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微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS, Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等，是在微電子技術(shù)（半導(dǎo)體制造技術(shù)）基礎(chǔ)上發(fā)展起來的，融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。

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mems技術(shù)

智能語音技術(shù)之麥克風(fēng)的主要技術(shù)特性分析

智能語音助理成為當(dāng)紅炸子雞，作為相關(guān)應(yīng)用不可或缺的聲音感測(cè)器，麥克風(fēng)的市場(chǎng)規(guī)模也將出現(xiàn)明顯爆發(fā)，其中又以MEMS麥克風(fēng)受惠最大。至于駐極體麥克風(fēng)(ECM...

2017-12-20 標(biāo)簽：mems 麥克風(fēng)頻率響應(yīng) 1.0萬 0

什么是MEMS傳感器？mems傳感器的組成和應(yīng)用分類有哪些？

傳感器發(fā)展到今天，小型化、智能化、集成化，已經(jīng)是升級(jí)換代的必由之路。今天，我們來為大家介紹一下傳感器家族的mini型產(chǎn)品 MEMS傳感器。什么是MEM...

2017-11-24 標(biāo)簽：傳感器 mems 微機(jī)電系統(tǒng) 1.0萬 0

超級(jí)全面！一文看懂***：MEMS傳感器及芯片制造的最核心設(shè)備

文章大綱光刻是芯片制造最核心環(huán)節(jié)，大陸自給率亟待提升 ·光刻機(jī)是芯片制造的核心設(shè)備，市場(chǎng)規(guī)模全球第二 ·一超兩強(qiáng)壟斷市場(chǎng)，大陸卡脖子現(xiàn)象凸顯光刻機(jī)：...

2023-06-19 標(biāo)簽：傳感器 mems 光刻機(jī) 1.0萬 0

全球主流可穿戴傳感器分類及主要方案盤點(diǎn)

IHS 預(yù)期，消費(fèi)者對(duì)各類可穿戴設(shè)備的強(qiáng)勁需求，將讓應(yīng)用在可穿戴設(shè)備中的傳感器出貨量激增，預(yù)計(jì)在2013至2019年間將成長(zhǎng)七倍；可穿戴傳感器出貨量在 ...

2014-11-28 標(biāo)簽：傳感器 MEMS 可穿戴設(shè)備 1.0萬 1

典型的MEMS工藝流程的簡(jiǎn)介

MEMS表面微機(jī)械加工工藝是指所有工藝都是在圓片表面進(jìn)行的MEMS制造工藝。表面微加工中，采用低壓化學(xué)氣相淀積（LPCVD）這一類方法來獲得作為結(jié)構(gòu)單元...

2021-02-11 標(biāo)簽：集成電路 MEMS 執(zhí)行器 1.0萬 0

淺談MEMS技術(shù)工藝的發(fā)展及未來

MEMS第一輪商業(yè)化浪潮始于20世紀(jì)70年代末80年代初，當(dāng)時(shí)用大型蝕刻硅片結(jié)構(gòu)和背蝕刻膜片制作壓力傳感器。由于薄硅片振動(dòng)膜在壓力下變形，會(huì)影響其表面...

2018-03-12 標(biāo)簽：臺(tái)積電 mems 9985 0

MEMS制程:簡(jiǎn)要介紹一下前段制程的特點(diǎn)及涉及的設(shè)備

電子束蒸鍍利用電磁場(chǎng)的配合可以精準(zhǔn)地實(shí)現(xiàn)利用高能電子轟擊坩堝內(nèi)膜材，使膜材表面原子蒸發(fā)進(jìn)而沉積在基片上；以FATRI UTC電子束蒸鍍機(jī)在MEMS制造過...

