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微機電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術(shù)制作的高科技電子機械器件。
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編者注:TSV是通過在芯片與芯片之間、晶圓和晶圓之間制作垂直導(dǎo)通;TSV技術(shù)通過銅、鎢、多晶硅等導(dǎo)電物質(zhì)的填充,實現(xiàn)硅通孔的垂直電氣互聯(lián),這項技術(shù)是目前...
Yole:年末回顧全球MEMS器件中的創(chuàng)新設(shè)計
如今,MEMS器件已成為我們?nèi)粘I钪胁豢苫蛉钡囊徊糠?,盡管它們的存在常常被人忽略,其應(yīng)用范圍從耳機中的麥克風(fēng)到用于工業(yè)天線穩(wěn)定的慣性傳感器,無所不包。...
2025-12-15 標簽:mems 5.7k 0
技術(shù)探究:微流控芯片技術(shù)為什么這樣強悍?
微流控芯片采用類似半導(dǎo)體的微機電加工技術(shù)在芯片上構(gòu)建微流路系統(tǒng),將實驗與分析過程轉(zhuǎn)載到由彼此聯(lián)系的路徑和液相小室組成的芯片結(jié)構(gòu)上,加載生物樣品和反應(yīng)液后...
MEMS麥克風(fēng)技術(shù)滿足音量市場的性能要求
MEMS麥克風(fēng)含一個可移動的膜片和靜態(tài)背板,采用常見的包括沉積和選擇性蝕刻的工藝制作在硅晶圓基板上。背板有穿孔,允許空氣流通而不引起偏離。膜片的設(shè)計是為...
基于MEMS的加速度計實現(xiàn)工業(yè)物聯(lián)網(wǎng)的廣泛應(yīng)用
經(jīng)典物理學(xué)習(xí)運動的基本方程:力=質(zhì)量×加速度,其中加速度定義為速度的變化(其時間導(dǎo)數(shù)),速度是位置的變化(位置的時間導(dǎo)數(shù))。加速度在數(shù)字上表示為SI(公...
2019-03-22 標簽:mems加速度計工業(yè)物聯(lián)網(wǎng) 5.7k 0
卡西歐早年就以電機馬達、繼電器等機電產(chǎn)品聞名。如今的卡西歐本身就是MEMS的制造商之一,用MEMS的思路解決傳統(tǒng)機械手表遇到的問題是卡西歐的拿手好戲。所...
換能器的英文名稱是transducer,用于實現(xiàn)不同形式的能量相互轉(zhuǎn)換的儀器或器件可以通稱為換能器。
村田通過MEMS技術(shù)使該產(chǎn)品達到了小型化,并實現(xiàn)了與晶體諧振器相同的初始頻率精度(±20ppm)以上的頻率溫度特性(160ppm以下)(工作環(huán)境:-30...
麥姆斯咨詢:MEMS設(shè)計與IC不同,其可廣泛應(yīng)用于機械、光學(xué)、磁場、流體和生物學(xué)領(lǐng)域,因而所使用的幾何形狀也就千變?nèi)f化,較為繁復(fù)。
MEMS微針陣列及其在生物醫(yī)學(xué)上的應(yīng)用
MEMS生物微針技術(shù)出現(xiàn)了并不是很長的時間,下面就微針較為廣泛的三個方面的應(yīng)用原理及當前該技術(shù)的最新進展進行闡述。
最新傳感器技術(shù):MEMS陀螺儀在任何情況下都能精確的慣性傳感
為了滿足這一需求,ADI公司開發(fā)了一種帶有集成信號調(diào)理功能的新型高溫MEMS陀螺儀, ADXRS645。該傳感器即使在存在沖擊和振動的情況下也能實現(xiàn)精確...
2019-04-10 標簽:mems 5.5k 0
有許多因素導(dǎo)致加速度計技術(shù)的快速發(fā)展。首先是這類設(shè)備的市場不斷擴大,特別是在汽車,消費品和醫(yī)療電子產(chǎn)品領(lǐng)域,加速度計可以實現(xiàn)幫助產(chǎn)品在市場上取得成功的新...
什么叫做MEMS?意法半導(dǎo)體將如何布局智能工業(yè)MEMS市場
什么叫做MEMS?在此先做個小科普:它的全稱Micro Electromechanical System,簡稱微機電系統(tǒng)。它是指尺寸在幾毫米乃至更小的高...
2018-10-03 標簽:傳感器MEMS意法半導(dǎo)體 5.5k 0
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