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微機電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等,是在微電子技術(半導體制造技術)基礎上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術制作的高科技電子機械器件。
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MEMS技術開始興起并且在消費類市場將面臨三大挑戰(zhàn)
當前MEMS傳感器的發(fā)展應用將進入一個新的輪回,市場重心從消費電子重新轉向汽車及工業(yè)領域。對此,博世(Bosch)亞太區(qū)總裁Leopold Beer指出...
華為對外投資案例分析 華為對外投資的公司增加寧波潤華全芯微電子
天眼查APP顯示,11月23日,寧波潤華全芯微電子設備有限公司發(fā)生股東股權變更,新增華為旗下哈勃科技投資有限公司。 潤華全芯微電子官網公開資料顯示,寧波...
ULVAC推出鋯鈦酸鉛壓電薄膜濺射技術,廣泛應用于MEMS器件中
PZT壓電薄膜是構成MEMS傳感器和執(zhí)行器的關鍵技術,但其制備工藝在過去很難實現(xiàn),傳統(tǒng)上主要采用低溫的涂覆方法(溶膠-凝膠法)。然而,在2015年,UL...
傳感器正成為工業(yè)基礎設施應用的核心,應用依賴MEMS進行狀態(tài)監(jiān)控和結構健康監(jiān)測。
日前,東南大學射頻與光電集成電路研究所(射光所)王志功教授團隊的王科平副研究員在集成電路與微機電系統(tǒng)(MEMS)協(xié)同設計方面取得重要進展。 成果以Des...
2018-03-18 標簽:MEMS 5847 0
據(jù)麥姆斯咨詢報道,意法半導體(STMicroelectronics)近期推出了一款具有化學兼容性、穩(wěn)定性的高精度防水型MEMS壓力傳感器LPS33W,適...
傳感器專家First Sensor利用英飛凌(Infineon)MEMS微鏡掃描LiDAR演示系統(tǒng)展示其強大的APD系統(tǒng)性能。
革命性的MEMS芯片及器件可以應用于各行各業(yè),是在物聯(lián)網時代下,解決互聯(lián)網與真實世界鏈接的基礎元件,如探測真實世界的運動、壓力、光、熱、聲、磁等信號,應...
西人馬發(fā)布8款壓阻式壓力芯片及6大系列壓阻式壓力傳感器
西人馬公司一直致力于先進MEMS芯片及傳感器制造,擁有MEMS高端傳感器和芯片制造基地,此次發(fā)布的6款壓阻式壓力芯片由西人馬公司自主研發(fā)生產,采用6寸M...
近期,全球芯片需求端旺盛、國產替代的迫切性將國產芯片產業(yè)推上了時代的舞臺,初創(chuàng)企業(yè)如雨后春筍一般涌現(xiàn)。這片“欣欣向榮”背后所暗藏的危機也逐漸暴露出來,例...
6月10日,賽微電子發(fā)布公告稱,北京賽微電子股份有限公司控股子公司賽萊克斯微系統(tǒng)科技(北京)有限公司(簡稱“北京 FAB3”)代工的首批MEMS麥克風芯...
本文研究的MEMS加速度計為壓阻式硅微加速度計,量程為10 gn,其結構如圖1所示。MEMS加速度計是由懸臂梁和質量塊以及布置在梁上的壓阻組成,呈雙端四梁結構。
Vesper應該繼續(xù)專注于將壓電MEMS麥克風推向市場
如果將薄膜厚度減半,就可以將薄膜面積和芯片尺寸縮小一半。雖然目前我們正在使用物理氣相沉積(physical vapor deposition,PVD)來...
29000字,揭露中國MEMS傳感器危機:落后10年中高端90%靠進口!(附最新優(yōu)秀企業(yè)名單)
在2022世界傳感器大會新聞發(fā)布會上,中國科協(xié)科技創(chuàng)新部副部長林潤華發(fā)言指出:與全世界生產的超過2萬種產品品種相比,中國國內僅能生產其中的約1/3,整體...
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