2018-04-12 標(biāo)簽：半導(dǎo)體 mems 電磁場(chǎng) 9947 0

淺析MEMS麥克風(fēng)噪聲失效具體案例

MEMS麥克風(fēng)噪聲主要包括MEMS芯片的機(jī)械振動(dòng)噪聲和ASIC芯片的電噪聲，如何在非破壞性測(cè)試的情況下快速判斷噪聲失效的原因一直困擾著失效分析工程者。

2018-11-13 標(biāo)簽：芯片 MEMS 噪聲 9925 0

關(guān)于MEMS傳感器的廣泛應(yīng)用領(lǐng)域

物聯(lián)網(wǎng)的發(fā)展，傳感器產(chǎn)品需求大幅增加，重心也逐漸轉(zhuǎn)向技術(shù)含量較高的MEMS傳感器領(lǐng)域。

2018-04-30 標(biāo)簽：MEMS VR 9864 0

MEMS磁傳感器主元件SEM電連接及設(shè)計(jì)

由于MEMS技術(shù)可以將傳統(tǒng)的磁傳感器小型化，因此基于MEMS的磁傳感器具有體積小、性能高、成本低、功耗低、高靈敏和批量生產(chǎn)等優(yōu)點(diǎn)。

2018-04-03 標(biāo)簽：MEMS 磁傳感器 9819 0

MEMS麥克風(fēng)讀出電路設(shè)計(jì)方案

本文提供的MEMS麥克風(fēng)讀出電路設(shè)計(jì)方案具有噪聲小、可以處理的小信號(hào)幅度范圍廣、功耗低等特點(diǎn)，可延長(zhǎng)電池供電的便攜式設(shè)備的待機(jī)時(shí)間。

2018-11-15 標(biāo)簽：MEMS 麥克風(fēng) 9695 0

MEMS光開關(guān)控制原理解析

MEMS（Micro-Electro-Mechanical Systems，微機(jī)電系統(tǒng)）是指將微型機(jī)械、微型執(zhí)行器、信號(hào)處理和控制電路等集于一體的可批量...

2018-01-17 標(biāo)簽：開關(guān)mems 9682 0

MEMS壓電超聲換能器CMUT&PMUT以及生產(chǎn)工藝

聲波：物體振動(dòng)時(shí)激勵(lì)著它周圍的空氣質(zhì)點(diǎn)振動(dòng)，由于空氣具有可壓縮性，在質(zhì)點(diǎn)的相互作用下，振動(dòng)物體四周的空氣就交替地產(chǎn)生壓縮與膨脹，并且逐漸向外傳播，從而形成聲波。

2023-07-08 標(biāo)簽：mems 超聲波換能器 9538 0

探討什么是MEMS可調(diào)性濾波器？

濾波器是射頻微波系統(tǒng)必不可少的重要組成部分，性能優(yōu)異的濾波器模塊是射頻微波通信系統(tǒng)能正常工作的必要前提。傳統(tǒng)的微波濾波器雖然在參數(shù)指標(biāo)上有很優(yōu)秀的性能，...

2019-03-14 標(biāo)簽：濾波器 mems 9383 0

實(shí)現(xiàn)器件微型化的微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù)

為了實(shí)現(xiàn)核心電場(chǎng)敏感器件“心臟”的微型化，項(xiàng)目組基于MEMS技術(shù)，發(fā)明了新型的微結(jié)構(gòu)電場(chǎng)傳感器，創(chuàng)造性地發(fā)展了微型電場(chǎng)傳感器及其實(shí)際應(yīng)用，系統(tǒng)地解決了從...

2018-06-13 標(biāo)簽：MEMS 電場(chǎng)傳感器 9381 0

超聲波MEMS傳感器SPM0404UD5的性能優(yōu)勢(shì)和實(shí)用性可能性

超聲波被定義為上面的循環(huán)聲壓力人類聽覺的頻率限制，大約20 kHz。這是超聲波最明顯的特征，但不一定是最重要的。根據(jù)應(yīng)用要求，用戶可能還會(huì)關(guān)注：

2019-03-01 標(biāo)簽：傳感器 mems 超聲波 9369 0

MEMS慣性傳感器的背景及發(fā)展現(xiàn)狀

MEMS （ Micro-Electro-Mechanical System ）是指集機(jī)械元素、微型傳感器以及信號(hào)處理和控制電路、接口電路、通信和電源于...

