半導(dǎo)體行業(yè)觀察：極紫外（EUV）光刻技術(shù)正蓄勢待發(fā)，但為了將這項(xiàng)人們期待已久的技術(shù)用于大規(guī)模生產(chǎn)，還仍然有一些難題有待解決。

EUV 光刻是在芯片上圖案化微小特征的下一代技術(shù)，原本預(yù)期在 2012 年左右投入生產(chǎn)。但這么多年過去了，EUV 不斷延后，從一個(gè)節(jié)點(diǎn)拖到了下一個(gè)節(jié)點(diǎn)。

如今，GlobalFoundries、英特爾、三星和臺(tái)積電都在競相要在 7nm 和/或 5nm 節(jié)點(diǎn)時(shí)將 EUV 光刻用于大規(guī)模制造（HVM）；根據(jù)供應(yīng)商的不同，時(shí)間規(guī)劃在 2018 年到 2020 年之間。此外，美光、三星和 SK 海力士還希望將 EUV 用于生產(chǎn)十幾納米的 DRAM。

但和之前的技術(shù)一樣，要將 EUV 投入大規(guī)模制造，有一些問題還要解決。芯片制造商還必須權(quán)衡各種復(fù)雜的利弊關(guān)系。

基于行業(yè)最新的數(shù)據(jù)，這里簡單給出了當(dāng)今 EUV 所處的狀態(tài)以及其中的一些權(quán)衡：

ASML 正在裝配其第一款具有生產(chǎn)價(jià)值的 EUV 掃描儀，其中使用了人們等待已久的 250W 光源，計(jì)劃將在今年年底前完成。但是，EUV 真正投入大規(guī)模應(yīng)用的時(shí)間還不能確定。

抗蝕劑是指暴露在光中時(shí)可在表面形成圖案的材料。目前抗蝕劑還不能達(dá)到 EUV 的目標(biāo)規(guī)格。雖然這個(gè)規(guī)格可以降低，但吞吐量會(huì)受到打擊。而且有時(shí)候與抗蝕劑的相互作用會(huì)導(dǎo)致工藝發(fā)生變化甚至圖案化失敗。

EUV 防護(hù)膜（pellicle）是掩?；A(chǔ)設(shè)施的一個(gè)關(guān)鍵部分，目前還沒有為大規(guī)模制造做好準(zhǔn)備。防護(hù)膜是指防止顆粒落在掩模上的薄膜。所以芯片制造商可能要么需要等待 EUV 防護(hù)膜，要么就得不使用防護(hù)膜就投入生產(chǎn)——至少在初期可以這么做。

盡管如此，即使這些問題沒有解決，芯片制造商也還是可以在 7nm 節(jié)點(diǎn)時(shí)應(yīng)用 EUV 光刻。非要使用的話，EUV 也可以用在一兩層上的制造上。但在 5nm 及以后節(jié)點(diǎn)，EUV 還不滿足這些節(jié)點(diǎn)的更嚴(yán)格的規(guī)格，也就是說半導(dǎo)體行業(yè)還是必須要投入更多時(shí)間和金錢來解決這些問題。

“我們離在大規(guī)模制造中實(shí)現(xiàn) EUV 的目標(biāo)越來越近，”Stifel Nicolaus 的分析師Patrick Ho 說，“還有一些事情需要解決，而且客戶使用 EUV 處理的層的數(shù)量也各不相同。英特爾更保守。三星則更大膽，因?yàn)樗麄円蚕雽⑵溆糜?DRAM 和代工/邏輯業(yè)務(wù)。我相信臺(tái)積電的 5nm 節(jié)點(diǎn)將實(shí)現(xiàn)完全的大規(guī)模制造，時(shí)間上可能是在 2020-2021 年。”

很顯然，代工客戶需要在 EUV 發(fā)展曲線上保持領(lǐng)先。為了幫助半導(dǎo)體行業(yè)了解情況，Semiconductor Engineering 在本文中對這項(xiàng)技術(shù)進(jìn)行了解讀，并分析了EUV 的三大主要部件上的利弊權(quán)衡——掃描儀/源、抗蝕劑和掩模基礎(chǔ)設(shè)施。

為什么要用 EUV？

目前，芯片制造商使用 193nm 波長的光刻技術(shù)在晶圓上描繪精細(xì)的圖案。但實(shí)際上，193nm 浸沒式光刻在 80nm 間距（40nm 半間距）達(dá)到了極限。

因此，從 22nm/20nm 開始，芯片制造商開始在使用 193nm 浸沒式光刻的同時(shí)配合使用各種多重圖案化（multiple patterning）技術(shù)。多重圖案化是一種在晶圓廠中使用多個(gè)光刻、蝕刻和沉積步驟的工藝，其目標(biāo)是為了將間距減小到 40nm 以下。

圖 1：自對準(zhǔn)襯墊料可以避免掩模不對準(zhǔn)的問題，來自 Lam Research

圖 2：雙重圖案化可以增加密度，來自Lam Research

多重圖案化是有效的，但步驟更多，因此會(huì)增加流程的成本和周期時(shí)間（cycle time）。周期時(shí)間是指晶圓廠加工一塊晶圓從開始到結(jié)束的總時(shí)間。

