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微機電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術(shù)制作的高科技電子機械器件。
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2023年MEMS晶圓廠將占所有MEMS和傳感器建成工廠的46%
SEMI預(yù)測,2023年,MEMS晶圓廠將占所有MEMS和傳感器建成工廠的46%。圖像傳感器工廠將占總數(shù)的40%,其他工廠-同時生產(chǎn)MEMS和圖像傳感器...
MEMS技術(shù)開始興起并且在消費類市場將面臨三大挑戰(zhàn)
當前MEMS傳感器的發(fā)展應(yīng)用將進入一個新的輪回,市場重心從消費電子重新轉(zhuǎn)向汽車及工業(yè)領(lǐng)域。對此,博世(Bosch)亞太區(qū)總裁Leopold Beer指出...
TI推出單芯片無源紅外線(IR)MEMS溫度傳感器 TMP006
德州儀器 (TI) 宣布推出業(yè)界首款單芯片無源紅外線 (IR) MEMS 溫度傳感器,首次為便攜式消費類電子產(chǎn)品實現(xiàn)非接觸溫度測量功能
日前,東南大學(xué)射頻與光電集成電路研究所(射光所)王志功教授團隊的王科平副研究員在集成電路與微機電系統(tǒng)(MEMS)協(xié)同設(shè)計方面取得重要進展。 成果以Des...
2018-03-18 標簽:MEMS 6.1k 0
對于大部分人來說,MEMS(微機電系統(tǒng))是個很陌生的概念,但事實上MEMS早已在我們的生產(chǎn)、生活中無處不在了,智能手機,健身手環(huán),以及今年很流行的的無人...
2017-10-18 標簽:mems 6k 0
6月10日,賽微電子發(fā)布公告稱,北京賽微電子股份有限公司控股子公司賽萊克斯微系統(tǒng)科技(北京)有限公司(簡稱“北京 FAB3”)代工的首批MEMS麥克風(fēng)芯...
西人馬發(fā)布8款壓阻式壓力芯片及6大系列壓阻式壓力傳感器
西人馬公司一直致力于先進MEMS芯片及傳感器制造,擁有MEMS高端傳感器和芯片制造基地,此次發(fā)布的6款壓阻式壓力芯片由西人馬公司自主研發(fā)生產(chǎn),采用6寸M...
國內(nèi)MEMS產(chǎn)業(yè)鏈現(xiàn)狀是怎樣的?這些MEMS企業(yè)實力幾何?
MEMS被認為是21世紀最有前途的技術(shù)之一,如果半導(dǎo)體微制造被視為第一次微制造革命,MEMS則是第二次革命。通過結(jié)合硅基微電子技術(shù)和微機械加工技術(shù),ME...
2020-08-25 標簽:mems微機電系統(tǒng)產(chǎn)業(yè)鏈 6k 0
生命體征技術(shù):基于狀態(tài)的人體監(jiān)測
生物阻抗是另一種測量方法,可以為我們提供有關(guān)我們身體狀態(tài)的有用信息。阻抗測量提供有關(guān)我們的皮膚電活動、身體成分和水合作用狀態(tài)的信息。每個參數(shù)都需要不同的...
MEMS微流體技術(shù)是即時醫(yī)療檢測及生物醫(yī)療,藥物研發(fā)的核心技術(shù),建立下一代智能微流體柔性工藝平臺是生物醫(yī)療創(chuàng)新研發(fā)的基礎(chǔ),市場潛力十分巨大。
午芯高科國產(chǎn)首款“電容式”高分辨率MEMS氣壓計芯片上市
近期,全球芯片需求端旺盛、國產(chǎn)替代的迫切性將國產(chǎn)芯片產(chǎn)業(yè)推上了時代的舞臺,初創(chuàng)企業(yè)如雨后春筍一般涌現(xiàn)。這片“欣欣向榮”背后所暗藏的危機也逐漸暴露出來,例...
29000字,揭露中國MEMS傳感器危機:落后10年中高端90%靠進口?。ǜ阶钚聝?yōu)秀企業(yè)名單)
在2022世界傳感器大會新聞發(fā)布會上,中國科協(xié)科技創(chuàng)新部副部長林潤華發(fā)言指出:與全世界生產(chǎn)的超過2萬種產(chǎn)品品種相比,中國國內(nèi)僅能生產(chǎn)其中的約1/3,整體...
如何將CMOS IC與MEMS融合到物聯(lián)網(wǎng)邊緣智能器件設(shè)計中?
創(chuàng)建基于傳感器的物聯(lián)網(wǎng)(IoT)邊緣器件會涉及多個設(shè)計領(lǐng)域,因此極具挑戰(zhàn)性(圖1)。但是,在同一硅片上創(chuàng)建一個既有采用傳統(tǒng)CMOS IC流程制作的電子器...
2018-08-02 標簽:cmosmems物聯(lián)網(wǎng) 5.9k 0
8英寸MEMS代工線即將建成,MEMS產(chǎn)能有望位居全球首位
革命性的MEMS芯片及器件可以應(yīng)用于各行各業(yè),是在物聯(lián)網(wǎng)時代下,解決互聯(lián)網(wǎng)與真實世界鏈接的基礎(chǔ)元件,如探測真實世界的運動、壓力、光、熱、聲、磁等信號,應(yīng)...
2018-07-14 標簽:mems物聯(lián)網(wǎng) 5.9k 0
Silicon Sensing Systems擴大MEMS代工產(chǎn)能,積極布局PZT薄膜業(yè)務(wù)
Silicon Sensing Systems將擴大其在日本的MEMS代工廠規(guī)模,新增的廠房設(shè)施。
現(xiàn)代科學(xué)發(fā)展的進步,讓傳感器的研發(fā)應(yīng)用呈現(xiàn)多樣化趨勢
隨著現(xiàn)代科學(xué)發(fā)展,傳感技術(shù)作為一種與現(xiàn)代科學(xué)密切相關(guān)的新興學(xué)科得到迅速的發(fā)展,并在工業(yè)自動化測量和檢測、航天技術(shù)軍事工程、醫(yī)療診斷、智能交通等領(lǐng)域被越來...
Vesper應(yīng)該繼續(xù)專注于將壓電MEMS麥克風(fēng)推向市場
如果將薄膜厚度減半,就可以將薄膜面積和芯片尺寸縮小一半。雖然目前我們正在使用物理氣相沉積(physical vapor deposition,PVD)來...
ADXL345 MEMS加速度計開發(fā)板的設(shè)置和使用方法
ADXL345 MEMS加速度計開發(fā)板。由ADI公司的Nitzan Gadish說明如何設(shè)置和使用ADXL345開發(fā)板。該板能夠捕捉3軸在時間上的數(shù)據(jù),...
據(jù)麥姆斯咨詢介紹,激光雷達(LiDAR)是一項使用激光實現(xiàn)測距并創(chuàng)建深度圖的技術(shù),但給人以昂貴且笨重的印象。MEMS微鏡會如何幫助降低激光雷達成本?激光...
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