2018-02-23 標(biāo)簽：傳感器 mems 9347 0

哪些半導(dǎo)體工藝、細(xì)分市場(chǎng)以及激光器類型，將驅(qū)動(dòng)激光設(shè)備市場(chǎng)增長(zhǎng)？

半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的激光應(yīng)用越來越廣泛且多樣化。多種激光技術(shù)已經(jīng)整合進(jìn)入許多重要的半導(dǎo)體工藝中。

2017-10-16 標(biāo)簽：mems 激光器 9344 0

如何將3D加速計(jì)和陀螺儀組合使用

加速計(jì)和陀螺儀是獲取無人機(jī)、蜂窩電話、汽車、接收機(jī)和移動(dòng)物聯(lián)網(wǎng)設(shè)備中加速和旋轉(zhuǎn)信息的傳感器選擇。但加速計(jì)和陀螺儀都容易有誤差，加速計(jì)可能出現(xiàn)噪音、陀螺儀...

2018-08-07 標(biāo)簽：mems 陀螺儀加速計(jì) 9334 0

有淺入深的介紹BLE與MEMS中的開發(fā)板設(shè)計(jì)

當(dāng)BLE遇到MEMS，就如同天使有了翅膀。本期從有淺入深的介紹BLE與MEMS的那些事，就從ST的STEVA

2018-03-31 標(biāo)簽：MEMS 陀螺儀 ST 9332 0

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相關(guān)話題

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IOT

IOT

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IoT是Internet of Things的縮寫，字面翻譯是“物體組成的因特網(wǎng)”，準(zhǔn)確的翻譯應(yīng)該為“物聯(lián)網(wǎng)”。物聯(lián)網(wǎng)（Internet of Things）又稱傳感網(wǎng)，簡(jiǎn)要講就是互聯(lián)網(wǎng)從人向物的延伸。
海思

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STM32F103C8T6

STM32F103C8T6

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STM32F103C8T6是一款集成電路，芯體尺寸為32位，程序存儲(chǔ)器容量是64KB，需要電壓2V~3.6V，工作溫度為-40°C ~ 85°C。
數(shù)字隔離

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數(shù)字隔離技術(shù)常用于工業(yè)網(wǎng)絡(luò)環(huán)境的現(xiàn)場(chǎng)總線、軍用電子系統(tǒng)和航空航天電子設(shè)備中，尤其是一些應(yīng)用環(huán)境比較惡劣的場(chǎng)合。數(shù)字隔離電路主要用于數(shù)字信號(hào)和開關(guān)量信號(hào)的傳輸。另一個(gè)重要原因是保護(hù)器件（或人）免受高電壓的危害。本文詳細(xì)介紹了數(shù)字隔離器工作原理及特點(diǎn)，選型及應(yīng)用，各類數(shù)字隔離器件性能比較等內(nèi)容。
硬件工程師

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硬件工程師Hardware Engineer職位要求熟悉計(jì)算機(jī)市場(chǎng)行情；制定計(jì)算機(jī)組裝計(jì)劃；能夠選購組裝需要的硬件設(shè)備，并能合理配置、安裝計(jì)算機(jī)和外圍設(shè)備；安裝和配置計(jì)算機(jī)軟件系統(tǒng)；保養(yǎng)硬件和外圍設(shè)備；清晰描述出現(xiàn)的計(jì)算機(jī)軟硬件故障。
wifi模塊

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Wi-Fi模塊又名串口Wi-Fi模塊，屬于物聯(lián)網(wǎng)傳輸層，功能是將串口或TTL電平轉(zhuǎn)為符合Wi-Fi無線網(wǎng)絡(luò)通信標(biāo)準(zhǔn)的嵌入式模塊，內(nèi)置無線網(wǎng)絡(luò)協(xié)議IEEE802.11b.g.n協(xié)議棧以及TCP/IP協(xié)議棧。傳統(tǒng)的硬件設(shè)備嵌入Wi-Fi模塊可以直接利用Wi-Fi聯(lián)入互聯(lián)網(wǎng)，是實(shí)現(xiàn)無線智能家居、M2M等物聯(lián)網(wǎng)應(yīng)用的重要組成部分。
MPU6050

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MPU-6000（6050）為全球首例整合性6軸運(yùn)動(dòng)處理組件，相較于多組件方案，免除了組合陀螺儀與加速器時(shí)間軸之差的問題，減少了大量的封裝空間。
74ls74

