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微機電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術(shù)制作的高科技電子機械器件。
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中芯紹興項目計劃今年1月進入量產(chǎn)階段 將打造成為世界一流的特色工藝半導(dǎo)體代工企業(yè)
近日,紹興市領(lǐng)導(dǎo)到中芯紹興MEMS和功率器件芯片制造及封裝測試項目進行了調(diào)研。據(jù)紹興發(fā)布報道,中芯紹興項目計劃今年1月進入量產(chǎn)階段。
中國未來20年,是物聯(lián)網(wǎng),人工智能和智能制造規(guī)?;l(fā)展的時代。無論是哪個領(lǐng)域,傳感器作為感知層,都會發(fā)揮不可替代的作用。當傳感器達到一定數(shù)量規(guī)模的時候,...
2018-04-17 標簽:mems物聯(lián)網(wǎng)人工智能 6.5k 0
據(jù)麥姆斯咨詢報道,意法半導(dǎo)體(STMicroelectronics)近期推出了一款具有化學(xué)兼容性、穩(wěn)定性的高精度防水型MEMS壓力傳感器LPS33W,適...
2019-03-16 標簽:mems意法半導(dǎo)體 6.5k 0
First Sensor攜手英飛凌展示MEMS激光雷達技術(shù)
傳感器專家First Sensor利用英飛凌(Infineon)MEMS微鏡掃描LiDAR演示系統(tǒng)展示其強大的APD系統(tǒng)性能。
總結(jié)射頻濾波器所用的壓電材料的技術(shù)現(xiàn)狀
摘要:射頻濾波器是當前5G通訊建設(shè)所需的核心器件,而壓電晶體則是制造射頻濾波器的基礎(chǔ)材料。本文就當前射頻濾波器所用的壓電材料的技術(shù)現(xiàn)狀進行了描述,對當前...
在四軸飛行器的飛控主板上,需要用到的芯片并不多。目前的玩具級飛行器還只是簡單地在空中飛行或停留,只要能夠接收到遙控器發(fā)送過來的指令,控制四個馬達帶動槳翼...
2015-05-13 標簽:MEMS無人機技術(shù)無人機飛控 6.4k 1
6月10日,賽微電子發(fā)布公告稱,北京賽微電子股份有限公司控股子公司賽萊克斯微系統(tǒng)科技(北京)有限公司(簡稱“北京 FAB3”)代工的首批MEMS麥克風(fēng)芯...
據(jù)麥姆斯咨詢報道,近期,具有革命性的MEMS開關(guān)創(chuàng)新公司Menlo Micro發(fā)布了一款集成電荷泵的8通道“低壓到高壓”的低功耗驅(qū)動IC:MM101。
8英寸MEMS國際代工線將在2019年下半年投產(chǎn)
耐威科技是長期從事慣性導(dǎo)航產(chǎn)品、衛(wèi)星導(dǎo)航產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售,耐威科技建設(shè)投產(chǎn)了MEMS代工線項目,一方面與主營業(yè)務(wù)協(xié)同性很好,能深化導(dǎo)航產(chǎn)品布局,可...
據(jù)麥姆斯咨詢介紹,激光雷達(LiDAR)是一項使用激光實現(xiàn)測距并創(chuàng)建深度圖的技術(shù),但給人以昂貴且笨重的印象。MEMS微鏡會如何幫助降低激光雷達成本?激光...
西人馬發(fā)布8款壓阻式壓力芯片及6大系列壓阻式壓力傳感器
西人馬公司一直致力于先進MEMS芯片及傳感器制造,擁有MEMS高端傳感器和芯片制造基地,此次發(fā)布的6款壓阻式壓力芯片由西人馬公司自主研發(fā)生產(chǎn),采用6寸M...
ULVAC推出鋯鈦酸鉛壓電薄膜濺射技術(shù),廣泛應(yīng)用于MEMS器件中
PZT壓電薄膜是構(gòu)成MEMS傳感器和執(zhí)行器的關(guān)鍵技術(shù),但其制備工藝在過去很難實現(xiàn),傳統(tǒng)上主要采用低溫的涂覆方法(溶膠-凝膠法)。然而,在2015年,UL...
Silicon Sensing Systems擴大MEMS代工產(chǎn)能,積極布局PZT薄膜業(yè)務(wù)
Silicon Sensing Systems將擴大其在日本的MEMS代工廠規(guī)模,新增的廠房設(shè)施。
ADXL345 MEMS加速度計開發(fā)板的設(shè)置和使用方法
ADXL345 MEMS加速度計開發(fā)板。由ADI公司的Nitzan Gadish說明如何設(shè)置和使用ADXL345開發(fā)板。該板能夠捕捉3軸在時間上的數(shù)據(jù),...
EMS傳感器被認為是汽車不可缺少的部件,它對于提升汽車性能和駕駛體驗,有著顯著作用。研究機構(gòu)數(shù)據(jù)顯示,平均每輛汽車包含10個傳感器,而高級汽車會約用20...
MEMS技術(shù)開始興起并且在消費類市場將面臨三大挑戰(zhàn)
當前MEMS傳感器的發(fā)展應(yīng)用將進入一個新的輪回,市場重心從消費電子重新轉(zhuǎn)向汽車及工業(yè)領(lǐng)域。對此,博世(Bosch)亞太區(qū)總裁Leopold Beer指出...
ICM-42670-P中文數(shù)據(jù)手冊和開發(fā)套件:高性能 6 軸 Motion跟蹤? IMU
ICM-42670-P 高性能 6 軸 Motion跟蹤? IMU *附件:ICM-42670-P 數(shù)據(jù)手冊 替代MPU6050.pdf *附件:IMU...
發(fā)力5G和毫米波雷達 英飛凌最新電源管理及射頻技術(shù)揭秘
新技術(shù)驅(qū)動新市場,從5G、無人機、充電樁到通信電源,英飛凌都憑借著自身獨特的電源解決方案、晶圓和毫米波雷達芯片技術(shù),抓住物聯(lián)網(wǎng)眾多細分市場的先機。
如何將CMOS IC與MEMS融合到物聯(lián)網(wǎng)邊緣智能器件設(shè)計中?
創(chuàng)建基于傳感器的物聯(lián)網(wǎng)(IoT)邊緣器件會涉及多個設(shè)計領(lǐng)域,因此極具挑戰(zhàn)性(圖1)。但是,在同一硅片上創(chuàng)建一個既有采用傳統(tǒng)CMOS IC流程制作的電子器...
2018-08-02 標簽:cmosmems物聯(lián)網(wǎng) 6.3k 0
多門類實用的MEMS演示樣品向早期產(chǎn)品演繹,可批量生產(chǎn)的微加速度計、力敏傳感器、微陀螺儀、數(shù)字微鏡器件、光開關(guān)等的商品化日趨成熟,初步形成100億美元的...
2011-09-20 標簽:MEMS 6.3k 0
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