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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
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世健結(jié)合MEMS技術(shù)的紅外光源和傳感器的紅外氣體檢測方案
使用的紅外光源EMIRS 50是通過緊湊的TO-46封裝,它可以提供帶保護(hù)帽或者帶反射面,這些結(jié)構(gòu)可以配置藍(lán)寶石或氟化鈣、氟化鋇和鍺等材料的濾光片。
基于ADXL362的運動監(jiān)測MEMS加速度計電路模塊設(shè)計
采用ADI公司三軸加速度傳感器ADXL362。ADXL362既能測量動態(tài)加速度也能測量靜態(tài)加速度,具有超低功耗,采用SPI通信。
在半導(dǎo)體制造中,刻蝕工序是必不可少的環(huán)節(jié)。而刻蝕又可以分為干法刻蝕與濕法刻蝕,這兩種技術(shù)各有優(yōu)勢,也各有一定的局限性,理解它們之間的差異是至關(guān)重要的。
2023-09-26 標(biāo)簽:mems晶圓半導(dǎo)體制造 9091 1
兩款RF MEMS開關(guān)設(shè)計固有的“逆天”性能
其實,我們身邊不乏這樣的“黃金芯片”,ADI 發(fā)布的 RF MEMS 開關(guān)再次將黃金的優(yōu)良金屬性能在芯片中的應(yīng)用發(fā)揮到極致。我們不妨來看看這些黃金造的芯...
基于MAX9814駐極體麥克風(fēng)放大器的音頻包絡(luò)生成電路
振蕩信號的“包絡(luò)”是一條平滑的曲線,概述了其極端情況。我們可以使用這樣的包絡(luò)來幫助我們控制音頻反應(yīng)產(chǎn)物。
超小型MEMS原子鐘誕生,用于智能手機(jī)、傳感器網(wǎng)絡(luò)和機(jī)器人控制系統(tǒng)
據(jù)報道,日本國家信息與通信研究院(NICT)與東北大學(xué)和東京工業(yè)大學(xué)展開合作,并成立壓電材料相關(guān)研究小組。近期,該研究小組成功開發(fā)了一款超小型原子鐘系統(tǒng)...
許多應(yīng)用需要能在125℃以上環(huán)境下工作的信號處理解決方案,但對于采用標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計的集成電路其最高工作溫度通常僅規(guī)定為125℃。無論是在地下一英里處操縱油鉆還...
基于MEMS六軸傳感器的可穿戴運動監(jiān)測系統(tǒng)設(shè)計
文中提出了一種新的可穿戴系統(tǒng)。該系統(tǒng)基于MEMS 六軸傳感器,通過采集物體在運動過程中產(chǎn)生的以六軸傳感器為校準(zhǔn)點的三軸加速度和三軸角速度,通過藍(lán)牙4.0...
意法半導(dǎo)體欲投30億美元建設(shè)兩座300mm(12英寸)Fab
據(jù)麥姆斯咨詢消息,意法半導(dǎo)體將投入超過30億美元建設(shè)兩座300mm(12英寸)Fab。如果屬實,這將成為意法半導(dǎo)體“大圣歸來”之路上的驚人一瞥。到目前為...
2017-10-17 標(biāo)簽:mems意法半導(dǎo)體 8850 0
陀螺儀的內(nèi)部原理是這樣的:對固定指施加電壓,并交替改變電壓,讓一個質(zhì)量塊做振蕩式來回運動,當(dāng)旋轉(zhuǎn)時,會產(chǎn)生科里奧利加速度,此時就可以對其進(jìn)行測量;這有點...
為了獲得高性能的MEMS磁傳感器,首先要根據(jù)器件的應(yīng)用對象對器件進(jìn)行設(shè)計,由此確定器件的結(jié)構(gòu)、使用的材料、應(yīng)用的工作原理和感應(yīng)技術(shù)等。MEMS設(shè)計人員可...
國內(nèi)和國際MEMS晶圓級測試技術(shù)對比分析
晶圓級測試技術(shù)應(yīng)用于MEMS產(chǎn)品開發(fā)全周期的3個階段:(1)產(chǎn)品研發(fā)(R&D)階段:用以驗證器件工作和生產(chǎn)的可行性,獲得早期器件特征。(2)產(chǎn)品試量產(chǎn)階...
InvenSense這款7軸運動傳感器ICM-20789將InvenSense領(lǐng)先的6軸(3軸加速度計+3軸陀螺儀)MEMS運動傳感器和其世界級氣壓傳感...
雖然大部分人對于MEMS(Microelectromechanical systems, 微機(jī)電系統(tǒng)/微機(jī)械/微系統(tǒng))還是感到很陌生,但是其實MEMS在...
2016-06-08 標(biāo)簽:MEMS麥克風(fēng)MEMS麥克風(fēng) 8745 0
新型MEMS加速度計與商用壓電(PZT)狀態(tài)監(jiān)控加速度計的比較
今天我們將通過回顧一些數(shù)據(jù)來說明MEMS技術(shù)的發(fā)展?fàn)顩r及性能水平,并將其與商用壓電(PZT)狀態(tài)監(jiān)控加速度計進(jìn)行比較。
基本平臺穩(wěn)定系統(tǒng)中MEMS IMU頻率響應(yīng)分析
無人飛行器安裝的監(jiān)控設(shè)備、海上微波接收機(jī)、車輛安裝的紅外成像系統(tǒng)傳感器以及其他儀器系統(tǒng)都需要具有穩(wěn)定的平臺,
MEMS傳感器將迎來新的浪潮!MEMS定義與應(yīng)用
受惠于2007 年蘋果手機(jī)和任天堂Wii 游戲機(jī)的誕生,MEMS 在消費電子領(lǐng)域迎來噴薄式的發(fā)展。iPhone 6S 包含加速度計、電子羅盤、陀螺儀、M...
2019-04-02 標(biāo)簽:傳感器mems機(jī)電系統(tǒng) 8642 0
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