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74LS74是雙D觸發(fā)器。功能多，可作雙穩(wěn)態(tài)、寄存器、移位寄存器、振蕩器、單穩(wěn)態(tài)、分頻計(jì)數(shù)器等功能。本章詳細(xì)介紹了74ls112的功能及原理，74ls74引腳圖及功能表，74ls112的應(yīng)用等內(nèi)容。
Protues

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Proteus軟件是英國(guó)Lab Center Electronics公司出版的EDA工具軟件（該軟件中國(guó)總代理為廣州風(fēng)標(biāo)電子技術(shù)有限公司）。它不僅具有其它EDA工具軟件的仿真功能，還能仿真單片機(jī)及外圍器件。
UHD

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UHD是”超高清“的意思UHD的應(yīng)用在電視機(jī)技術(shù)上最為普遍，目前已有不少廠商推出了UHD超高清電視。
STC12C5A60S2

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在眾多的51系列單片機(jī)中，要算國(guó)內(nèi)STC 公司的1T增強(qiáng)系列更具有競(jìng)爭(zhēng)力，因他不但和8051指令、管腳完全兼容，而且其片內(nèi)的具有大容量程序存儲(chǔ)器且是FLASH工藝的，如STC12C5A60S2單片機(jī)內(nèi)部就自帶高達(dá)60K FLASHROM，這種工藝的存儲(chǔ)器用戶可以用電的方式瞬間擦除、改寫。
循跡小車

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做單片機(jī)的工程師相比都堆循跡小車有所認(rèn)識(shí)，它是自動(dòng)引導(dǎo)機(jī)器人系統(tǒng)的基本應(yīng)用，那么今天小編就給大家介紹下自動(dòng)自動(dòng)循跡小車的原理，智能循跡小車的應(yīng)用，智能循跡小車程序，循跡小車用途等知識(shí)吧！
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LM2596是降壓型電源管理單片集成電路的開關(guān)電壓調(diào)節(jié)器，能夠輸出3A的驅(qū)動(dòng)電流，同時(shí)具有很好的線性和負(fù)載調(diào)節(jié)特性。固定輸出版本有3.3V、5V、12V，可調(diào)版本可以輸出小于37V的各種電壓。
光立方

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光立方是由四千多棵光藝高科技“發(fā)光樹”組成的，在2009年10月1日天安門廣場(chǎng)舉行的國(guó)慶聯(lián)歡晚會(huì)上面世。這是新中國(guó)成立六十周年國(guó)慶晚會(huì)最具創(chuàng)意的三大法寶之首。
光模塊

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光模塊(optical module)由光電子器件、功能電路和光接口等組成，光電子器件包括發(fā)射和接收兩部分。簡(jiǎn)單的說，光模塊的作用就是光電轉(zhuǎn)換，發(fā)送端把電信號(hào)轉(zhuǎn)換成光信號(hào)，通過光纖傳送后，接收端再把光信號(hào)轉(zhuǎn)換成電信號(hào)。
K60

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STM32單片機(jī)

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STM32系列基于專為要求高性能、低成本、低功耗的嵌入式應(yīng)用專門設(shè)計(jì)的ARM Cortex-M3內(nèi)核
Nexperia

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Nexperia是大批量生產(chǎn)基本半導(dǎo)體的領(lǐng)先專家，這些半導(dǎo)體是世界上每個(gè)電子設(shè)計(jì)都需要的組件。該公司廣泛的產(chǎn)品組合包括二極管、雙極晶體管、ESD 保護(hù)器件、MOSFET、GaN FET 以及模擬和邏輯IC。
步進(jìn)驅(qū)動(dòng)器

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步進(jìn)驅(qū)動(dòng)器是一種將電脈沖轉(zhuǎn)化為角位移的執(zhí)行機(jī)構(gòu)。當(dāng)步進(jìn)驅(qū)動(dòng)器接收到一個(gè)脈沖信號(hào)，它就驅(qū)動(dòng)步進(jìn)電機(jī)按設(shè)定的方向轉(zhuǎn)動(dòng)一個(gè)固定的角度（稱為“步距角”），它的旋轉(zhuǎn)是以固定的角度一步一步運(yùn)行的。可以通過控制脈沖個(gè)數(shù)來控制角位移量，從而達(dá)到準(zhǔn)確定位的目的；同時(shí)可以通過控制脈沖頻率來控制電機(jī)轉(zhuǎn)動(dòng)的速度和加速度，從而達(dá)到調(diào)速和定位的目的。
CD4046

