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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
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MEMS硅膜電容式壓力傳感器的基本原理和結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)
目前敏感薄膜的材料多采用重?fù)诫sp型硅、Si3N4、單晶硅等。這幾種材料都各有優(yōu)缺點(diǎn),其選擇與目標(biāo)要求和具體工藝相關(guān)。硅膜不破壞晶格,機(jī)械性能優(yōu)異,適于陽(yáng)...
什么是微機(jī)電系統(tǒng) 主要種類(lèi)及相關(guān)技術(shù)介紹
微機(jī)械電子系統(tǒng)是微電子技術(shù)的拓寬和延伸,它是將微電子技術(shù)和精密機(jī)械加工技術(shù)相互融合,并將微電子與機(jī)械融為一體的系統(tǒng)。MEMS將電子系統(tǒng)和外部世界有機(jī)地聯(lián)...
五大主流智能手環(huán)MEMS傳感器盤(pán)點(diǎn)
近幾年,各種智能穿戴設(shè)備興起,其中智能手環(huán)、腕表更是花樣繁多,但究其根本,在核心硬件原理上,都大同小異,而傳感器作更是其中必不可少的一環(huán),下面筆者就為大...
2014-11-18 標(biāo)簽:傳感器技術(shù)MEMS智能手環(huán) 2.0萬(wàn) 0
光電傳感器指采用光電元件來(lái)檢測(cè)物體的有無(wú)和表面狀態(tài)的變化等的傳感器,一般由發(fā)送器、接收器和檢測(cè)電路三部分組成,工作原理是先把被測(cè)量的變化轉(zhuǎn)換成光信號(hào)的變...
麥姆斯咨詢:高精度慣性傳感器主要用于測(cè)量?jī)A角、加速度和振動(dòng)等。慣性傳感器作為MEMS器件,以單晶硅傳感器元件為基礎(chǔ),采用最新的微機(jī)械加工技術(shù)制備。
MEMS麥克風(fēng)的結(jié)構(gòu)和工作模式概述
人們使用電腦和智能設(shè)備的方式的變化,推動(dòng)對(duì)可靠和高性能MEMS麥克風(fēng)的需求。
光開(kāi)關(guān)原理圖的創(chuàng)建和仿真
微小的MEMS光開(kāi)關(guān)在這些數(shù)量龐大的光纖系統(tǒng)中發(fā)揮著重要作用。此類(lèi)開(kāi)關(guān)涉及機(jī)械、光學(xué)和電氣三個(gè)領(lǐng)域,因而是適宜作為利用Tanner EDA工具進(jìn)行MEM...
2018-05-31 標(biāo)簽:MEMS光開(kāi)關(guān)Tanner 1.8萬(wàn) 0
Leon Foucault在1852年發(fā)明了世界首個(gè)陀螺儀,這種傳統(tǒng)的機(jī)械式陀螺儀如圖1所示。Foucault認(rèn)為,利用固定位置上的旋轉(zhuǎn)物體可以測(cè)量地球...
2018-01-17 標(biāo)簽:mems 1.7萬(wàn) 0
相信你畫(huà)過(guò)很多電路的話,接觸過(guò)很多芯片的話,應(yīng)該有些芯片是你覺(jué)得歷史中最重要的,足以影響整個(gè)世界的。
淺析MEMS麥克風(fēng)的結(jié)構(gòu)與工作模式
隨著智能設(shè)備的迅猛發(fā)展,市場(chǎng)需要更高性能的麥克風(fēng),而MEMS可以在緊湊的尺寸內(nèi)麥克風(fēng)提供高性能和保真度及可靠性,適用于便攜式設(shè)備。本文介紹了MEMS麥克...
MEMS激光雷達(dá)公開(kāi)演示以及其優(yōu)點(diǎn)介紹
長(zhǎng)距離、高分辨率、低成本、高量產(chǎn)能力、車(chē)軌級(jí)別的質(zhì)量與穩(wěn)定性——RS-LiDAR-M1 Pre注定將是一款令所有寄望快速量產(chǎn)的自動(dòng)駕駛量產(chǎn)車(chē)型,所翹首以...
