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微機電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術(shù)制作的高科技電子機械器件。
微機電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等,指尺寸在幾毫米乃至更小的高科技裝置。
微機電系統(tǒng)是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術(shù)制作的高科技電子機械器件。
微機電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等,指尺寸在幾毫米乃至更小的高科技裝置。
微機電系統(tǒng)是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術(shù)制作的高科技電子機械器件。
微機電系統(tǒng)是集微傳感器、微執(zhí)行器、微機械結(jié)構(gòu)、微電源微能源、信號處理和控制電路、高性能電子集成器件、接口、通信等于一體的微型器件或系統(tǒng)。MEMS是一項革命性的新技術(shù),廣泛應(yīng)用于高新技術(shù)產(chǎn)業(yè),是一項關(guān)系到國家的科技發(fā)展、經(jīng)濟繁榮和國防安全的關(guān)鍵技術(shù)。
MEMS側(cè)重于超精密機械加工,涉及微電子、材料、力學(xué)、化學(xué)、機械學(xué)諸多學(xué)科領(lǐng)域。它的學(xué)科面涵蓋微尺度下的力、電、光、磁、聲、表面等物理、化學(xué)、機械學(xué)的各分支。
常見的產(chǎn)品包括MEMS加速度計、MEMS麥克風(fēng)、微馬達(dá)、微泵、微振子、MEMS光學(xué)傳感器、MEMS壓力傳感器、MEMS陀螺儀、MEMS濕度傳感器、MEMS氣體傳感器等等以及它們的集成產(chǎn)品。
ADIS16260 ADIS16265可編程低功耗陀螺儀技術(shù)手冊
ADIS16260和ADIS16265可編程數(shù)字陀螺儀在單個緊湊型封裝內(nèi)集成了業(yè)界領(lǐng)先的MEMS和信號處理技術(shù),具有同類MEMS陀螺儀需要全動校準(zhǔn)才能達(dá)...
ADXRS290用于穩(wěn)定應(yīng)用的超低噪聲、雙軸MEMS陀螺儀技術(shù)手冊
ADXRS290是一款高性能俯仰和滾動(層內(nèi)雙軸)角速率傳感器(陀螺儀),設(shè)計用于穩(wěn)定應(yīng)用。 ADXRS290提供±100°/s輸出滿量程性能,靈...
電容式MEMS壓力傳感器有哪些優(yōu)點?純國產(chǎn)電容式MEMS壓力傳感器芯片有哪些?
在科技飛速發(fā)展的今天,傳感器作為獲取信息的關(guān)鍵部件,其性能的優(yōu)劣直接影響到眾多系統(tǒng)的運行效果。電容式MEMS壓力傳感器憑借其獨特的優(yōu)勢,在壓力測量領(lǐng)域嶄...
2025-04-09 標(biāo)簽:mems壓力傳感器國產(chǎn)替代 416 0
LIS2DU12超低功耗加速度計數(shù)據(jù)手冊和產(chǎn)品介紹
STMicroelectronicsLIS2DU12超低功耗加速度計是一款線性3軸加速度計,具有高級數(shù)字功能。 STMicroelectronics L...
拆解UGREEN綠聯(lián)HiTune H6 Pro真無線降噪耳機 搭載SSP707電源管理芯片 內(nèi)置敏芯股份MEMS麥克風(fēng)拾音
在當(dāng)下的真無線耳機市場中,針對于不同的應(yīng)用場景和佩戴舒適性需求,又可以細(xì)分為帶耳塞的入耳式、不帶耳塞的半入耳式和完全不入耳的開放式三種形態(tài)。其中,隨著半...
國產(chǎn)替代:W-TRS-5.5Dx紅外溫度傳感器在電陶爐行業(yè)創(chuàng)新應(yīng)用
電陶爐行業(yè),正迎來一場由紅外測溫傳感器驅(qū)動的技術(shù)革新。作為國內(nèi)前沿的MEMS傳感器研發(fā)企業(yè),領(lǐng)麥微通過自主研發(fā)的高精度紅外測溫傳感器,不僅推動了電陶爐行...
封裝是MEMS制造過程的重要環(huán)節(jié),決定了MEMS器件的可靠性和成本。開口封封裝技術(shù)是智芯傳感在封裝工藝上的一次創(chuàng)新突破。這一創(chuàng)新技術(shù)不僅攻克了MEMS壓...
MEMS傳感器晶圓劃片機技術(shù)特點與應(yīng)用分析MEMS(微機電系統(tǒng))傳感器晶圓劃片機是用于切割MEMS傳感器晶圓的關(guān)鍵設(shè)備,需滿足高精度、低損傷及工藝適配性...