為了解決這些問題，芯片制造商需要 EUV。但因?yàn)?EUV 在 7nm 節(jié)點(diǎn)時(shí)還無法進(jìn)入初始應(yīng)用階段，所以芯片制造商首先將使用浸沒式/多重圖案化。人們希望在 7nm 后期能夠用上 EUV。而 5nm 節(jié)點(diǎn)就必須使用 EUV 了。

“從光學(xué)上看 7nm 節(jié)點(diǎn)就可以實(shí)用了，但可能在成本方面并不理想。”D2S 首席執(zhí)行官Aki Fujimura 說，“行業(yè)希望隨著 7nm 產(chǎn)量的攀升，能夠在同樣的設(shè)計(jì)規(guī)則上使用 EUV。而從實(shí)際的角度來看，如果沒有 EUV，5nm 將無法實(shí)現(xiàn)。”

EUV 最初是針對 7nm 節(jié)點(diǎn)的觸點(diǎn)和通孔設(shè)計(jì)的。據(jù)GlobalFoundries 稱，為了加工觸點(diǎn)/通孔，7nm 節(jié)點(diǎn)的每個(gè)光刻層都需要 2 到 4 個(gè)掩模。

而如果使用 EUV，那么每層就只需要 1 個(gè)掩模來加工觸點(diǎn)/通孔即可，而且 7nm 和 5nm 節(jié)點(diǎn)都是這樣。據(jù) ASML 稱，理論上 EUV 能簡化流程，并且可將晶圓上的周期時(shí)間減少大約 30 天。

GlobalFoundries 首席技術(shù)官 GaryPatton 說：“這是一個(gè)非常好的權(quán)衡，因?yàn)槟惆延|點(diǎn)的四重圖案化或三重圖案化換成了一個(gè)掩模。這也不會(huì)影響到任何設(shè)計(jì)規(guī)則，所以客戶能夠在周期時(shí)間上取得優(yōu)勢，從而得到更好的產(chǎn)量。當(dāng) EUV 技術(shù)成型之后，我們將會(huì)將其過渡到我們做 metal level 和 shrink 的地方。”

所以 EUV 在 7nm 節(jié)點(diǎn)是可行的，有人甚至認(rèn)為使用單重圖案化就可以。但在 5nm 節(jié)點(diǎn)，規(guī)格要求更嚴(yán)格，特征尺寸變得更小。為此芯片制造商需要使用多重圖案化的 EUV，這將是最復(fù)雜最昂貴的工藝。

早期采用 EUV 的公司希望在 2019 年到 2020 年左右將 EUV 用于 7nm 節(jié)點(diǎn)?！斑@差不多就是工作的中心。我們正努力更加進(jìn)取?！盙lobalFoundries 高級(jí)研究員和高級(jí)技術(shù)研究總監(jiān) Harry Levinson 表示，“四大主要芯片公司的 HVM 都規(guī)劃在未來一兩年?，F(xiàn)在真正的問題是誰會(huì)成為第一，誰又將是第二。”

光源問題

但在此之前，芯片制造商必須首先將 EUV 投入大規(guī)模制造（HVM）。事實(shí)已經(jīng)證明，這比之前預(yù)想的還更加困難，因?yàn)?EUV 光刻復(fù)雜得讓人難以置信。

圖 3：EUV 的復(fù)雜性，來自ASML

在 EUV 中，光源會(huì)將等離子體轉(zhuǎn)換成波長 13.5nm 的光。然后，這些光會(huì)在一種包含 10 個(gè)多層鏡面的復(fù)雜配置方案中反射。

然后這些光會(huì)經(jīng)過一個(gè)可編程的illuminator 并抵達(dá)掩模。在這里，光還會(huì)在另外 6 個(gè)多層鏡面上反射并以 6% 的角度抵達(dá)晶圓。

圖 4：準(zhǔn)確反射的光，來自ASML/Carl Zeiss SMT Gmbh

光源是個(gè)大難題。它需要足夠大的功率來生成 EUV 光，從而讓 EUV 掃描儀足夠快地運(yùn)行并在經(jīng)濟(jì)上可行。

要將 EUV 投入大規(guī)模制造，芯片制造商需要能產(chǎn)生 250W 光源功率的 EUV 掃描儀。這能帶來 125 wph（每小時(shí)晶圓數(shù)量）的吞吐量。

實(shí)現(xiàn)這些目標(biāo)所需的時(shí)間超過預(yù)想。不久之前，光源還只有 10W 功率?，F(xiàn)在，ASML 的光源功率已經(jīng)從 80W 提升到了 125 W，讓 EUV 的吞吐量從 60 wph 提升到了 85 wph。

現(xiàn)在 ASML 已經(jīng)準(zhǔn)備開始生產(chǎn)自己的第一款 EUV 掃描儀了，即NXE:3400B。該工具的數(shù)值孔徑為 0.33，分辨率為 13nm。 ASML 高級(jí)產(chǎn)品經(jīng)理 Roderik van Es 說：“看看這個(gè)系統(tǒng)的成像性能，我們已經(jīng)實(shí)現(xiàn)了 13nm LS 和 16nm IS?！保↙S 表示線和空間，IS 表示隔離線。）

