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有著“納米眼”之稱的白光干涉儀，是一款在縱向分辨率上可實(shí)現(xiàn)0.1nm的分辨率和測(cè)量可靠性的光學(xué)測(cè)量?jī)x器。
白光干涉儀采用的光學(xué)輪廓測(cè)量法可以非接觸式測(cè)量非平坦樣品，輕松測(cè)量出彎曲和其他非平面表面，還可以測(cè)出曲面的表面光潔度、紋理和粗糙度等，同時(shí)不會(huì)像探針是輪廓儀那樣損壞薄膜。
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