高精度六軸MEMS運動跟蹤TM器件ICM-42688-P 數(shù)據(jù)表立即下載
類別:IC datasheet pdf 2024-08-12 標(biāo)簽:mems速度計
ADIS16470微型MEMS慣性測量單元(IMU)英文手冊立即下載
類別:IC datasheet pdf 2024-07-22 標(biāo)簽:memsIMU
ADI公司突破性的微機電系統(tǒng)(MEMS)開關(guān)技術(shù)立即下載
類別:電子資料 2023-11-27 標(biāo)簽:adimems微機電系統(tǒng)
高精度組合導(dǎo)航系統(tǒng):技術(shù)與應(yīng)用的革新者
組合導(dǎo)航系統(tǒng)集成了MEMS?慣性導(dǎo)航與多頻點雙天線?GNSS?,憑借其高精度、高可靠性和強適應(yīng)性,成為航空、陸地及航海復(fù)雜場景下的理想選擇。ER-GNS...
2025-05-09 標(biāo)簽:mems導(dǎo)航系統(tǒng) 47 0
中國內(nèi)地首家!奕丞科技實現(xiàn)高端MEMS探針自主量產(chǎn),加速國產(chǎn)化突圍
探針和探針卡是半導(dǎo)體制造中晶圓測試環(huán)節(jié)的關(guān)鍵組件,可以篩選不良芯片,避免無效封裝、降低成本,是半導(dǎo)體測試的“質(zhì)量守門員”,技術(shù)壁壘高且國產(chǎn)化空間大。國內(nèi)...
共達(dá)電聲全新MEMS麥克風(fēng)成功量產(chǎn)
在傳統(tǒng)電子設(shè)備中,麥克風(fēng)扮演著“聲音搬運工”的角色——將聲波轉(zhuǎn)化為電信號,卻無法理解聲音的含義。而隨著人工智能與物聯(lián)網(wǎng)(AIoT)的爆發(fā)式發(fā)展,用戶需要...
2025-05-07 標(biāo)簽:mems麥克風(fēng)物聯(lián)網(wǎng) 152 0
MEMS陀螺工具定向短節(jié)全新發(fā)布:石油鉆井技術(shù)的革新利器
在石油鉆井行業(yè)中,精準(zhǔn)的井下定向、井眼軌跡控制、測量技術(shù)是確保作業(yè)高效、安全開展的關(guān)鍵。艾瑞科專為石油測井,定向鉆井打造可實現(xiàn)隨鉆測量或連續(xù)測量的MEM...
奧松電子構(gòu)建工業(yè)測控領(lǐng)域全場景國產(chǎn)化解決方案
奧松電子在MEMS智能傳感器領(lǐng)域歷經(jīng)20余年的技術(shù)積淀,以全棧式自主研發(fā)與國產(chǎn)化突破,為工業(yè)領(lǐng)域提供高精度、高可靠的氣體流量計、液體流量計、壓力傳感器、...
奧松半導(dǎo)體與重慶科技大學(xué)簽署戰(zhàn)略合作協(xié)議
2025年4月25日,重慶科技大學(xué)與奧松半導(dǎo)體(重慶)有限公司戰(zhàn)略合作簽約儀式在辦公樓205室舉行。奧松半導(dǎo)體(重慶)有限公司董事長張賓一行應(yīng)邀出席簽約...
Aigtek電壓放大器在MEMS動態(tài)應(yīng)力測試中的應(yīng)用
實驗名稱:MEMS的動態(tài)應(yīng)力測試 測試設(shè)備:電壓放大器、計算機、高精度CCD、Renishaw拉曼光譜儀、光學(xué)顯微鏡、高精度三維程控平臺、LM0202光...
MEMS慣性傳感器廠商芯動聯(lián)科兩份合同營收4.3億元,超去年全年營業(yè)收入!
? ? 今日(4月25日),國產(chǎn)高精度MEMS慣性傳感器廠商芯動聯(lián)科發(fā)布公告,再簽訂金額達(dá)1.6375億元的大額采購合同,銷售產(chǎn)品為陀螺儀和加速度計產(chǎn)品...
電容式MEMS壓力傳感器:微型化與高精度的完美融合 ——解析技術(shù)原理、應(yīng)用場景與未來趨勢
在智能傳感技術(shù)飛速發(fā)展的今天,MEMS(微機電系統(tǒng))壓力傳感器因其微型化、低功耗和高集成度的特性,成為工業(yè)自動化、醫(yī)療電子、消費電子等領(lǐng)域的核心器件。其...
型號 | 描述 | 數(shù)據(jù)手冊 | 參考價格 |
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MSM321A3729H9BP | 模擬輸出MEMS麥克風(fēng) MIC_3.76X2.95MM_SM |
獲取價格
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MSM261DHP006 | MEMS硅麥 1.6~3.6V ±1dB |
獲取價格
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