī)之間。在正常工作狀態(tài)下，液力聯(lián)軸器由電動(dòng)機(jī)端向泵傳遞額定力矩。羅茨真空泵的最大壓差由液力聯(lián)軸器所傳遞的最大轉(zhuǎn)矩來決定，而液力聯(lián)軸器可傳遞的最大轉(zhuǎn)矩由其中的液體量來調(diào)節(jié)。當(dāng)泵在高壓差下工作或與前級泵同時(shí)啟動(dòng)時(shí)，在液體聯(lián)軸器內(nèi)部產(chǎn)生了轉(zhuǎn)速差即滑動(dòng)，只傳遞一定的力矩，使泵減速工作。隨著抽氣的進(jìn)行，氣體負(fù)荷減小，羅茨真空泵逐漸加速至額定轉(zhuǎn)速。

　　3) 采用真空電氣組件控制泵入口壓力

　　在羅茨真空泵的入口管路處安置真空膜盒繼電器或電接點(diǎn)真空壓力表等壓力敏感組件。真空系統(tǒng)啟動(dòng)后，當(dāng)羅茨真空泵入口處壓力低于給定值(泵允許啟動(dòng)壓力)時(shí)，壓力敏感組件發(fā)出信號，經(jīng)電氣控制系統(tǒng)開啟羅茨真空泵(如真空系統(tǒng)中裝有羅茨真空泵旁通管路，則同時(shí)關(guān)閉旁通管路閥門)。若泵入口壓力高于規(guī)定值時(shí)，則自動(dòng)關(guān)閉羅茨真空泵(或同時(shí)打開泵旁通管路閥門)，從而保證了羅茨真空泵的可靠運(yùn)轉(zhuǎn)。

　　顯然以上方法結(jié)構(gòu)復(fù)雜、成本高，控制精度差，能源浪費(fèi)嚴(yán)重，已經(jīng)不能適應(yīng)設(shè)備發(fā)展的要求。

　　三、普通的變頻器應(yīng)用方案

　　為了保護(hù)電機(jī)，部分真空泵廠家采用變頻器，用電流互感器和電流變送器檢測電機(jī)的實(shí)際電流，然后將轉(zhuǎn)換后的模擬量信號輸入變頻器，讓變頻器做PID運(yùn)算，從而控制電機(jī)的電流和電機(jī)的轉(zhuǎn)速，最后達(dá)到保護(hù)電機(jī)的目的。

　　由左圖可以看出其控制回路復(fù)雜，雖然變頻器能夠?qū)崿F(xiàn)電流的閉環(huán)PID控制，但控制精度不高，轉(zhuǎn)換復(fù)雜。無法區(qū)分電機(jī)堵轉(zhuǎn)電流和正常負(fù)載電流，可能造成電機(jī)長時(shí)間工作在堵轉(zhuǎn)狀態(tài)，造成燒電機(jī)。控制效果不太理想。