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微機電系統(tǒng)（MEMS, Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等，是在微電子技術（半導體制造技術）基礎上發(fā)展起來的，融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術制作的高科技電子機械器件。

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淺談MEMS慣性傳感器

麥姆斯咨詢：高精度慣性傳感器主要用于測量傾角、加速度和振動等。慣性傳感器作為MEMS器件，以單晶硅傳感器元件為基礎，采用最新的微機械加工技術制備。

2019-01-29 標簽：傳感器 MEMS 2.2萬 0

MEMS硅膜電容式壓力傳感器的基本原理和結(jié)構設計

目前敏感薄膜的材料多采用重摻雜p型硅、Si3N4、單晶硅等。這幾種材料都各有優(yōu)缺點，其選擇與目標要求和具體工藝相關。硅膜不破壞晶格，機械性能優(yōu)異，適于陽...

2018-03-30 標簽：電容 mems 壓力傳感器 2.2萬 0

什么是微機電系統(tǒng) 主要種類及相關技術介紹

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2018-04-14 標簽：傳感器 mems 2.1萬 0

3種光電效應，解讀光電傳感器核心工作原理

光電傳感器指采用光電元件來檢測物體的有無和表面狀態(tài)的變化等的傳感器，一般由發(fā)送器、接收器和檢測電路三部分組成，工作原理是先把被測量的變化轉(zhuǎn)換成光信號的變...

2021-02-05 標簽：CMOS 光纖傳感器光電傳感器 2.1萬 0

五大主流智能手環(huán)MEMS傳感器盤點

近幾年，各種智能穿戴設備興起，其中智能手環(huán)、腕表更是花樣繁多，但究其根本，在核心硬件原理上，都大同小異，而傳感器作更是其中必不可少的一環(huán)，下面筆者就為大...

2014-11-18 標簽：傳感器技術 MEMS 智能手環(huán) 2.1萬 0

MEMS麥克風的結(jié)構和工作模式概述

人們使用電腦和智能設備的方式的變化，推動對可靠和高性能MEMS麥克風的需求。

2018-11-15 標簽：MEMS 音頻 1.9萬 1

光開關原理圖的創(chuàng)建和仿真

微小的MEMS光開關在這些數(shù)量龐大的光纖系統(tǒng)中發(fā)揮著重要作用。此類開關涉及機械、光學和電氣三個領域，因而是適宜作為利用Tanner EDA工具進行MEM...

2018-05-31 標簽：MEMS 光開關 Tanner 1.9萬 0

MEMS陀螺儀的原理及應用案例分析

Leon Foucault在1852年發(fā)明了世界首個陀螺儀，這種傳統(tǒng)的機械式陀螺儀如圖1所示。Foucault認為，利用固定位置上的旋轉(zhuǎn)物體可以測量地球...

2018-01-17 標簽：mems 1.8萬 0

技術前沿：原子層沉積ALD介紹

薄膜沉積是指在基底上沉積特定材料形成薄膜，使之具有光學、電學等方面的特殊性能。

2023-07-13 標簽：光伏電池 mems PVD 1.8萬 1

看看那些曾經(jīng)改變世界的芯片

相信你畫過很多電路的話，接觸過很多芯片的話，應該有些芯片是你覺得歷史中最重要的，足以影響整個世界的。

2017-08-31 標簽：芯片放大器 mems 1.8萬 0

淺析MEMS麥克風的結(jié)構與工作模式

隨著智能設備的迅猛發(fā)展，市場需要更高性能的麥克風，而MEMS可以在緊湊的尺寸內(nèi)麥克風提供高性能和保真度及可靠性，適用于便攜式設備。本文介紹了MEMS麥克...

2018-11-28 標簽：MEMS 麥克風 1.7萬 0

5G手機拆解：Reno3 5G除了聯(lián)發(fā)科天璣1000L還有哪些聯(lián)發(fā)科芯片

論5G的SoC ，Media Tek天璣1000L 必定有姓名。截止目前搭載天璣的僅OPPO Reno3 5G，拆解后，分析Reno 3內(nèi)部用多少聯(lián)發(fā)科...

2020-04-02 標簽：聯(lián)發(fā)科 mems 5G手機 1.7萬 0

MEMS激光雷達公開演示以及其優(yōu)點介紹

長距離、高分辨率、低成本、高量產(chǎn)能力、車軌級別的質(zhì)量與穩(wěn)定性——RS-LiDAR-M1 Pre注定將是一款令所有寄望快速量產(chǎn)的自動駕駛量產(chǎn)車型，所翹首以...

2018-01-11 標簽：mems 激光雷達自動駕駛 1.7萬 0

對于ATE測試儀器儀表，典型測試設備系統(tǒng)設計

由于待測器件（DUT）的復雜性提高，通道/引腳數(shù)量和功能增加，因而測試類型和所需測試數(shù)量也隨之增加。并且每個器件評估需要進行數(shù)百項測試，特別是在自動測試...

2018-07-16 標簽：測試測量 adi MEMS 1.7萬 0

關于微慣性器件MEMS與ASIC系統(tǒng)集成關鍵技術的分析

MCM方案主要通過金絲鍵線或倒裝焊的方式實現(xiàn)MEMS結(jié)構與ASIC系統(tǒng)的集成，與PCB方案相比，除了大幅改善SWaP指標之外，還能縮短信號路徑、減小寄生...

2019-12-01 標簽：asic mems soc 1.7萬 0

Yole總結(jié)列出了影響我們當下及未來的九大趨勢

2017~2023年智能汽車產(chǎn)業(yè)傳感器市場預測麥姆斯咨詢認為，當5G真正到來時，RF（射頻）濾波器的需求將進一步增長，而MEMS領域增長速度最快的將會是...

2018-06-04 標簽：傳感器 MEMS 人工智能 1.7萬 0

淺談MEMS傳感器的分類及應用領域

MEMS的全稱是微型電子機械系統(tǒng)（Micro-ElectroMechanical System），相對于傳統(tǒng)的機械，它們的尺寸更小，最大的不超過一個厘米...

2018-04-04 標簽：傳感器 MEMS 1.7萬 0

基于聲機電類比原理的壓電麥克風等效電路模型

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2018-11-30 標簽：MEMS 等效電路 1.6萬 0

了解IMU帶寬及其在系統(tǒng)穩(wěn)定性中的應用

無人飛行器安裝的監(jiān)控設備、海上微波接收機、車輛安裝的紅外成像系統(tǒng)傳感器以及其他儀器系統(tǒng)都需要具有穩(wěn)定的平臺，以達到最佳性能，但它們通常在可能遇到振動和其...

2018-03-06 標簽：mems 伺服電機加速度計 1.6萬 0

剖析MEMS的幾種RF相關應用產(chǎn)品SAW,BAW, FBAR filter

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2018-05-10 標簽：濾波器 MEMS 通信系統(tǒng) 1.5萬 2

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