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微機電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術(shù)制作的高科技電子機械器件。
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基于伯努利原理的速度監(jiān)測芯片可監(jiān)控天然氣運輸管道系統(tǒng)的泄露監(jiān)測
該MEMS傳感芯片基于伯努利原理而直接讀取運動物體速度,既是對現(xiàn)有加速度計和陀螺儀傳感器的有力補充,又將開拓擴展許多新的應(yīng)用。
中芯紹興項目計劃今年1月進入量產(chǎn)階段 將打造成為世界一流的特色工藝半導(dǎo)體代工企業(yè)
近日,紹興市領(lǐng)導(dǎo)到中芯紹興MEMS和功率器件芯片制造及封裝測試項目進行了調(diào)研。據(jù)紹興發(fā)布報道,中芯紹興項目計劃今年1月進入量產(chǎn)階段。
8英寸MEMS國際代工線將在2019年下半年投產(chǎn)
耐威科技是長期從事慣性導(dǎo)航產(chǎn)品、衛(wèi)星導(dǎo)航產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售,耐威科技建設(shè)投產(chǎn)了MEMS代工線項目,一方面與主營業(yè)務(wù)協(xié)同性很好,能深化導(dǎo)航產(chǎn)品布局,可...
隨著太陽能、風(fēng)能產(chǎn)業(yè)的高速發(fā)展,當(dāng)下儲能產(chǎn)業(yè)無法跟上腳步,多余的電能可通過電解水的方式,用于制造氫能源。能源產(chǎn)業(yè)的聯(lián)動,將有助于FCV進一步縮減成本。
2016-10-18 標(biāo)簽:傳感器MEMS半導(dǎo)體芯片 6136 0
MEMS和物聯(lián)網(wǎng)的應(yīng)用:智慧農(nóng)業(yè)MEMS技術(shù)
智慧農(nóng)業(yè)MEMS技術(shù)真是農(nóng)場主的“神算子”嗎? 農(nóng)業(yè)應(yīng)用所需的測量和傳感大部分依靠微機電系統(tǒng)(MEMS)。MEMS將機械結(jié)構(gòu)與電子相結(jié)合,制造出智慧農(nóng)業(yè)...
2018-05-20 標(biāo)簽:傳感器mems物聯(lián)網(wǎng) 6134 0
不止手機,可穿戴、AR/VR、物聯(lián)網(wǎng)正成為電子元器件微型機電系統(tǒng)(MEMS)市場的關(guān)鍵驅(qū)動力
在2018年慕尼黑上海電子展上,作為全球創(chuàng)新型MEMS傳感器及致動器解決方案領(lǐng)先供應(yīng)商的Bosch Sensortec展示了三款核心產(chǎn)品,包括適用于可...
2018-03-18 標(biāo)簽:電子元器件MEMS物聯(lián)網(wǎng) 6109 0
超10億美元MEMS麥克風(fēng)市場!國產(chǎn)芯片不斷突破信噪比,AI成為發(fā)展驅(qū)動力
電子發(fā)燒友網(wǎng)報道(文/莫婷婷)隨著消費電子市場的恢復(fù),汽車、工業(yè)、通訊等領(lǐng)域?qū)EMS的需求不斷增加,一改MEMS行業(yè)在2023年出現(xiàn)行業(yè)規(guī)模下滑的局面...
RoboSense攜MEMS固態(tài)激光雷達M1亮相CES
2019年1月4日,CES 2019創(chuàng)新獎得主自動駕駛激光雷達感知系統(tǒng)提供商 RoboSense 宣布將在 CES 2019上公開演示全面升級后的 ME...
《第31期“見微知著”培訓(xùn)課程:壓電MEMS與傳感器》在無錫市新吳區(qū)圓滿舉辦!
壓電材料特性,簡單來講是“電能與機械能的相互轉(zhuǎn)換”。深究起來,其中的學(xué)問非常深奧:材料形態(tài)(塊型、薄膜型)、材料種類、摻雜類型、制備工藝、集成方法……從...
車用MEMS傳感器的具體應(yīng)用及全球MEMS汽車傳感器十大廠商
車用MEMS傳感器的應(yīng)用方向和市場需求包括車輛的防抱死系統(tǒng)(ABS)、電子車身穩(wěn)定程序(ESP)、電控懸掛(ECS)、電動手剎(EPB)、斜坡起動輔助(...
多門類實用的MEMS演示樣品向早期產(chǎn)品演繹,可批量生產(chǎn)的微加速度計、力敏傳感器、微陀螺儀、數(shù)字微鏡器件、光開關(guān)等的商品化日趨成熟,初步形成100億美元的...
2011-09-20 標(biāo)簽:MEMS 6019 0
總結(jié)射頻濾波器所用的壓電材料的技術(shù)現(xiàn)狀
摘要:射頻濾波器是當(dāng)前5G通訊建設(shè)所需的核心器件,而壓電晶體則是制造射頻濾波器的基礎(chǔ)材料。本文就當(dāng)前射頻濾波器所用的壓電材料的技術(shù)現(xiàn)狀進行了描述,對當(dāng)前...
微機電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)使用半導(dǎo)體制造工藝來生產(chǎn)尺寸范圍從小于一微米到幾毫米的小型化機械和機電元件。MEMS設(shè)備可以從沒有運動元件的相對簡單的結(jié)構(gòu)到具...
對于大部分人來說,MEMS(微機電系統(tǒng))是個很陌生的概念,但事實上MEMS早已在我們的生產(chǎn)、生活中無處不在了,智能手機,健身手環(huán),以及今年很流行的的無人...
2017-10-18 標(biāo)簽:mems 5961 0
代表我國傳感器領(lǐng)域頂尖科技水平的各高校全國重點實驗室統(tǒng)計名單
? “全國重點實驗室”被譽為“國家重點實驗室”的升級版,代表了國家在相關(guān)領(lǐng)域的頂尖科技水平,堪稱“國之重器”。 2021年12月,中央經(jīng)濟工作會議指出:...
向高端類IMU應(yīng)用邁步—國產(chǎn)IMU技術(shù)應(yīng)用分析
電子發(fā)燒友網(wǎng)報道(文/李寧遠(yuǎn))上一期中挑選了國外三家知名的IMU廠商的主流IMU產(chǎn)品進行盤點分析??梢钥吹剑瑖庵髁鞯腎MU廠商都在精度和低耗上下足了功...
耐威科技8英寸MEMS芯片生產(chǎn)線首臺設(shè)備搬入
據(jù)北京亦莊官方消息,該項目建成后將成為北京首條商業(yè)量產(chǎn)、全球業(yè)界最先進的8英寸MEMS芯片生產(chǎn)線,最終達產(chǎn)后將形成月產(chǎn)3萬片的生產(chǎn)能力。
發(fā)力5G和毫米波雷達 英飛凌最新電源管理及射頻技術(shù)揭秘
新技術(shù)驅(qū)動新市場,從5G、無人機、充電樁到通信電源,英飛凌都憑借著自身獨特的電源解決方案、晶圓和毫米波雷達芯片技術(shù),抓住物聯(lián)網(wǎng)眾多細(xì)分市場的先機。
2023年MEMS晶圓廠將占所有MEMS和傳感器建成工廠的46%
SEMI預(yù)測,2023年,MEMS晶圓廠將占所有MEMS和傳感器建成工廠的46%。圖像傳感器工廠將占總數(shù)的40%,其他工廠-同時生產(chǎn)MEMS和圖像傳感器...
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