MEMS加速度計(jì)中的核心簡(jiǎn)介

隨著硅微機(jī)械加工技術(shù)(MEMS)的迅猛發(fā)展,各種基于MEMS技術(shù)的器件也應(yīng)運(yùn)而生,目前已經(jīng)得到廣泛應(yīng)用的就有壓力傳感器、加速度傳感器、光開(kāi)關(guān)等等,它們有著體積小、質(zhì)量輕、成本低、功耗低、可靠性高等特點(diǎn)，而且因?yàn)槠浼庸すに囈欢ǔ潭壬吓c傳統(tǒng)的集成電路工藝兼容，易于實(shí)現(xiàn)數(shù)字化、智能化以及批量生產(chǎn)，因而從問(wèn)世起就引起了廣泛關(guān)注,并且在汽車(chē)、醫(yī)藥、導(dǎo)航和控制、生化分析、工業(yè)檢測(cè)等方面得到了較為迅速的應(yīng)用。其中加速度傳感器就是廣泛應(yīng)用的例子之一。

加速度傳感器的原理隨其應(yīng)用而不同，有壓阻式，電容式，壓電式，諧振式等。

不管怎么樣加速度傳感器就是需要在線(xiàn)性運(yùn)動(dòng)情況下得到的加速度力并通過(guò)內(nèi)部的核心的原理來(lái)得出不同的數(shù)值在通過(guò)解算得出想要的數(shù)據(jù)。

一般的加速度計(jì)是一個(gè)方向運(yùn)動(dòng)得出的單軸加速度計(jì)數(shù)據(jù)并通過(guò)電容式工作原理得出的差壓值換算得出相對(duì)應(yīng)的加速度數(shù)據(jù)，雙軸、三軸、同樣如此（XY）三個(gè)立體坐標(biāo)方向根據(jù)載體不同方向的運(yùn)動(dòng) 得出X Y Z三個(gè)不同坐標(biāo)系加速度值。并通過(guò)微電路解算出應(yīng)得的數(shù)據(jù)信息得出結(jié)果。

所以mems加速度計(jì)的核心就是 微機(jī)械工藝和不通過(guò)結(jié)構(gòu)模式的出的數(shù)值來(lái)確定是否在精度和穩(wěn)定性符合客戶(hù)所要的指標(biāo)。lw