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標(biāo)簽 > 多晶硅
多晶硅,是單質(zhì)硅的一種形態(tài)。熔融的單質(zhì)硅在過冷條件下凝固時(shí),硅原子以金剛石晶格形態(tài)排列成許多晶核,如這些晶核長成晶面取向不同的晶粒,則這些晶粒結(jié)合起來,就結(jié)晶成多晶硅。
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下圖顯示了Intel的第6代晶體管(6T)SRAM尺寸縮小時(shí)間表,以及多晶硅柵刻蝕技術(shù)后從90nm到22nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)6TSRAM單元的SEM圖像俯視視圖...
磷酸硅(Si3(PO4)4)和氨氣(NH3)這兩種副產(chǎn)品都可以溶于水。LOCOS工藝的場(chǎng)區(qū)氧化層生成后(或USG研磨和STI退火處理后),這個(gè)技術(shù)至今仍...
隨著可持續(xù)發(fā)展觀念深入人心,光伏行業(yè)作為能源可持續(xù)發(fā)展的重要載體,呈現(xiàn)規(guī)模迅速擴(kuò)大、技術(shù)進(jìn)步顯著、成本持續(xù)下降的發(fā)展態(tài)勢(shì)。光伏發(fā)電在中國、歐洲、美國、日...
用于刻蝕多晶硅表面的HF-HNO3-H2SO4/H2O混合物
硅表面常用的HF-HNO3-H2O蝕刻混合物的反應(yīng)行為因?yàn)榱蛩峒尤攵艿斤@著影響。HF (40%)-HNO3 (65%)-H2SO4 (97%)混合物的...
硅的堿性刻蝕液:氫氧化鉀、氫氧化氨或四甲基羥胺(TMAH)溶液,晶片加工中,會(huì)用到強(qiáng)堿作表面腐蝕或減薄,器件生產(chǎn)中,則傾向于弱堿,如SC1清洗晶片或多晶...
太陽能光伏板的主要材料是硅,通常采用單晶硅、多晶硅或非晶硅等不同類型的硅片制成,以吸收和轉(zhuǎn)換太陽光為電能。
平面互補(bǔ)場(chǎng)效應(yīng)晶體管替代金屬柵工藝流程
該工藝是指在形成層間介質(zhì)層(ILD)后,插入工序以形成高k介質(zhì)和金屬柵疊層,即在化學(xué)機(jī)械拋光(露出多晶硅柵疊層)后,刻蝕掉硬掩模(氮化硅/氧化硅),利用...
SEMI-e 第六屆深圳國際半導(dǎo)體技術(shù)暨應(yīng)用展覽會(huì)將持續(xù)關(guān)注產(chǎn)業(yè)核心技術(shù)和發(fā)展前沿,向20多個(gè)應(yīng)用領(lǐng)域提供一站式采購與技術(shù)交流平臺(tái)。
inFET 技術(shù)有幾個(gè)含義。最重要的是,硅鰭片的高度和寬度尺寸是由制造工藝決定的,而不是由電路設(shè)計(jì)者決定的。這意味著每個(gè)晶體管的寬度尺寸是由柵極多晶硅穿...
Zeta光學(xué)輪廓儀的太陽能電池量測(cè)解決方案
Zeta光學(xué)輪廓儀廣泛應(yīng)用于太陽能電池的生產(chǎn)工藝流程中,包括: (i)用于硅片切割的金剛石線檢測(cè);(ii)硅片表面粗糙度、翹曲和邊緣倒角的量化;(iii...
當(dāng)晶體管尺寸縮小時(shí),多晶硅內(nèi)摻雜物的擴(kuò)散效應(yīng)可能會(huì)影響器件的性能。
2023-06-11 標(biāo)簽:CMOS多晶硅場(chǎng)效應(yīng)管 2262 0
BSIM5模型從基本的一維MOSFET物理學(xué)出發(fā),推導(dǎo)出基本的電荷和通道電流方程,然后將其擴(kuò)展到準(zhǔn)二維和三維情況,包括短通道、窄通道、多晶硅耗盡和量子力學(xué)效應(yīng)。
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