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      電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>顯示及光電>PECVD沉積SiO2和SiN對(duì)P-GaN有什么影響

      PECVD沉積SiO2和SiN對(duì)P-GaN有什么影響

      2018-12-17 | pdf | 0.31 MB | 次下載 | 免費(fèi)

      資料介紹

      在等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積法PECVD沉積 SiO2和 SiN掩蔽層過程中!分解等離子體中濃度較高的H原子使MG受主鈍化!同時(shí)在P-GaN材料表面發(fā)生反應(yīng)形成淺施主特性的N空位。

      等離子 GaN PECVD
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