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      中圖儀器全自動晶圓檢測機輕松測量wafer套刻偏移量

      2022-04-20 | pdf | 0.47 MB | 次下載 | 免費

      資料介紹

      中圖儀器全自動晶圓檢測機可對Wafer的關鍵尺寸進行檢測，對套刻偏移量的測量，以及Wafer表面3D形貌、粗糙度的測量，包括鐳射切割的槽寬、槽深等自動測量。300*300mm真空吸附平臺，最大可支持12寸Wafer的自動測量，配置掃描槍，可實現(xiàn)產(chǎn)線的全自動化生產(chǎn)需求。

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