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微機電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等,是在微電子技術(半導體制造技術)基礎上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術制作的高科技電子機械器件。
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IHS MEMS及傳感器業(yè)務總監(jiān)Jérémie Bouchaud指出,在今后5到10年內(nèi),智能手機以及平板電腦仍然是MEMS主要應用領域。今后MEMS的...
隨著高端汽車與智能汽車的普及,以及無人駕駛技術的推進,超聲波傳感器、圖像傳感器、激光雷達傳感器、微波傳感器、紅外傳感器等也都被采用。汽車傳感器已經(jīng)成為M...
近日,揚州大學機械工程學院副教授梁峰帶領的科研團隊對“MEMS陀螺儀的動力學特性”進行了深入分析,研究發(fā)現(xiàn)采用壓電薄膜,可大大提高陀螺儀的靈敏度。
博世入局碳化硅 博世致力于研發(fā)符合車規(guī)級的碳化硅產(chǎn)品
博世集團是世界先進的技術及服務供應商。從MEMS技術問世開始,博世始終處于MEMS(微機電系統(tǒng))技術的前沿位置。如今,博世已成為全球的MEMS傳感器的頭...
AlN射頻濾波器推進了壓電MEMS產(chǎn)業(yè)的發(fā)展
減少極板之間的距離也會提高性能,但這就產(chǎn)生了另一個一直困擾靜電MEMS問題——靜摩擦。如果極板太近,他們會粘住,可能永遠不會產(chǎn)生分開。靜電能量轉換的物理...
為了提高汽車設計的安全性,村田(Murata)近期發(fā)布了其最新6軸一體封裝、3D MEMS慣性力傳感器“SCHA600系列”,慣性傳感器將其數(shù)據(jù)與GNS...
MEMS傳感器 應用于無創(chuàng)胎心檢測,檢測胎兒心率是一項技術性很強的工作,由于胎兒心率很快,在每分鐘l20~160次之間,用傳統(tǒng)的聽診器甚至只有放大作用的...
生態(tài)農(nóng)業(yè)是知識密集和技術密集的領域。目前作為“電子感官”的傳感技術在農(nóng)業(yè)生產(chǎn)、生物學研究、農(nóng)藥殘留量檢測等方面得到了廣泛的應用。
隨著時間的推移,壓力傳感器系統(tǒng)的電子器件,被集成至含有處理器的 IC 中,成本和尺寸都獲得縮減。汽車公司現(xiàn)在可以提供一個連接到安全氣囊裝置的完整系統(tǒng)。雖...
Unispectral可調(diào)諧MEMS濾光器實現(xiàn)低成本紅外相機的單光譜成像
該產(chǎn)品主要由組裝在攝像機模塊上的可調(diào)諧MEMS濾光器和控制板組成。RaspberryPi用于捕獲參數(shù),并通過USB和/或WiFi連接到顯示器、PC或移動...
本文研究的MEMS加速度計為壓阻式硅微加速度計,量程為10 gn,其結構如圖1所示。MEMS加速度計是由懸臂梁和質量塊以及布置在梁上的壓阻組成,呈雙端四梁結構。
這家高新區(qū)打造中國最大MEMS產(chǎn)業(yè)高地
市場廣闊。MEMS是繼微電子之后又一個顛覆性技術,也是被發(fā)達國家封鎖和壟斷的高新技術。MEMS技術屬于多學科交叉的前沿科技領域,具有功耗低、集成度高、耐...
據(jù)越牛新聞報道,改項目投產(chǎn)后將有力引領和帶動柯橋芯片產(chǎn)業(yè)的培育發(fā)展,助力紹興打造1000億級集成電路產(chǎn)業(yè)集群。
MEMS慣性器件在典型應用環(huán)境下的主要失效模式和失效機理進行分析和總結
Yang Chunhua和Liu Qin等人通過對MEMS加速度計的沖擊試驗,發(fā)現(xiàn)懸臂梁、梳齒的受力集中點均在根部,即連接點處。當沖擊應力引起的懸臂梁變...
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