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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
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利用Tanner EDA工具進(jìn)行MEMS設(shè)計(jì)和仿真學(xué)習(xí)
高速的光網(wǎng)絡(luò)使世界各地的人們得以即時(shí)交流和分享想法。微小的MEMS光開關(guān)在這些數(shù)量龐大的光纖系統(tǒng)中發(fā)揮著重要作用。此類開關(guān)涉及機(jī)械、光學(xué)和電氣三個(gè)領(lǐng)域,...
醫(yī)療電子領(lǐng)域的MEMS傳感器應(yīng)用
半導(dǎo)體技術(shù)繼續(xù)在助力實(shí)現(xiàn)便攜式、患者監(jiān)控、診斷和療法的新技術(shù)開發(fā)中扮演重要角色。MEMS傳感器技術(shù)的突破也為醫(yī)療應(yīng)用帶來前所未有的便利性和體驗(yàn)。
基于MEMS技術(shù)的RF開關(guān)在電路中的設(shè)計(jì)
RF開關(guān)用于從多個(gè)可用信號(hào)源中選擇所需信號(hào),或?qū)⑿盘?hào)路由到所需信道,如分集天線系統(tǒng),雷達(dá)以及測(cè)試和測(cè)量設(shè)置等應(yīng)用。開關(guān)(有時(shí)稱為繼電器)可以使用類似于非...
2019-03-20 標(biāo)簽:驅(qū)動(dòng)器memsrf 4225 0
MEMS加速度傳感器在電機(jī)健康狀態(tài)監(jiān)測(cè)上的應(yīng)用
常見的加速度傳感器主要有壓電陶瓷加速度傳感器、應(yīng)變式加速度傳感器、電容式加速度傳感器和MEMS加速度傳感器,傳統(tǒng)的電機(jī)振動(dòng)監(jiān)測(cè)主要選用IEPE電壓輸出型...
三軸陀螺儀基于微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)或光學(xué)原理工作。它通常由三個(gè)獨(dú)立的感測(cè)器組成,每個(gè)感測(cè)器測(cè)量物體圍繞一個(gè)軸的旋轉(zhuǎn)速度。這些感測(cè)器可以是微機(jī)電系統(tǒng)...
鈦MEMS技術(shù)在藥物輸送和微流控系統(tǒng)的應(yīng)用前景
近年來,受益于MEMS技術(shù),傳感器和執(zhí)行器小型化的同時(shí),性能、功能和靈敏度也得到增強(qiáng);加上低成本、個(gè)性化醫(yī)療應(yīng)用潛力,MEMS器件在醫(yī)療和生物領(lǐng)域的應(yīng)用...
MEMS六軸傳感器的可穿戴設(shè)備電路設(shè)計(jì)—電路精選(37)
現(xiàn)在市面上的可穿戴設(shè)備越來越多,對(duì)于可穿戴設(shè)備,尤其是手腕式的可穿戴設(shè)備的競(jìng)爭(zhēng)日益激烈。對(duì)于可穿戴設(shè)備的研究核心在于可穿戴傳感器的研究??纱┐髟O(shè)備的功能...
2017-01-05 標(biāo)簽:MEMS可穿戴設(shè)備六軸傳感器 4132 1
思立微電子在MEMS超聲技術(shù)上取得突破,在10MHz頻點(diǎn)轉(zhuǎn)換效率可達(dá)1.5%
日前,上海思立微電子在MEMS超聲技術(shù)上歷時(shí)兩年的潛心研發(fā),取得了突破性進(jìn)展。其自主研發(fā)的超聲換能器已通過系列性能測(cè)試,在10MHz頻點(diǎn)轉(zhuǎn)換效率可達(dá)1....
應(yīng)用于醫(yī)療設(shè)計(jì)項(xiàng)目的傳感器網(wǎng)絡(luò)技術(shù)介紹
醫(yī)學(xué)不推進(jìn)技術(shù),技術(shù)進(jìn)步醫(yī)學(xué)。對(duì)于攔截和預(yù)防性醫(yī)療技術(shù)的診斷,維護(hù)和監(jiān)測(cè)尤其如此。特別是傳感器技術(shù),基于小型化的改進(jìn) - 特別是在MEMS領(lǐng)域 - 處于...
探討壓電MEMS微執(zhí)行器技術(shù)現(xiàn)在及發(fā)展趨勢(shì)
壓電MEMS通過單片即可實(shí)現(xiàn)微執(zhí)行、能量收集、傳感和無線通信,是應(yīng)用潛力巨大的熱點(diǎn)技術(shù)。
MEMS傳感器新的市場(chǎng)增長(zhǎng)機(jī)遇在哪里
近日,意法半導(dǎo)體(ST)在上海召開媒體溝通會(huì),ST模擬、MEMS及傳感器事業(yè)部副總裁兼MEMS傳感器產(chǎn)品部總經(jīng)理Andera ONETTI表示,對(duì)于整個(gè)...
MEMS IC和傳統(tǒng)IC的無縫互連集成技術(shù)
MEMS 芯片的集成通常是指電子和機(jī)械功能的集成。那么這種工藝的最終目標(biāo)是什么呢?答案是:將MEMS 結(jié)構(gòu)無縫集成到與之相連的同一CMOS 芯片上。 ...
換能器的英文名稱是transducer,用于實(shí)現(xiàn)不同形式的能量相互轉(zhuǎn)換的儀器或器件可以通稱為換能器。
本視頻是ADI公司MEMS陀螺儀和同類陀螺儀產(chǎn)品的對(duì)比演示,比較兩者對(duì)錯(cuò)誤輸出激勵(lì)的響應(yīng)??梢钥闯?,我們的結(jié)果新款陀螺儀具有高抗振動(dòng)、抗沖擊性和抗線性加...
STMicroelectronics 深入研究了用于工業(yè)環(huán)境狀態(tài)監(jiān)測(cè)的振動(dòng)傳感器的 KPI。
2022-08-17 標(biāo)簽:mems智能傳感器振動(dòng)傳感器 3965 0
德州儀器DLP?技術(shù)具有哪些優(yōu)勢(shì)?
德州儀器DLP? 產(chǎn)品 - 發(fā)動(dòng)顯示技術(shù)創(chuàng)新
5.??? MEMS 振蕩器對(duì) EMI 的敏感度要低得多 電磁能在大多數(shù)系統(tǒng)中很常見,可以通過將晶體諧振器連接到包含振蕩器電路的 IC 的暴露 PCB ...
陀螺儀的種類很多,按用途來分,它可以分為傳感陀螺儀和指示陀螺儀。傳感陀螺儀用于飛行體運(yùn)動(dòng)的自動(dòng)控制系統(tǒng)中,作為水平、垂直、俯仰、航向和角速度傳感器。指示...
使用Tanner實(shí)現(xiàn)物聯(lián)網(wǎng)所用的CMOS IC與MEMS的集成設(shè)計(jì)
實(shí)際上,許多IoT邊緣器件會(huì)在單個(gè)封裝中集成多個(gè)芯片,將電子器件與MEMS設(shè)計(jì)分開。Tanner AMS IC設(shè)計(jì)流程支持單芯片或多芯片技術(shù),因而有助于...
2018-08-17 標(biāo)簽:MEMS物聯(lián)網(wǎng) 3931 0
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