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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
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沒(méi)有生命的物體也能擁有記憶呢?MEMS器件中的新應(yīng)用
實(shí)際上,早在1951年,Chang和Read就在金鎳合金中觀察到了形變?cè)偌訜崮茏兓卦蔚倪@一奇特的現(xiàn)象。Buehler在上世紀(jì)60年代發(fā)現(xiàn)了NiTi合金...
傳統(tǒng)機(jī)械加工方法指利用大機(jī)器制造小機(jī)器,再利用小機(jī)器制造微機(jī)器??梢杂糜诩庸ひ恍┰谔厥鈭?chǎng)合應(yīng)用的微機(jī)械裝置,例如微型機(jī)械手、微型工作臺(tái)等。
2020-07-21 標(biāo)簽:memsMEMS技術(shù) 5233 0
如何用加速度計(jì)中斷引腳執(zhí)行喚醒和非運(yùn)動(dòng)檢測(cè)
一個(gè)數(shù)字MEMS加速度計(jì)通常有一個(gè)到兩個(gè)中斷輸出引腳,可以連接外部微處理器的I/O引腳。加速度計(jì)可配置成后臺(tái)監(jiān)視加速度或運(yùn)動(dòng),同時(shí)微處理器可以處理其它任...
使用LTspice進(jìn)行工程電源和MEMS信號(hào)鏈模擬
現(xiàn)代MEMS傳感器解決方案的體積小、集成度高,并且放置在振動(dòng)源附近,用于測(cè)量振動(dòng)頻率。頻率隨時(shí)間的變化表明振動(dòng)源(電機(jī)、發(fā)電機(jī)等)存在問(wèn)題。
2021-11-19 標(biāo)簽:adimems運(yùn)算放大器 5170 0
村田通過(guò)MEMS技術(shù)使該產(chǎn)品達(dá)到了小型化,并實(shí)現(xiàn)了與晶體諧振器相同的初始頻率精度(±20ppm)以上的頻率溫度特性(160ppm以下)(工作環(huán)境:-30...
加速度是描述物體速度變化快慢的物理量,通過(guò)測(cè)量由于重力引起的加速度,你可以計(jì)算出設(shè)備相對(duì)于水平面的傾斜角度。通過(guò)分析動(dòng)態(tài)加速度,你可以分析出設(shè)備移動(dòng)的方式。
MEMS 麥克風(fēng)中數(shù)字 PDM 和 I2S 接口之比較
作者:Jeff Smoot 麥克風(fēng)用在嵌入式系統(tǒng)中已經(jīng)有很多年了。然而,自其誕生以來(lái),由于家居、汽車和可穿戴設(shè)備中基于語(yǔ)音的應(yīng)用范圍不斷擴(kuò)大,MEMS麥...
汽車內(nèi)的顯示和信息系統(tǒng)非常豐富,層出不窮地包圍著我們,有些信息非常重要,有些則是為了舒適性或娛樂(lè),有的則僅僅是提供資訊,這很有價(jià)值,但又非必需。作為一名...
Microchip基于MEMS的時(shí)鐘發(fā)生器
Microchip基于MEMS的時(shí)鐘發(fā)生器
2018-06-07 標(biāo)簽:memsmicrochip時(shí)鐘發(fā)生器 5111 0
基于MEMS的加速度計(jì)實(shí)現(xiàn)工業(yè)物聯(lián)網(wǎng)的廣泛應(yīng)用
經(jīng)典物理學(xué)習(xí)運(yùn)動(dòng)的基本方程:力=質(zhì)量×加速度,其中加速度定義為速度的變化(其時(shí)間導(dǎo)數(shù)),速度是位置的變化(位置的時(shí)間導(dǎo)數(shù))。加速度在數(shù)字上表示為SI(公...
2019-03-22 標(biāo)簽:mems加速度計(jì)工業(yè)物聯(lián)網(wǎng) 5099 0
SPI至RS-422/RS-1設(shè)計(jì)解決方案的詳細(xì)物理層設(shè)計(jì)注意事項(xiàng)
為MEMS實(shí)現(xiàn)有線物理層接口的常見(jiàn)挑戰(zhàn)包括管理EMC魯棒性和數(shù)據(jù)完整性。然而,當(dāng)在長(zhǎng)RS-485/RS-422電纜上擴(kuò)展時(shí)鐘同步接口(如SPI)時(shí),以及...
目前,氣體傳感器的應(yīng)用日趨廣泛,在物聯(lián)網(wǎng)等泛在應(yīng)用的推動(dòng)下,其技術(shù)發(fā)展方向開(kāi)始向小型化、集成化、模塊化、智能
MEMS微針陣列及其在生物醫(yī)學(xué)上的應(yīng)用
MEMS生物微針技術(shù)出現(xiàn)了并不是很長(zhǎng)的時(shí)間,下面就微針較為廣泛的三個(gè)方面的應(yīng)用原理及當(dāng)前該技術(shù)的最新進(jìn)展進(jìn)行闡述。
基于MEMS投影顯示技術(shù)創(chuàng)新型應(yīng)用
想象一下,你的汽車遮陽(yáng)板上夾著一個(gè)后裝的平視顯示(HUD)產(chǎn)品,它能夠?qū)⑿旭偡较蛲渡涞綋躏L(fēng)玻璃上。再試想一下,你的一臺(tái)內(nèi)置微型投影儀的平板電腦,使你能夠...
2018-06-05 標(biāo)簽:mems平視顯示技術(shù) 5070 0
淺談MLX90614片上的數(shù)字信號(hào)濾波器
MLX90614是易于集成的TO39封裝的紅外測(cè)溫儀。它使用兩芯片架構(gòu)來(lái)提供完全集成和經(jīng)過(guò)校準(zhǔn)的解決方案。
2021-05-25 標(biāo)簽:濾波器mems信號(hào)濾波器 5064 0
如何通過(guò)傳感器檢測(cè)到能量并啟動(dòng)麥克風(fēng)
Vesper透露了“首款可商用的靜態(tài)感應(yīng)MEMS器件”,該器件提出了一種依靠聲能將自己拉出省電模式的器件。Vesper首席執(zhí)行官M(fèi)att Crowley...
2021-05-04 標(biāo)簽:放大器mems智能揚(yáng)聲器 5063 0
聲光偏轉(zhuǎn)器的優(yōu)勢(shì)和應(yīng)用
在上一期的小課堂,《聲光偏轉(zhuǎn)器及其應(yīng)用連載一:聲光偏轉(zhuǎn)器原理》中我們?cè)敿?xì)的介紹了聲光偏轉(zhuǎn)器的相關(guān)基礎(chǔ)理論和主要性能指標(biāo),這一期的連載我們來(lái)談一談聲光偏轉(zhuǎn)...
2022-08-31 標(biāo)簽:mems聲光電光效應(yīng) 5050 0
實(shí)現(xiàn)最優(yōu)的傳感器:ASIC與MEMS協(xié)同設(shè)計(jì)方法
為了實(shí)現(xiàn)最優(yōu)的傳感器,強(qiáng)烈推薦基于傳感器總體目標(biāo)規(guī)格的ASIC與MEMS協(xié)同設(shè)計(jì)方法,而不是針對(duì)已經(jīng)設(shè)計(jì)好的MEM再進(jìn)行ASIC設(shè)計(jì)。
麥姆斯咨詢:MEMS設(shè)計(jì)與IC不同,其可廣泛應(yīng)用于機(jī)械、光學(xué)、磁場(chǎng)、流體和生物學(xué)領(lǐng)域,因而所使用的幾何形狀也就千變?nèi)f化,較為繁復(fù)。
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