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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
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MEMS和物聯(lián)網(wǎng)的應(yīng)用:智慧農(nóng)業(yè)MEMS技術(shù)
智慧農(nóng)業(yè)MEMS技術(shù)真是農(nóng)場(chǎng)主的“神算子”嗎? 農(nóng)業(yè)應(yīng)用所需的測(cè)量和傳感大部分依靠微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)。MEMS將機(jī)械結(jié)構(gòu)與電子相結(jié)合,制造出智慧農(nóng)業(yè)...
2018-05-20 標(biāo)簽:傳感器mems物聯(lián)網(wǎng) 6.4k 0
向高端類IMU應(yīng)用邁步—國(guó)產(chǎn)IMU技術(shù)應(yīng)用分析
電子發(fā)燒友網(wǎng)報(bào)道(文/李寧遠(yuǎn))上一期中挑選了國(guó)外三家知名的IMU廠商的主流IMU產(chǎn)品進(jìn)行盤點(diǎn)分析。可以看到,國(guó)外主流的IMU廠商都在精度和低耗上下足了功...
微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)使用半導(dǎo)體制造工藝來生產(chǎn)尺寸范圍從小于一微米到幾毫米的小型化機(jī)械和機(jī)電元件。MEMS設(shè)備可以從沒有運(yùn)動(dòng)元件的相對(duì)簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)到具...
ADI公司推出新型 ADXL35x MEMS加速度計(jì)系列
傳感器正成為工業(yè)基礎(chǔ)設(shè)施應(yīng)用的核心,應(yīng)用依賴MEMS進(jìn)行狀態(tài)監(jiān)控和結(jié)構(gòu)健康監(jiān)測(cè)。
《第31期“見微知著”培訓(xùn)課程:壓電MEMS與傳感器》在無錫市新吳區(qū)圓滿舉辦!
壓電材料特性,簡(jiǎn)單來講是“電能與機(jī)械能的相互轉(zhuǎn)換”。深究起來,其中的學(xué)問非常深?yuàn)W:材料形態(tài)(塊型、薄膜型)、材料種類、摻雜類型、制備工藝、集成方法……從...
中國(guó)MEMS傳感器市場(chǎng)規(guī)模
在MEMS市場(chǎng)產(chǎn)品結(jié)構(gòu)中,壓力傳感器在移動(dòng)互聯(lián)網(wǎng)、汽車電子和醫(yī)療電子產(chǎn)量繼續(xù)領(lǐng)跑,細(xì)分產(chǎn)品市場(chǎng)份額居前列。2019年,射頻MEMS由于在中國(guó)發(fā)展逐漸成熟...
中芯紹興項(xiàng)目計(jì)劃今年1月進(jìn)入量產(chǎn)階段 將打造成為世界一流的特色工藝半導(dǎo)體代工企業(yè)
近日,紹興市領(lǐng)導(dǎo)到中芯紹興MEMS和功率器件芯片制造及封裝測(cè)試項(xiàng)目進(jìn)行了調(diào)研。據(jù)紹興發(fā)布報(bào)道,中芯紹興項(xiàng)目計(jì)劃今年1月進(jìn)入量產(chǎn)階段。
在四軸飛行器的飛控主板上,需要用到的芯片并不多。目前的玩具級(jí)飛行器還只是簡(jiǎn)單地在空中飛行或停留,只要能夠接收到遙控器發(fā)送過來的指令,控制四個(gè)馬達(dá)帶動(dòng)槳翼...
2015-05-13 標(biāo)簽:MEMS無人機(jī)技術(shù)無人機(jī)飛控 6.3k 1
振動(dòng)環(huán)境下MEMS加速度計(jì)的可靠性評(píng)估
本文研究的MEMS加速度計(jì)為壓阻式硅微加速度計(jì),量程為10 gn,其結(jié)構(gòu)如圖1所示。MEMS加速度計(jì)是由懸臂梁和質(zhì)量塊以及布置在梁上的壓阻組成,呈雙端四梁結(jié)構(gòu)。
8英寸MEMS國(guó)際代工線將在2019年下半年投產(chǎn)
耐威科技是長(zhǎng)期從事慣性導(dǎo)航產(chǎn)品、衛(wèi)星導(dǎo)航產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售,耐威科技建設(shè)投產(chǎn)了MEMS代工線項(xiàng)目,一方面與主營(yíng)業(yè)務(wù)協(xié)同性很好,能深化導(dǎo)航產(chǎn)品布局,可...
總結(jié)射頻濾波器所用的壓電材料的技術(shù)現(xiàn)狀
摘要:射頻濾波器是當(dāng)前5G通訊建設(shè)所需的核心器件,而壓電晶體則是制造射頻濾波器的基礎(chǔ)材料。本文就當(dāng)前射頻濾波器所用的壓電材料的技術(shù)現(xiàn)狀進(jìn)行了描述,對(duì)當(dāng)前...
多門類實(shí)用的MEMS演示樣品向早期產(chǎn)品演繹,可批量生產(chǎn)的微加速度計(jì)、力敏傳感器、微陀螺儀、數(shù)字微鏡器件、光開關(guān)等的商品化日趨成熟,初步形成100億美元的...
2011-09-20 標(biāo)簽:MEMS 6.2k 0
ULVAC推出鋯鈦酸鉛壓電薄膜濺射技術(shù),廣泛應(yīng)用于MEMS器件中
PZT壓電薄膜是構(gòu)成MEMS傳感器和執(zhí)行器的關(guān)鍵技術(shù),但其制備工藝在過去很難實(shí)現(xiàn),傳統(tǒng)上主要采用低溫的涂覆方法(溶膠-凝膠法)。然而,在2015年,UL...
耐威科技8英寸MEMS芯片生產(chǎn)線首臺(tái)設(shè)備搬入
據(jù)北京亦莊官方消息,該項(xiàng)目建成后將成為北京首條商業(yè)量產(chǎn)、全球業(yè)界最先進(jìn)的8英寸MEMS芯片生產(chǎn)線,最終達(dá)產(chǎn)后將形成月產(chǎn)3萬(wàn)片的生產(chǎn)能力。
據(jù)麥姆斯咨詢報(bào)道,意法半導(dǎo)體(STMicroelectronics)近期推出了一款具有化學(xué)兼容性、穩(wěn)定性的高精度防水型MEMS壓力傳感器LPS33W,適...
2019-03-16 標(biāo)簽:mems意法半導(dǎo)體 6.1k 0
華為對(duì)外投資案例分析 華為對(duì)外投資的公司增加寧波潤(rùn)華全芯微電子
天眼查APP顯示,11月23日,寧波潤(rùn)華全芯微電子設(shè)備有限公司發(fā)生股東股權(quán)變更,新增華為旗下哈勃科技投資有限公司。 潤(rùn)華全芯微電子官網(wǎng)公開資料顯示,寧波...
發(fā)力5G和毫米波雷達(dá) 英飛凌最新電源管理及射頻技術(shù)揭秘
新技術(shù)驅(qū)動(dòng)新市場(chǎng),從5G、無人機(jī)、充電樁到通信電源,英飛凌都憑借著自身獨(dú)特的電源解決方案、晶圓和毫米波雷達(dá)芯片技術(shù),抓住物聯(lián)網(wǎng)眾多細(xì)分市場(chǎng)的先機(jī)。
First Sensor攜手英飛凌展示MEMS激光雷達(dá)技術(shù)
傳感器專家First Sensor利用英飛凌(Infineon)MEMS微鏡掃描LiDAR演示系統(tǒng)展示其強(qiáng)大的APD系統(tǒng)性能。
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