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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
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基于聲機(jī)電類比原理的壓電麥克風(fēng)等效電路模型
目前應(yīng)用最廣泛的麥克風(fēng)類型是微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)電容式麥克風(fēng),其主要結(jié)構(gòu)為電容器結(jié)構(gòu),由背極板、振膜以及背極板和振膜之間的空氣域組成。
在拯救摩爾定律的道路上,人們挖盡心思。從設(shè)計(jì)角度出發(fā),SoC將系統(tǒng)所需的組件高度集成到一塊芯片上。從封裝立場(chǎng)看,SiP也踩著七彩祥云回到了人們視野面前。
徹底顛覆機(jī)電繼電器,MEMS開(kāi)關(guān)告訴你怎樣實(shí)現(xiàn)這一切?
過(guò)去30年來(lái),MEMS開(kāi)關(guān)一直被認(rèn)為是性能有限的機(jī)電繼電器的出色替代器件,因?yàn)樗子谑褂?,尺寸很小,能夠以極小的損耗可靠地傳送0 Hz/dc至數(shù)百GHz...
2017-09-01 標(biāo)簽:mems世健系統(tǒng)MEMS開(kāi)關(guān) 1.4萬(wàn) 0
基于ADI的MEMS加速度計(jì)關(guān)鍵參數(shù)和特性,選出最適合你的MEMS加速度計(jì)
最新MEMS電容式加速度計(jì)應(yīng)用于傳統(tǒng)上由壓電加速度計(jì)和其他傳感器主導(dǎo)的應(yīng)用領(lǐng)域。新一代MEMS加速度計(jì)可為CBM、結(jié)構(gòu)健康監(jiān)控(SHM)、資產(chǎn)健康監(jiān)控(...
淺談MEMS陀螺儀技術(shù) MEMS是否取代光纖陀螺儀技術(shù)
MEMS陀螺儀也稱電子式陀螺儀,就是一塊芯片。 Iphone 4上的陀螺儀就是這種,主要作用是在GPS沒(méi)有信號(hào)時(shí),通過(guò)陀螺儀的作用仍然能夠繼續(xù)精確導(dǎo)航。
MEMS加速度計(jì)和MEMS陀螺儀區(qū)別 常見(jiàn)MEMS加速度傳感器介紹
最大的區(qū)別就是:工作原理和應(yīng)用的區(qū)別(具體概念看下百科),前者是利用加速度,后者是利用慣性;前者是用在測(cè)斜調(diào)平,后者是知道通過(guò)知道角速率,可以知道物體的...
2018-07-30 標(biāo)簽:memsMEMS加速度計(jì)MEMS陀螺儀 1.4萬(wàn) 0
從三大應(yīng)用角度深度剖析MEMS加速度計(jì)的關(guān)鍵指標(biāo)
為應(yīng)用選擇最合適的加速度計(jì)可能并不容易,因?yàn)閬?lái)自不同制造商的數(shù)據(jù)手冊(cè)可能大相徑庭,讓人難以確定最為重要的技術(shù)指標(biāo)是什么。
2018-01-08 標(biāo)簽:mems物聯(lián)網(wǎng)無(wú)線傳感器 1.4萬(wàn) 0
單片集成MEMS-IC圓片級(jí)真空封裝方應(yīng)用設(shè)計(jì)
慣性MEMS三維集成TSV互連技術(shù)通過(guò)提供垂直貫穿慣性MEMS芯片或MEMS專用集成電路IC芯片的TSV互連為兩者層疊式立體化集成提供了便利。
MEMS陀螺儀采用的是依賴于相互正交的震動(dòng)和轉(zhuǎn)動(dòng)引起的交變科里奧利力。
駐極體電容式麥克風(fēng)的參數(shù)規(guī)格及設(shè)計(jì)
ECM是指駐極體電容式麥克風(fēng),與MEMS硅麥不同,其內(nèi)部結(jié)構(gòu)如圖1所示。
前言定位是感知應(yīng)用的一個(gè)重要屬性。在室內(nèi)環(huán)境中,如果位置信息可用并非常可靠,有更多的應(yīng)用場(chǎng)景可以實(shí)現(xiàn)的。行人航位推算(PDR) 就是這樣一種技術(shù),在室內(nèi)...
