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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
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Micralyne展示標(biāo)準(zhǔn)MEMS工藝技術(shù)平臺(tái),加速新興傳感應(yīng)用商業(yè)化
Micralyne開發(fā)的空間光閥Spatial Light Valves(SLV),是一種基于MEMS器件的可調(diào)諧空間光調(diào)制器,應(yīng)用衍射原理提供了一種高...
耐威科技牽手百度Apollo計(jì)劃,上半年MEMS盈利情況已超去年全年
楊云春介紹說,汽車智能化的分級(jí)可以從L0-L5,分別為人工駕駛、輔助駕駛、半自動(dòng)駕駛、高度自動(dòng)駕駛、超高度自動(dòng)駕駛、全自動(dòng)駕駛。“汽車廠商與平臺(tái)廠商的相...
金磐開發(fā)區(qū)位于金華市區(qū),成立于1995年,規(guī)劃面積為3.8平方公里。截至去年,區(qū)內(nèi)現(xiàn)有工商企業(yè)1000多家,產(chǎn)值1億元以上企業(yè)6家,稅收超千萬企業(yè)9家,...
Molex互連解決方案用于持久耐用的醫(yī)療I/O應(yīng)用設(shè)備
作為全球醫(yī)學(xué)互連解決方案的主要供應(yīng)商,全球領(lǐng)先的全套互連產(chǎn)品供應(yīng)商Molex公司繼續(xù)擴(kuò)大在醫(yī)療市場(chǎng)的作用。醫(yī)療保健系統(tǒng)日益依賴于復(fù)雜的電子設(shè)備,醫(yī)療設(shè)備...
SiTime推出基于MEMS的創(chuàng)新時(shí)鐘產(chǎn)品—Elite Platform?
SiTime公司的高精度振蕩器基于Elite Platform?,為小型基站、同步以太網(wǎng)與時(shí)鐘同步的動(dòng)態(tài)性能、抗環(huán)境壓力和可靠性等方面制定了新標(biāo)準(zhǔn)。利用...
訪談NXP壓力傳感器業(yè)務(wù)副總裁兼總經(jīng)理Eric Toulouse
Yole最新報(bào)告《MEMS壓力傳感器市場(chǎng)和技術(shù)-2018版》,將MEMS壓力傳感器細(xì)分為五大市場(chǎng):汽車類、消費(fèi)類、工業(yè)類、醫(yī)療類和航空電子類。盡管壓力傳...
MEMS龍頭地位凸顯。MEMS產(chǎn)品工藝復(fù)雜,產(chǎn)品多樣,設(shè)計(jì)企業(yè)必須與工藝開發(fā)及代工廠合作才能開發(fā)出實(shí)際產(chǎn)品。Silex在MEMS領(lǐng)域深耕18年,工藝及技...
研究人員開始逐漸放棄硅材料研究,但很多創(chuàng)新工作要做
自1984年以來,“固態(tài)傳感器、執(zhí)行器及微系統(tǒng)研討會(huì)”(The Solid State Sensors, Actuators and Microsyst...
目前,壓力傳感器、加速計(jì)、陀螺儀與流量傳感器四類器件合計(jì)占汽車MEMS系統(tǒng)的99%。其五年增長(zhǎng)率均在3-12%。MEMS壓力傳感器是汽車中應(yīng)用最多的傳感...
8英寸MEMS代工線即將建成,MEMS產(chǎn)能有望位居全球首位
革命性的MEMS芯片及器件可以應(yīng)用于各行各業(yè),是在物聯(lián)網(wǎng)時(shí)代下,解決互聯(lián)網(wǎng)與真實(shí)世界鏈接的基礎(chǔ)元件,如探測(cè)真實(shí)世界的運(yùn)動(dòng)、壓力、光、熱、聲、磁等信號(hào),應(yīng)...
2018-07-14 標(biāo)簽:mems物聯(lián)網(wǎng) 5759 0
MEMS初創(chuàng)公司SMG宣布完成700萬美元融資
SMG是一家專注于創(chuàng)新技術(shù)開發(fā)和應(yīng)用的私人控股公司,主要面向改善石油和天然氣的監(jiān)測(cè)、評(píng)估和生產(chǎn),并延伸應(yīng)用于CO2存儲(chǔ)、水管理、采礦和國(guó)防等領(lǐng)域。
全球前三十大MEMS公司排名出爐,射頻正在悄然改變MEMS產(chǎn)業(yè)格局
據(jù)報(bào)道,4G的普及及其復(fù)雜性大大提高了濾波器的需求量,射頻(RF)正在悄然改變MEMS產(chǎn)業(yè)格局。美國(guó)博通(Broadcom)于2015年5月被安華高科技...
應(yīng)用材料公司全球服務(wù)產(chǎn)品事業(yè)部200毫米半導(dǎo)體及動(dòng)力輔助設(shè)備副總裁原錚博士:從全球來看,2014年到2015年的增長(zhǎng)勢(shì)頭非常好,但是亞洲地區(qū)的發(fā)展更明顯...
2018-02-11 標(biāo)簽:MEMS 987 0
哈佛大學(xué)新款MEMS微型機(jī)器人MilliDelta發(fā)布
據(jù)麥姆斯咨詢報(bào)道,哈佛大學(xué)過去開發(fā)的機(jī)器人Delta手臂通常用在組裝生產(chǎn)線,其速度和靈巧度決定了工作空間需要足夠大,如今哈佛大學(xué)的工程師已經(jīng)開發(fā)出這款通...
新創(chuàng)物聯(lián)網(wǎng)MEMS靜電開關(guān)方案
Menlo Microsystems宣布其MEMS開關(guān)在廣泛的物聯(lián)網(wǎng)(IoT)應(yīng)用中取得了進(jìn)展,除了GE的醫(yī)療系統(tǒng),未來還可作為功率致動(dòng)器和繼電器,用于...
2018-02-11 標(biāo)簽:MEMS物聯(lián)網(wǎng)靜電開關(guān) 2517 0
MEMS傳感器在氣體檢測(cè)中的應(yīng)用及優(yōu)勢(shì)分析
首先先來解釋什么是MEMS。Microelectromechanical Systems, 這個(gè)讓老美念起來都繞口的詞,中文叫做“微機(jī)械機(jī)電系統(tǒng)”。 隨...
IC工藝,CMOS工藝,MEMS工藝有什么關(guān)系和區(qū)別?
而mems即微機(jī)電系統(tǒng),是一門新興學(xué)科和領(lǐng)域,跟ic有很大的關(guān)聯(lián),當(dāng)然mems工藝也和cmos工藝會(huì)有很大的相似之處,現(xiàn)在的發(fā)展方向應(yīng)該是把二者集成到一...
MEMS器件動(dòng)態(tài)特性的光學(xué)測(cè)量就是一種有效的測(cè)試手段。先進(jìn)的光學(xué)測(cè)量技術(shù)對(duì)MEMS器件在開發(fā)過程中了解其全視野動(dòng)態(tài)響應(yīng),完成各種不同的物理特性的多種參數(shù)...
2018-07-13 標(biāo)簽:mems 1.7萬 0
傾角儀又稱傾角傳感器,用于測(cè)量在重力作用下的物體的傾斜角度。這些傾角及水平測(cè)量?jī)x器計(jì)量出俯仰角與/或滾轉(zhuǎn)角并通過合適的電氣接口輸出這些數(shù)值。傾角儀非常易...
雖然大部分人對(duì)于MEMS(Microelectromechanical systems,微機(jī)電系統(tǒng)/微機(jī)械/微系統(tǒng))還是感到很陌生,但是其實(shí)MEMS在我...
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