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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
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在上一期的小課堂,《聲光偏轉(zhuǎn)器及其應(yīng)用連載一:聲光偏轉(zhuǎn)器原理》中我們詳細(xì)的介紹了聲光偏轉(zhuǎn)器的相關(guān)基礎(chǔ)理論和主要性能指標(biāo),這一期的連載我們來談一談聲光偏轉(zhuǎn)...
2022-08-31 標(biāo)簽:mems聲光電光效應(yīng) 5.5k 0
了解相比基于VCM的傳統(tǒng)方法,該光學(xué)圖像穩(wěn)定(OIS)解決方案如何提供更快穩(wěn)定性、更高精度和更低功耗。
技術(shù)探究:微流控芯片技術(shù)為什么這樣強(qiáng)悍?
微流控芯片采用類似半導(dǎo)體的微機(jī)電加工技術(shù)在芯片上構(gòu)建微流路系統(tǒng),將實(shí)驗與分析過程轉(zhuǎn)載到由彼此聯(lián)系的路徑和液相小室組成的芯片結(jié)構(gòu)上,加載生物樣品和反應(yīng)液后...
固態(tài)激光雷達(dá)的研發(fā)及生產(chǎn)解決方案
最近幾年,自動駕駛成為人們關(guān)注的焦點(diǎn),許多諸如谷歌、百度等企業(yè)家都不遺余力地發(fā)展自動駕駛,以期能夠?qū)崿F(xiàn)這項造福人類的技術(shù)。
應(yīng)用領(lǐng)域超廣的mems技術(shù)是什么來頭?這篇文章講得夠詳細(xì)
什么是MEMS? 微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS),在歐洲也被稱為微系統(tǒng)技術(shù),或在日本被稱為微機(jī)械,是一類器件,其特點(diǎn)是尺寸很小,制造方式特殊。MEMS器件的特征...
2017-12-15 標(biāo)簽:mems 5.5k 0
MEMS麥克風(fēng)技術(shù)滿足音量市場的性能要求
MEMS麥克風(fēng)含一個可移動的膜片和靜態(tài)背板,采用常見的包括沉積和選擇性蝕刻的工藝制作在硅晶圓基板上。背板有穿孔,允許空氣流通而不引起偏離。膜片的設(shè)計是為...
傳統(tǒng)機(jī)械加工方法指利用大機(jī)器制造小機(jī)器,再利用小機(jī)器制造微機(jī)器??梢杂糜诩庸ひ恍┰谔厥鈭龊蠎?yīng)用的微機(jī)械裝置,例如微型機(jī)械手、微型工作臺等。
2020-07-21 標(biāo)簽:memsMEMS技術(shù) 5.4k 0
如何用加速度計中斷引腳執(zhí)行喚醒和非運(yùn)動檢測
一個數(shù)字MEMS加速度計通常有一個到兩個中斷輸出引腳,可以連接外部微處理器的I/O引腳。加速度計可配置成后臺監(jiān)視加速度或運(yùn)動,同時微處理器可以處理其它任...
村田通過MEMS技術(shù)使該產(chǎn)品達(dá)到了小型化,并實(shí)現(xiàn)了與晶體諧振器相同的初始頻率精度(±20ppm)以上的頻率溫度特性(160ppm以下)(工作環(huán)境:-30...
使用LTspice進(jìn)行工程電源和MEMS信號鏈模擬
現(xiàn)代MEMS傳感器解決方案的體積小、集成度高,并且放置在振動源附近,用于測量振動頻率。頻率隨時間的變化表明振動源(電機(jī)、發(fā)電機(jī)等)存在問題。
2021-11-19 標(biāo)簽:adimems運(yùn)算放大器 5.3k 0
最近,經(jīng)過一段時間不懈努力,實(shí)現(xiàn)了對 QMI8658 姿態(tài)傳感器的零偏(即常值誤差)進(jìn)行標(biāo)定。過去我曾整理過姿態(tài)傳感器誤差參數(shù)相關(guān)的文章,包括《MEMS...
基于MEMS的加速度計實(shí)現(xiàn)工業(yè)物聯(lián)網(wǎng)的廣泛應(yīng)用
經(jīng)典物理學(xué)習(xí)運(yùn)動的基本方程:力=質(zhì)量×加速度,其中加速度定義為速度的變化(其時間導(dǎo)數(shù)),速度是位置的變化(位置的時間導(dǎo)數(shù))。加速度在數(shù)字上表示為SI(公...
2019-03-22 標(biāo)簽:mems加速度計工業(yè)物聯(lián)網(wǎng) 5.3k 0
MEMS麥克風(fēng)設(shè)計注意事項和應(yīng)用指南
MEMS麥克風(fēng)以其極致的小巧、卓越的性能、強(qiáng)大的穩(wěn)定性和極具競爭力的成本,席卷了從消費(fèi)電子到工業(yè)物聯(lián)網(wǎng)的各個角落。無論是打造清晰通話的TWS耳機(jī),賦予智...
MEMS微針陣列及其在生物醫(yī)學(xué)上的應(yīng)用
MEMS生物微針技術(shù)出現(xiàn)了并不是很長的時間,下面就微針較為廣泛的三個方面的應(yīng)用原理及當(dāng)前該技術(shù)的最新進(jìn)展進(jìn)行闡述。
麥姆斯咨詢:MEMS設(shè)計與IC不同,其可廣泛應(yīng)用于機(jī)械、光學(xué)、磁場、流體和生物學(xué)領(lǐng)域,因而所使用的幾何形狀也就千變?nèi)f化,較為繁復(fù)。
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