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      電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>機械電子>磷吸雜工藝研究

      磷吸雜工藝研究

      2009-03-07 | rar | 211 | 次下載 | 10積分

      資料介紹

      磷吸雜在晶體管芯片制造過程中對改善芯片表面態(tài)堯減少漏電流等起著重要作用，文中確定了方塊電阻為6-8贅/陰淵歐姆/方塊冤的磷吸雜工藝條件，并對過程的相關(guān)影響因素進行分析和探討，同時提出了解決方法。
      關(guān)鍵詞 磷吸雜 晶體管 芯片制造 工藝
      工藝
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