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微機電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術(shù)制作的高科技電子機械器件。
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醫(yī)療電子領(lǐng)域的MEMS傳感器應(yīng)用
半導(dǎo)體技術(shù)繼續(xù)在助力實現(xiàn)便攜式、患者監(jiān)控、診斷和療法的新技術(shù)開發(fā)中扮演重要角色。MEMS傳感器技術(shù)的突破也為醫(yī)療應(yīng)用帶來前所未有的便利性和體驗。
在今天的穿戴產(chǎn)品市場上, 傳感器廠商很快意識到, 只提供傳感器硬件解決方案不足以擴(kuò)大市場份額。為區(qū)別于競爭對手, 除硬件解決方案外, 傳感器廠商還應(yīng)提供...
目前,在陀螺儀應(yīng)用領(lǐng)域,按精度細(xì)分的話,陀螺儀可分為商用陀螺儀、戰(zhàn)術(shù)陀螺儀、導(dǎo)航陀螺儀、戰(zhàn)略陀螺儀。
在高級狀態(tài)監(jiān)測和預(yù)測性維護(hù)中,振動傳感器起著至關(guān)重要的作用。本文我們將介紹不同加速度計設(shè)計的利弊。 數(shù)字化正在給工業(yè)領(lǐng)域帶來巨大變革,無論是制造業(yè)、公用...
一文解析汽車?yán)走_(dá)的碎片記錄 毫米波RADAR與LIDAR探秘
碎片記錄的目的是彌補自己因間歇性健忘癥而帶來的碎片知識的丟失。特別是那些不屬于自己研究領(lǐng)域,卻又想弄明白的東西。另外呢,其實這篇文章也是給老婆交的作業(yè),...
無人機和其他無人應(yīng)用需在惡劣環(huán)境中工作,為了滿足精密穩(wěn)定性和導(dǎo)航要求,能夠抑制振動、沖擊和溫漂的高性能MEMS必不可少。
最新傳感器技術(shù):MEMS陀螺儀在任何情況下都能精確的慣性傳感
為了滿足這一需求,ADI公司開發(fā)了一種帶有集成信號調(diào)理功能的新型高溫MEMS陀螺儀, ADXRS645。該傳感器即使在存在沖擊和振動的情況下也能實現(xiàn)精確...
2019-04-10 標(biāo)簽:mems 5k 0
基于MEMS的DNA合成技術(shù)實現(xiàn)DNA高通量組裝
LioniX將使用普通硅加工技術(shù)和材料制造新型熱尋址硅陣列,使得Evonetix能夠使用其用于傳輸?shù)臒釁f(xié)同控制化學(xué)方法控制再生DNA的合成,從而實現(xiàn)大規(guī)...
國內(nèi)半導(dǎo)體廠商四大轉(zhuǎn)變,開始由弱變強!
本土IC設(shè)計公司進(jìn)入發(fā)展快車道,除了孕育出海思、展訊這樣的世界級IC設(shè)計公司外,大量瞄準(zhǔn)細(xì)分市場頗具差異化特點的公司也涌現(xiàn)出來。##作為原RDA公司分管...
2016-06-06 標(biāo)簽:MEMS半導(dǎo)體芯片LC1860 5k 1
狀態(tài)監(jiān)控中的MEMS加速度計的介紹和應(yīng)用范圍
如今的MEMS設(shè)備可包括大量集成、單電壓信號調(diào)理電子器件,提供具有極低功耗的模擬和數(shù)字接口來幫助實現(xiàn)電池供電的無線產(chǎn)品。
2018-04-30 標(biāo)簽:MEMS加速度計狀態(tài)監(jiān)控 5k 0
提出了一種扭轉(zhuǎn)式微機械磁場傳感器及其制備方法來解決問題
本發(fā)明的扭轉(zhuǎn)式微機械磁場傳感器由于采用靜電驅(qū)動方式工作,器件的功耗幾乎為零,不存在功耗過大而導(dǎo)致的器件溫度穩(wěn)定性問題;由電磁感應(yīng)定律可知,本發(fā)明的扭轉(zhuǎn)式...
接近傳感器具有使用壽命長、工作可靠、重復(fù)定位精度高、無機械磨損、無火花、無噪音、抗振能力強等特點。在自動控制系統(tǒng)中可作為限位、計數(shù)、定位控制和自動保護(hù)環(huán)...
微軟最近有一份專利公開,表示可以在很大程度上擴(kuò)大視場角
來看看它的具體結(jié)構(gòu),下面的圖片中即是主要部分的結(jié)構(gòu)透視圖。其中標(biāo)記為140的是激光發(fā)射裝置,一般情況下發(fā)射組成圖像的RGB光源。標(biāo)記為102的是光學(xué)元件...
編者注:TSV是通過在芯片與芯片之間、晶圓和晶圓之間制作垂直導(dǎo)通;TSV技術(shù)通過銅、鎢、多晶硅等導(dǎo)電物質(zhì)的填充,實現(xiàn)硅通孔的垂直電氣互聯(lián),這項技術(shù)是目前...
LiDAR如何構(gòu)建3D點云?如何利用LiDAR提供深度信息
我們可通過傳感技術(shù)來獲取有關(guān)周圍環(huán)境的信息,從而使我們的日常生活受益:提高任務(wù)效率,增強安全性,或純粹出于娛樂目的。LiDAR是這樣一種傳感技術(shù),使用激...
在我們的世界里,視覺和聲音都是類比形式,但當(dāng)我們利用電子訊號來獲取、儲存和傳送這些類比現(xiàn)象時,采用數(shù)位技術(shù)卻能帶來許多重大優(yōu)點;音訊處理就是個例子,當(dāng)它...
2012-05-11 標(biāo)簽:MEMSDLP技術(shù)DMD 4.8k 0
MEMS開啟劃片技術(shù)新時代 濕式激光切割和干式激光切割介紹
MEMS主要包括微型機構(gòu)、微型傳感器、微型執(zhí)行器和相應(yīng)的處理電路等幾部分,是在融合多種微細(xì)加工技術(shù),并應(yīng)用現(xiàn)代信息技術(shù)的最新成果的基礎(chǔ)上發(fā)展起來的高科技...
MEMS的工藝流程和MEMS加速度計的應(yīng)用前景詳細(xì)說明
MEMS技術(shù)是目前很多廠家都在使用的先進(jìn)技術(shù)之一,在前兩篇文章中,小編對MEMS存儲設(shè)備請求調(diào)度算法以及MEMS存儲設(shè)備的故障管理有所介紹。為增進(jìn)大家對...
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