2018-01-11 標(biāo)簽:mems激光雷達(dá)自動(dòng)駕駛 1.6萬(wàn) 0
淺談MEMS傳感器的分類(lèi)及應(yīng)用領(lǐng)域
MEMS的全稱是微型電子機(jī)械系統(tǒng)(Micro-ElectroMechanical System),相對(duì)于傳統(tǒng)的機(jī)械,它們的尺寸更小,最大的不超過(guò)一個(gè)厘米...
5G手機(jī)拆解:Reno3 5G除了聯(lián)發(fā)科天璣1000L還有哪些聯(lián)發(fā)科芯片
論5G的SoC ,Media Tek天璣1000L 必定有姓名。截止目前搭載天璣的僅OPPO Reno3 5G,拆解后,分析Reno 3內(nèi)部用多少聯(lián)發(fā)科...
2020-04-02 標(biāo)簽:聯(lián)發(fā)科mems5G手機(jī) 1.6萬(wàn) 0
Yole總結(jié)列出了影響我們當(dāng)下及未來(lái)的九大趨勢(shì)
2017~2023年智能汽車(chē)產(chǎn)業(yè)傳感器市場(chǎng)預(yù)測(cè)麥姆斯咨詢認(rèn)為,當(dāng)5G真正到來(lái)時(shí),RF(射頻)濾波器的需求將進(jìn)一步增長(zhǎng),而MEMS領(lǐng)域增長(zhǎng)速度最快的將會(huì)是...
對(duì)于ATE測(cè)試儀器儀表,典型測(cè)試設(shè)備系統(tǒng)設(shè)計(jì)
由于待測(cè)器件(DUT)的復(fù)雜性提高,通道/引腳數(shù)量和功能增加,因而測(cè)試類(lèi)型和所需測(cè)試數(shù)量也隨之增加。并且每個(gè)器件評(píng)估需要進(jìn)行數(shù)百項(xiàng)測(cè)試,特別是在自動(dòng)測(cè)試...
2018-07-16 標(biāo)簽:測(cè)試測(cè)量adiMEMS 1.6萬(wàn) 0
了解IMU帶寬及其在系統(tǒng)穩(wěn)定性中的應(yīng)用
無(wú)人飛行器安裝的監(jiān)控設(shè)備、海上微波接收機(jī)、車(chē)輛安裝的紅外成像系統(tǒng)傳感器以及其他儀器系統(tǒng)都需要具有穩(wěn)定的平臺(tái),以達(dá)到最佳性能,但它們通常在可能遇到振動(dòng)和其...
剖析MEMS的幾種RF相關(guān)應(yīng)用產(chǎn)品SAW,BAW, FBAR filter
Piezoelectricity這詞來(lái)源于希臘語(yǔ) piezein,表示施加壓力,1880年由兩位法國(guó)物理學(xué)家(Pierre,Paul-Jacques C...
2018-05-10 標(biāo)簽:濾波器MEMS通信系統(tǒng) 1.5萬(wàn) 2
關(guān)于微慣性器件MEMS與ASIC系統(tǒng)集成關(guān)鍵技術(shù)的分析
MCM方案主要通過(guò)金絲鍵線或倒裝焊的方式實(shí)現(xiàn)MEMS結(jié)構(gòu)與ASIC系統(tǒng)的集成,與PCB方案相比,除了大幅改善SWaP指標(biāo)之外,還能縮短信號(hào)路徑、減小寄生...
一款可靠且高效的固態(tài)LiDAR——大陸集團(tuán)的SRL1
據(jù)麥姆斯咨詢介紹,激光雷達(dá)SRL1無(wú)需任何機(jī)械運(yùn)動(dòng)部件即可實(shí)現(xiàn)正面碰撞檢測(cè)等應(yīng)用。SRL1提供基于紅外激光技術(shù)的緊急制動(dòng)輔助功能,且已經(jīng)在微型車(chē)上使用。
2017-10-16 標(biāo)簽:mems大陸集團(tuán) 1.5萬(wàn) 0
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