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微機電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術(shù)制作的高科技電子機械器件。
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隨著微機電和慣性技術(shù)的發(fā)展,MEMS慣性器件技術(shù)越來越成熟,MEMS陀螺以其性能高、尺寸小、能耗低、可靠性高、重量輕、價格低等優(yōu)點,在低成本姿態(tài)測量系統(tǒng)...
目前,在陀螺儀應(yīng)用領(lǐng)域,按精度細(xì)分的話,陀螺儀可分為商用陀螺儀、戰(zhàn)術(shù)陀螺儀、導(dǎo)航陀螺儀、戰(zhàn)略陀螺儀。
MEMS在無人系統(tǒng)領(lǐng)域有著巨大的應(yīng)用潛力
MEMS慣性導(dǎo)航在過去數(shù)十年內(nèi)得到了迅速發(fā)展,在無人系統(tǒng)領(lǐng)域內(nèi)得到了越來越多的應(yīng)用,其作為未來慣性導(dǎo)航的主要發(fā)展方向,正在展現(xiàn)出強大的潛力以及良好的應(yīng)用前景。
2020-07-14 標(biāo)簽:mems無人系統(tǒng) 909 0
MEMS全稱為微型電子機械系統(tǒng)(Micro-Electro-MechanicalSystem),是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來,融合了微...
增強現(xiàn)實/虛擬現(xiàn)實 (AR/VR) 系統(tǒng)正在各個領(lǐng)域得到日益廣泛的應(yīng)用,例如在娛樂、教育、醫(yī)療保健和其他工業(yè)應(yīng)用中。借助這些技術(shù),用戶能夠在虛擬空間中模...
2020-07-10 標(biāo)簽:mems光學(xué)傳感器超聲波傳感器 4247 0
MEMS是隨著半導(dǎo)體集成電路微細(xì)加工技術(shù)和超精密機械加工技術(shù)的發(fā)展而發(fā)展起來的,目前MEMS加工技術(shù)還被廣泛應(yīng)用于微流控芯片與合成生物學(xué)等領(lǐng)域,從而進(jìn)行...
基于英飛凌 XENSIV? MEMS高性能麥克風(fēng) IM69D130 語音交互解決方案
談到邊緣AI,落地最成功的產(chǎn)品莫過于智能音箱——從語音拾取,結(jié)合語義理解,進(jìn)而輸出反饋,如此實現(xiàn)了完整的語音交互流程。
應(yīng)變式傳感器的相關(guān)特性和應(yīng)用說明
傳感器技術(shù)發(fā)展很快,生活各方面對傳感器技術(shù)均有所應(yīng)用。在往期文章中,小編對傳感器技術(shù)有所介紹,如視覺傳感器技術(shù)、圖像傳感器技術(shù)、多傳感器融合技術(shù)等。為進(jìn)...
將陀螺儀繞X軸旋轉(zhuǎn)時,只有wx有讀數(shù);將陀螺儀繞Y軸旋轉(zhuǎn)時,只有wy有讀數(shù);將陀螺儀繞Z軸旋轉(zhuǎn)時,只有wz有讀數(shù);
嵌套環(huán)MEMS陀螺的發(fā)展現(xiàn)狀
波音公司提出的嵌套環(huán)MEMS陀螺如圖2(a)所示,其直徑約8mm,環(huán)與環(huán)之間的間隙較大,可以用來設(shè)置內(nèi)部電極用于驅(qū)動、檢測或靜電修調(diào)。該陀螺具有較大的等...
基于3D MEMS OXC的基本結(jié)構(gòu)與應(yīng)用范圍分析
實現(xiàn)OXC的第二種技術(shù)方案是基于MEMS微鏡陣列的Cross-Bar光開關(guān),日本東京大學(xué)的H. Toshiyoshi和H. Fujita于1996年報道...
基于節(jié)點存儲路由信息的無線傳感器網(wǎng)絡(luò)覆蓋連通性的判定算法與研究
集成傳感器技術(shù)、微機電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)、無線通信技術(shù)和分布式信息處理技術(shù)的無線傳感器網(wǎng)絡(luò)(WSN,wirelesssensornetworks)是當(dāng)...
MEMS VOA光衰減器的工作原理及在光通信網(wǎng)絡(luò)中的應(yīng)用研究
MEMS(Micro Electro Mechanical System,微機電系統(tǒng))技術(shù)被廣泛應(yīng)用于光纖通信系統(tǒng)中,MEMS技術(shù)與光學(xué)技術(shù)的結(jié)合,通常...
2020-04-28 標(biāo)簽:mems光纖通信通信網(wǎng)絡(luò) 5755 0
Melexis 將探討非接觸式溫度感應(yīng)背后的原理,以及盡可能減輕熱沖擊影響的方法。
MEMS加速度傳感器在電機健康狀態(tài)監(jiān)測上的應(yīng)用
常見的加速度傳感器主要有壓電陶瓷加速度傳感器、應(yīng)變式加速度傳感器、電容式加速度傳感器和MEMS加速度傳感器,傳統(tǒng)的電機振動監(jiān)測主要選用IEPE電壓輸出型...
利用EL6249C芯片實現(xiàn)頻閃照明電路的設(shè)計
微電子機械系統(tǒng)(MEMS)是在微電子技術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展起來的多學(xué)科交叉的新興學(xué)科。由于它與傳統(tǒng)機械系統(tǒng)相比,具有可大批量生產(chǎn)、成本低、功耗小、集成化等一系列...
5G手機拆解:Reno3 5G除了聯(lián)發(fā)科天璣1000L還有哪些聯(lián)發(fā)科芯片
論5G的SoC ,Media Tek天璣1000L 必定有姓名。截止目前搭載天璣的僅OPPO Reno3 5G,拆解后,分析Reno 3內(nèi)部用多少聯(lián)發(fā)科...
2020-04-02 標(biāo)簽:聯(lián)發(fā)科mems5G手機 1.6萬 0
如何在光譜分析行業(yè)中實現(xiàn)創(chuàng)新
光譜分析可基于樣本對于大范圍波長的反應(yīng)鑒定樣本,是實現(xiàn)該應(yīng)用的強大工具。值得注意的是,NIR光譜分析用波長范圍通常在780-2500納米之間的光來刺激樣本。
MEMS麥克風(fēng)重塑音頻領(lǐng)域,人工智能(AI)將引領(lǐng)音頻市場的發(fā)展和轉(zhuǎn)型
多年前,MEMS麥克風(fēng)的興起重塑了音頻領(lǐng)域。法國著名市場研究公司Yole堅信,未來幾年,人工智能(AI)將引領(lǐng)音頻市場的發(fā)展和轉(zhuǎn)型。
2020-03-15 標(biāo)簽:mems人工智能MEMS麥克風(fēng) 1735 0
基于MEMS技術(shù)的1×N端口光開關(guān)的原理結(jié)構(gòu)與用途分析
8×16端口MCS光開關(guān)的結(jié)構(gòu)如圖2所示,它包括8個1×16端口的PLC光分路器和16個8×1端口的光開關(guān),光分路器通常以PLC技術(shù)制備,而1×N端口光...
2020-01-27 標(biāo)簽:開關(guān)mems互聯(lián)網(wǎng) 3318 0
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