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微機電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術(shù)制作的高科技電子機械器件。
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近年來,微電子機械系統(tǒng)(MEMS)的應(yīng)用越來越普遍與電解質(zhì)型傾角傳感器相比,MEMS型產(chǎn)品通常尺寸更小,成本更低,因而成為生產(chǎn)制造中廣受歡迎的元件。既然...
通過將MEMS IMU嵌入到農(nóng)用車,檢測其實時運動,精度可以達到厘米級。這樣避免了部分土地未收割或者未播種的情況,實現(xiàn)增產(chǎn)增收。
MEMS光學(xué)器件— MEMS OXC(光交叉互連開關(guān))
OXC的應(yīng)用領(lǐng)域 光交叉互連開關(guān)(OXC)是一種NN端口的矩陣光開關(guān),可用于構(gòu)建CDC ROADM(無色、無方向性、無競爭的可重構(gòu)光上/下路復(fù)用器),如...
MEMS噴墨器件需要最小的封裝,根據(jù)Gilleo介紹,該器件只需電學(xué)連接而不用芯片保護。在這20年里,表現(xiàn)優(yōu)異的最常見的客戶定制載式自動焊(TAB)技術(shù)...
2020-05-07 標(biāo)簽:mems加速度計機電系統(tǒng) 665 0
DragonFly LDM系統(tǒng)和材料已為MEMS開發(fā)出帶電子焊盤的3D打印密封封裝
“Nano Dimension的AME技術(shù)幫助我們實現(xiàn)了最初的產(chǎn)品原型,該原型沒有引線和連接器,從而使封裝尺寸最小化以獲得最佳的用戶體驗。與傳統(tǒng)的制造方...
Audio Pixels目前已完成首批音頻晶圓測試,股價大漲
其專利技術(shù)(在13個國家/地區(qū)擁有專利),采用全新技術(shù)并利用低成本的微機電結(jié)構(gòu)產(chǎn)生聲波。這項創(chuàng)新技術(shù)使其揚聲器能夠提供比傳統(tǒng)揚聲器技術(shù)高出幾個數(shù)量級的性...
作為MEMS傳感器領(lǐng)域的“尖子生”,TDK InvenSense是真有料!
TDK InvenSense旨在成為MEMS傳感器和傳感器解決方案的一站式服務(wù)商。
新技術(shù)可讓“物體(設(shè)備)”具備人類的感官功能
長久以來,人們一直認(rèn)為未來的景象已經(jīng)成為現(xiàn)實——設(shè)備可以像人類的感覺一樣探測周圍的環(huán)境,并與之互動。
三級鐘MEMS振蕩器的問世,讓MEMS技術(shù)順利切入高端精密頻率組件市場,對石英振蕩器帶來全面性的威脅,原本石英晶體精準(zhǔn)、穩(wěn)定度高等特性固守高端頻率組件領(lǐng)...
自從蘋果手機使用了MEMS器件以來,市場上掀起了一股MEMS熱,同時也激活了我們的全硅設(shè)計的MEMS振蕩器。MEMS振蕩器因其可以實現(xiàn)更小的體積,和較低...
貿(mào)澤電子開售Analog Devices ADIS16507精密MEMS慣性測量單元
貿(mào)澤電子分銷的Analog Devices ADIS16507 IMU采用基于MEMS的三軸陀螺儀和三軸加速度計,擁有六自由度 (DoF) 傳感功能,能...
2020-04-20 標(biāo)簽:mems虛擬現(xiàn)實慣性測量單元 1347 0
傳感器:MEMS傳感器是目前應(yīng)用較為成熟的MEMS 器件,包括壓力傳感器(還可以通過壓力傳感器測量氣壓、高度)、慣性傳感器(加速計、陀螺儀、地磁傳感器,...
如果觀看過索契冬奧會的戶外賽事轉(zhuǎn)播,您可能注意到,滑雪板和滑雪賽場上空盤旋著小巧如蜘蛛般的攝像飛行器。這些無人飛行器用于進行航拍,操控性能極其卓越。它們...
MEMS加速度計中的核心簡介 隨著硅微機械加工技術(shù)(MEMS)的迅猛發(fā)展,各種基于MEMS技術(shù)的器件也應(yīng)運而生,目前已經(jīng)得到廣泛應(yīng)用的就有壓力傳感器、加...
MEMS加速度計中的核心簡介 隨著硅微機械加工技術(shù)(MEMS)的迅猛發(fā)展,各種基于MEMS技術(shù)的器件也應(yīng)運而生,目前已經(jīng)得到廣泛應(yīng)用的就有壓力傳感器、加...
碳納米管由于其良好的電學(xué)性能、優(yōu)異的力學(xué)性能,近年來被廣泛應(yīng)用于納米機電系統(tǒng)(NEMS)的相關(guān)研究,在質(zhì)量、微力、氣體、位移等物理量的測量方面也具有廣闊...
2020-04-16 標(biāo)簽:mems諧振器機電系統(tǒng) 2460 0
從中國科技大學(xué)獲悉,中科院量子信息重點實驗室在基于碳納米管的納米機電系統(tǒng)(NEMS)方面取得系列重要進展。該實驗室固態(tài)量子芯片組與清華大學(xué)研究組等合作并...
MEMS是指可批量制作的,將微型機構(gòu)、微型傳感器、微型執(zhí)行器以及信號處理和控制電路、直至接口、通信和電源等集成于一塊或多塊芯片上的微型器件或系統(tǒng)。 用M...
二十年前,MEMS在整個IC市場上可能被視為一種另類的利基應(yīng)用?,F(xiàn)在則已大相徑庭。2017年,MEMS、傳感器和致動器(actuator)占全球芯片銷售...
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