評(píng)估MEMS陀螺儀信號(hào)中常見(jiàn)噪聲源的簡(jiǎn)單流程
當(dāng)MEMS慣性測(cè)量單元(IMU)用作 運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)中的反饋傳感器時(shí), 你, 必須了解陀螺儀的噪聲情況 , 因?yàn)椋鼤?huì)在所監(jiān)視的平臺(tái)上造成 不必要的物理運(yùn)...
怎么實(shí)現(xiàn)基于MEMS姿態(tài)傳感器溫度補(bǔ)償?這篇文章告訴你
基于MEMS姿態(tài)傳感器主要用于載體姿態(tài)的調(diào)整和傾角的檢測(cè),但是由于工作環(huán)境溫度的改變,就會(huì)導(dǎo)致測(cè)量精度的變化,在一些高精度檢測(cè)的要求下,則失去其檢測(cè)的效...
MEMS傳感器種類及國(guó)內(nèi)外生產(chǎn)廠商
在物聯(lián)網(wǎng)市場(chǎng)的帶動(dòng)下,傳感器產(chǎn)品國(guó)產(chǎn)化需求不斷增大,MEMS傳感器產(chǎn)品正在被越來(lái)越廣泛的應(yīng)用。本文將介紹MEMS的傳感器種類以及國(guó)內(nèi)外MEMS運(yùn)動(dòng)傳感器...
2016-11-01 標(biāo)簽:mems運(yùn)動(dòng)傳感器mems麥克風(fēng) 1.3萬(wàn) 0
加速度傳感器有兩種:一種是角加速度傳感器,是由陀螺儀改進(jìn)過(guò)來(lái)的。另一種就是線加速度傳感器。它也可以按測(cè)量軸分為單軸、雙軸和三軸加速度傳感器。
MEMS系統(tǒng)設(shè)計(jì)基本理論及設(shè)計(jì)關(guān)鍵技術(shù)
加速度計(jì)主要用于測(cè)量慣性的大小,進(jìn)而分析傳感器加速度的大小與運(yùn)行的安全性。慣性大小與物體的質(zhì)量、加速度有著直接的聯(lián)系,成正比關(guān)系,質(zhì)量相等時(shí),加速度越大...
量子傳感器的概念與現(xiàn)狀、性能分析以及市場(chǎng)應(yīng)用
子理論的創(chuàng)立是 20 世紀(jì)最輝煌的成就之一 ,它揭示了微觀領(lǐng)域物質(zhì)的結(jié)構(gòu) 、性質(zhì)和運(yùn)動(dòng)規(guī)律,把人們的視角從宏觀領(lǐng)域引入到微觀系統(tǒng) 。一系列區(qū)別于經(jīng)典系統(tǒng)...
什么是MEMS?MEMS深度文章從原理制造到應(yīng)用全講透
MEMS傳感器在各類電子產(chǎn)品上快速普及,我們身邊的智能手機(jī)、平板電腦等幾乎所有電子設(shè)備無(wú)不包含,然而大部分人對(duì)MEMS技術(shù)還是比較陌生的。 MEMS技術(shù)...
MEMS封裝技術(shù)進(jìn)行探討研究與MEMS器件封裝優(yōu)勢(shì)
微機(jī)電系統(tǒng)是按照功能在芯片上的集成,尺寸一般是在毫米以下,制作工藝更加精密,需要更高的技術(shù),微機(jī)電系統(tǒng)早在國(guó)外就有應(yīng)用,我國(guó)起步晚,在MEMS方面的投入...
“傾角傳感器”顧名思義,就是測(cè)量?jī)A斜角度的一種角度傳感器。傾角傳感器應(yīng)用場(chǎng)所極多,隨著MEMS技術(shù)的發(fā)展,傾角傳感器得到越來(lái)越廣泛的應(yīng)用。適合應(yīng)用于工廠...
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