CD4046

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cD4046是通用的CMOS鎖相環(huán)集成電路，其特點(diǎn)是電源電壓范圍寬（為3V－18V），輸入阻抗高（約100MΩ），動(dòng)態(tài)功耗小，在中心頻率f0為10kHz下功耗僅為600μW，屬微功耗器件。本章主要介紹內(nèi)容有，CD4046的功能 cd4046鎖相環(huán)電路，CD4046無線發(fā)射，cd4046運(yùn)用，cd4046鎖相環(huán)電路圖。
COMSOL

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COMSOL集團(tuán)是全球多物理場(chǎng)建模解決方案的提倡者與領(lǐng)導(dǎo)者。憑借創(chuàng)新的團(tuán)隊(duì)、協(xié)作的文化、前沿的技術(shù)、出色的產(chǎn)品，這家高科技工程軟件公司正飛速發(fā)展，并有望成為行業(yè)領(lǐng)袖。其旗艦產(chǎn)品COMSOL Multiphysics 使工程師和科學(xué)家們可以通過模擬，賦予設(shè)計(jì)理念以生命。
加速度傳感器

加速度傳感器

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加速度傳感器是一種能夠測(cè)量加速度的傳感器。通常由質(zhì)量塊、阻尼器、彈性元件、敏感元件和適調(diào)電路等部分組成。
聯(lián)網(wǎng)技術(shù)

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服務(wù)機(jī)器人

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服務(wù)機(jī)器人是機(jī)器人家族中的一個(gè)年輕成員，到目前為止尚沒有一個(gè)嚴(yán)格的定義。不同國(guó)家對(duì)服務(wù)機(jī)器人的認(rèn)識(shí)不同。
四軸飛行器

四軸飛行器

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四軸飛行器，又稱四旋翼飛行器、四旋翼直升機(jī)，簡(jiǎn)稱四軸、四旋翼。這四軸飛行器（Quadrotor）是一種多旋翼飛行器。四軸飛行器的四個(gè)螺旋槳都是電機(jī)直連的簡(jiǎn)單機(jī)構(gòu)，十字形的布局允許飛行器通過改變電機(jī)轉(zhuǎn)速獲得旋轉(zhuǎn)機(jī)身的力，從而調(diào)整自身姿態(tài)。具體的技術(shù)細(xì)節(jié)在“基本運(yùn)動(dòng)原理”中講述。
基站測(cè)試

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802.11ac與11基站測(cè)試（base station tests）在基站設(shè)備安裝完畢后，對(duì)基站設(shè)備電氣性能所進(jìn)行的測(cè)量。n的區(qū)別，802.11n無線網(wǎng)卡驅(qū)動(dòng)，802.11n怎么安裝。
SDK

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　　SDK一般指軟件開發(fā)工具包，軟件開發(fā)工具包一般都是一些軟件工程師為特定的軟件包、軟件框架、硬件平臺(tái)、操作系統(tǒng)等建立應(yīng)用軟件時(shí)的開發(fā)工具的集合。軟件開發(fā)工具廣義上指輔助開發(fā)某一類軟件的相關(guān)文檔、范例和工具的集合。
TMS320F28335

TMS320F28335

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TMS320F28335是一款TI高性能TMS320C28x系列32位浮點(diǎn)DSP處理器
靜電防護(hù)

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為防止靜電積累所引起的人身電擊、火災(zāi)和爆炸、電子器件失效和損壞，以及對(duì)生產(chǎn)的不良影響而采取的防范措施。其防范原則主要是抑制靜電的產(chǎn)生，加速靜電泄漏，進(jìn)行靜電中和等。
ESP8266

ESP8266

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wifi模塊ESP8266的默認(rèn)波特率是115200，但是單片機(jī)不能達(dá)到那么快的傳輸速率，只能使用4800bps，那么設(shè)置的時(shí)候，必不可少的要先用轉(zhuǎn)串口調(diào)試下載器。

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