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微機電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等,是在微電子技術(半導體制造技術)基礎上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術制作的高科技電子機械器件。
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西安自控所智能傳感產(chǎn)業(yè)園封頂,打造航空工業(yè)系統(tǒng)內唯一的MEMS研發(fā)工藝平臺
近日,西咸新區(qū)灃東新城重點建設項目自控所智能傳感產(chǎn)業(yè)園(一期)正式封頂。 項目總建筑面積11.78萬平方米,總投資12.1億元,共建設樓宇7棟,規(guī)劃分兩...
特發(fā)信息:國家重點研發(fā)計劃的傳感器項目獲批立項
近日,國家科技部公布了“十四五”國家重點研發(fā)計劃——《2023年度重點專項》方向的項目評審結果。特發(fā)信息作為牽頭單位申報的“寬溫區(qū)MEMS光纖多物理量敏...
增芯12英寸MEMS量產(chǎn)線首臺設備搬入!來自國產(chǎn)半導體制造設備巨頭!
據(jù)傳感器專家網(wǎng)獲悉,12月28日,位于廣州的增芯科技MEMS量產(chǎn)線項目舉行首臺生產(chǎn)設備搬入儀式, 本次搬入設備是由中微半導體設備(上海)有限公司制造的P...
中微公司Primo D-RIE?作為首臺設備順利搬入客戶生產(chǎn)線
增芯首臺設備搬入儀式在廣州市增城智能傳感器產(chǎn)業(yè)園舉行,增城區(qū)政府領導、增芯領導團隊、中微公司代表及眾多合作伙伴出席儀式。增芯12英寸先進智能傳感器及特色...
MEMS硅麥傳感器領銜電子煙市場,取代傳統(tǒng)ECM咪頭
隨著科學技術的發(fā)展,MEMS技術在微型機械領域正在創(chuàng)造革命性的變革。MEMS硅麥傳感器正在逐步取代傳統(tǒng)駐極體麥克風,帶來更好的防水防油性能和生產(chǎn)效率。對...
安培龍公司進軍汽車產(chǎn)業(yè)鏈,以MEMS傳感器推動行業(yè)創(chuàng)新
近兩年,安培龍公司前瞻性的確認了向汽車產(chǎn)業(yè)鏈方向的戰(zhàn)略轉變。安培龍公司依托其先進的技術實力——如陶瓷電容、微熔技術和 MEMS 技術,已經(jīng)在家電產(chǎn)業(yè)...
MEMS突出的優(yōu)點是利用微電子技術把傳感器、執(zhí)行器和處理電路這三部分集成在一起,組成單片集成傳感器或系統(tǒng),更可以實現(xiàn)傳感器芯片的大規(guī)模批量制造,已廣泛用...
智能傳感器廠商奧松電子MEMS傳感器工業(yè)設計中心獲批省級工業(yè)設計中心
近日,廣東省第六批省級工業(yè)設計中心公示名單正式發(fā)布,奧松電子MEMS傳感器工業(yè)設計中心榜上有名。廣東省省級工業(yè)設計中心是指經(jīng)廣東省工業(yè)和信息化廳認定,工...
2023年接近尾聲,感知芯視界編輯部正在策劃多維度觀察年度產(chǎn)業(yè)發(fā)展專題。本期為大家?guī)?023年傳感大項目全景圖。
據(jù)傳感器專家網(wǎng)獲悉,近日,深迪半導體 (紹興)有限公司發(fā)生工商變更,新增比亞迪股份有限公司、深圳市創(chuàng)啟開盈創(chuàng)業(yè)投資合伙企業(yè)(有限合伙)、紹興市柯橋區(qū)智城...
歷史7年研發(fā),中國最大MEMS代工企業(yè)發(fā)布量產(chǎn)公告,谷歌是幕后客戶?
中國&全球領先的MEMS芯片代工企業(yè)賽微電子12月24日晚公告,全資子公司瑞典Silex獲得客戶光鏈路交換器件(OCS)批量采購訂單,意味著MEMS-O...
賽微電子歷經(jīng)七年技術攻關,正式邁入商業(yè)化量產(chǎn)階段
據(jù)介紹,這項發(fā)明卓越的MEMS-OCS產(chǎn)品,是采用先進的基于8英寸MEMS工藝和新穎的設計技術制成。主架構為一個由指定數(shù)量平面鏡組成的微鏡陣列,能精確控...
傳感器公司排隊IPO,持續(xù)經(jīng)營能力獲證監(jiān)會重點關注
來源 :紅刊財經(jīng)?|?劉杰 今年以來,對于傳感器行業(yè)的IPO企業(yè)來說,可謂是“幾家歡樂幾家愁”,據(jù)不完全統(tǒng)計,年內已有10余家傳感器企業(yè)成功上市,其中包...
MEMS激光雷達初創(chuàng)公司Blickfeld獲750萬歐元新融資
投資者通過增加對MEMS激光雷達初創(chuàng)公司Blickfeld的投資,幫助其提高智能激光雷達產(chǎn)品的市場滲透率,為供應鏈和安全應用提供突破性實時3D信息。
MEMS激光雷達初創(chuàng)公司Blickfeld獲750萬歐元融資,大陸集團跟投!
據(jù)傳感器專家網(wǎng)獲悉,當?shù)貢r間12月18日,德國激光雷達初創(chuàng)企業(yè)Blickfeld宣布,獲得750萬歐元的融資,本輪融資由私募股權公司New Future...
高精度MEMS諧振式壓力傳感器涉及電子、機械、材料、熱學、力學、化學等多學科的復雜交互融合,涵蓋基礎理論、設計、工藝制程、封裝測試、設備裝備等多個產(chǎn)業(yè)鏈環(huán)節(jié)。
2023-12-20 標簽:mems測量系統(tǒng)壓力傳感器 1363 0
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