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微機電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等,是在微電子技術(半導體制造技術)基礎上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術制作的高科技電子機械器件。
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加速計和陀螺儀是獲取無人機、蜂窩電話、汽車、接收機和移動物聯(lián)網(wǎng)設備中加速和旋轉信息的傳感器選擇。但加速計和陀螺儀都容易有誤差,加速計可能出現(xiàn)噪音、陀螺儀...
使用的紅外光源EMIRS 50是通過緊湊的TO-46封裝,它可以提供帶保護帽或者帶反射面,這些結構可以配置藍寶石或氟化鈣、氟化鋇和鍺等材料的濾光片。
新型MEMS加速度計與商用壓電(PZT)狀態(tài)監(jiān)控加速度計的比較
今天我們將通過回顧一些數(shù)據(jù)來說明MEMS技術的發(fā)展狀況及性能水平,并將其與商用壓電(PZT)狀態(tài)監(jiān)控加速度計進行比較。
超聲波MEMS傳感器SPM0404UD5的性能優(yōu)勢和實用性可能性
超聲波被定義為上面的循環(huán)聲壓力人類聽覺的頻率限制,大約20 kHz。這是超聲波最明顯的特征,但不一定是最重要的。根據(jù)應用要求,用戶可能還會關注:
雖然大部分人對于MEMS(Microelectromechanical systems, 微機電系統(tǒng)/微機械/微系統(tǒng))還是感到很陌生,但是其實MEMS在...
濾波器是射頻微波系統(tǒng)必不可少的重要組成部分,性能優(yōu)異的濾波器模塊是射頻微波通信系統(tǒng)能正常工作的必要前提。傳統(tǒng)的微波濾波器雖然在參數(shù)指標上有很優(yōu)秀的性能,...
當BLE遇到MEMS,就如同天使有了翅膀。本期從有淺入深的介紹BLE與MEMS的那些事,就從ST的STEVA
晶圓級測試技術應用于MEMS產(chǎn)品開發(fā)全周期的3個階段:(1)產(chǎn)品研發(fā)(R&D)階段:用以驗證器件工作和生產(chǎn)的可行性,獲得早期器件特征。(2)產(chǎn)品試量產(chǎn)階...
許多應用需要能在125℃以上環(huán)境下工作的信號處理解決方案,但對于采用標準設計的集成電路其最高工作溫度通常僅規(guī)定為125℃。無論是在地下一英里處操縱油鉆還...
許多MEMS 驅動器都是利用靜電力作用驅動力。在很多微型電動機和制動器的設計工作中,準確的估算靜電力大小是非常重要的。
可變光衰減器包括機械式技術、可調衍射光柵技術、MEMS技術、液晶技術、磁光技術、平面光波導技術等。
InvenSense這款7軸運動傳感器ICM-20789將InvenSense領先的6軸(3軸加速度計+3軸陀螺儀)MEMS運動傳感器和其世界級氣壓傳感...
基于ADXL362的運動監(jiān)測MEMS加速度計電路模塊設計
采用ADI公司三軸加速度傳感器ADXL362。ADXL362既能測量動態(tài)加速度也能測量靜態(tài)加速度,具有超低功耗,采用SPI通信。
基于MEMS六軸傳感器的可穿戴運動監(jiān)測系統(tǒng)設計
文中提出了一種新的可穿戴系統(tǒng)。該系統(tǒng)基于MEMS 六軸傳感器,通過采集物體在運動過程中產(chǎn)生的以六軸傳感器為校準點的三軸加速度和三軸角速度,通過藍牙4.0...
意法半導體欲投30億美元建設兩座300mm(12英寸)Fab
據(jù)麥姆斯咨詢消息,意法半導體將投入超過30億美元建設兩座300mm(12英寸)Fab。如果屬實,這將成為意法半導體“大圣歸來”之路上的驚人一瞥。到目前為...
其實,我們身邊不乏這樣的“黃金芯片”,ADI 發(fā)布的 RF MEMS 開關再次將黃金的優(yōu)良金屬性能在芯片中的應用發(fā)揮到極致。我們不妨來看看這些黃金造的芯...
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