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EFEM(設備前端模塊)晶圓搬運系統(tǒng)是半導體制造過程中不可或缺的關鍵設備,其主要作用是在超凈環(huán)境下實現(xiàn)晶圓的安全、精準傳輸。這類系統(tǒng)不僅需要維持極高的潔...
隨著芯片制程邁入3nm時代,晶圓傳輸過程微振動控制成為新挑戰(zhàn)。創(chuàng)新方案將EFEM機械臂與壓電抑振平臺結合: 傳統(tǒng)流程: 晶圓拾取 → 機械臂傳輸 → 振...
EFEM晶圓傳輸系統(tǒng):半導體制造的關鍵樞紐與科技的賦能
在半導體制造的前道工藝中,晶圓傳輸?shù)男屎涂煽啃灾苯佑绊懮a良率與設備利用率。EFEM(設備前端模塊)作為晶圓廠與工藝設備之間的智能接口,承擔著晶圓潔凈...
EFEM的優(yōu)點有哪些——解析半導體制造中的高效傳輸解決方案
?一、EFEM:半導體制造中的高效傳輸核心設備 EFEM(Equipment Front-End Module)作為半導體晶圓制造環(huán)節(jié)的關鍵傳輸設備,通...
? ? ? EFEM晶圓前端傳輸設備生產廠家哪家?? EFEM晶圓前端傳輸設備是半導體制造流程中的關鍵一環(huán),其性能直接影響晶圓的傳輸效率與潔凈度。作為專...
半導體溯源:S650在EFEM機臺上替換歐姆龍V640讀寫器
提供晨控S650讀卡器,并且兼容歐姆龍的1:1和1:N,可以直接替換歐姆龍的V640半導體讀卡器,通過三個旋鈕選擇現(xiàn)場需求的協(xié)議模式。
Spartan EFEM系統(tǒng)可每小時加工450張晶圓
Spartan EFEM系統(tǒng)可每小時加工450張晶圓 Crossing Automation公司 (www.crossinginc.com)宣布,已經...
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