該工具一開始時(shí)將裝載一個(gè) 140W 的光源，可實(shí)現(xiàn) 100 wph 的吞吐量。ASML 最近已經(jīng)演示了一款 250W 光源。據(jù) Es 說，這個(gè) 250W 光源的工業(yè)版本將在年底前發(fā)布。

但就算有了 250W 光源，光刻師還是會(huì)擔(dān)憂這個(gè)系統(tǒng)能持續(xù)工作多長時(shí)間。今天的 193nm 掃描儀可以以 250 wph 或更快的速度不停止地運(yùn)行。相比而言，目前預(yù)生產(chǎn)的 EUV 機(jī)器的上線工作時(shí)間只能占到 70% 到 80%。

“可用性，即工具下線維護(hù)前的時(shí)間長度，仍然讓人有些擔(dān)憂，尤其是對英特爾而言。”Stifel Nicolaus 的Ho 說，“像英特爾這樣的公司無法接受 70% 甚至 80% 的可用性，它們需要百分之九十幾的可用性指標(biāo)。”

但是，NXE:3400B 在這一領(lǐng)域的表現(xiàn)如何還有待觀察。如果上線運(yùn)轉(zhuǎn)的時(shí)間仍然還有問題，光刻師可能會(huì)因?yàn)槿哂嗟臅r(shí)間而考慮購買其它工具。

當(dāng)然，這是芯片制造商希望避免的昂貴選擇。分析師表示，每臺(tái) EUV 掃描儀的售價(jià)大約為 1.25 億美元，相比而言，現(xiàn)在的 193nm 浸沒式掃描儀的售價(jià)為每臺(tái) 7000 萬美元。

抗蝕劑問題

多年以來，EUV 的頭號(hào)難題都是光源問題。但現(xiàn)在，頭號(hào)難題的位置正從光源轉(zhuǎn)向涉及抗蝕劑的工藝。

EUV 抗蝕劑分為兩大類：化學(xué)增強(qiáng)型抗蝕劑（CAR）和金屬氧化物抗蝕劑。CAR已經(jīng)在行業(yè)內(nèi)應(yīng)用了很多年，是一種基于擴(kuò)散的工藝。較新的金屬氧化物抗蝕劑則基于氧化錫化合物。

抗蝕劑的選擇涉及到三個(gè)指標(biāo)的權(quán)衡，這被稱為 RLS 三角——分辨率（R）、線邊緣粗糙度（LER）和靈敏度（S）。

為了達(dá)到所需的分辨率，芯片制造商需要靈敏度或劑量為20mJ/cm2的 EUV 抗蝕劑。這些抗蝕劑已經(jīng)有了，但是要將其投入大規(guī)模制造，難度卻比之前預(yù)想的更大。

GlobalFoundries 的 Levinson 說：“在 32nm 及以下節(jié)點(diǎn)，什么都沒用——不管是 CAR 還是金屬氧化物，不管劑量如何，至少在合理范圍（<100mJ/cm2）內(nèi)是這樣。”

但業(yè)界已經(jīng)開發(fā)出了30mJ/cm2和 40mJ/cm2的 EUV 抗蝕劑?；?RLS 三角原則，抗蝕劑劑量越高，分辨率就越高。但它們的速度更慢，會(huì)影響 EUV 的吞吐量。

據(jù) ASML 的數(shù)據(jù)，在不使用防護(hù)膜，使用30mJ/cm2劑量時(shí)，帶有 250W 光源的 EUV 掃描儀的吞吐量大約為104-105 wph，低于 125 wph 的目標(biāo)。

“已有的 EUV 抗蝕劑可以支持 7nm HVM，但特征尺寸更小時(shí)就難以為繼了。”Levinson 說，“因?yàn)樵谘邪l(fā)低劑量抗蝕劑上耗費(fèi)了太多時(shí)間，下一個(gè)節(jié)點(diǎn)可能存在風(fēng)險(xiǎn)?！?/p>

這是根據(jù)花在開發(fā)20mJ/cm2抗蝕劑上的時(shí)間和資本而得到的結(jié)論。半導(dǎo)體行業(yè)正在開發(fā)這種抗蝕劑，目標(biāo)是用于 5nm 節(jié)點(diǎn)。

抗蝕劑難題道阻且長。Lam Research 技術(shù)總監(jiān) Richard Wise 在最近一場活動(dòng)中說：“劑量不一定需要達(dá)到我們想要的目標(biāo)。由于 EUV 的隨機(jī)性效應(yīng)，在降低劑量上還面臨著很多基礎(chǔ)的物理難題?！?/p>

隨機(jī)性就是指隨機(jī)的變化?！肮馐怯晒庾訕?gòu)成的。曝光少量抗蝕劑的光子的數(shù)量的平均值對應(yīng)于所需的曝光劑量?！盕ractilia 首席技術(shù)官 Chris Mack 解釋說，“但這個(gè)平均值會(huì)隨機(jī)改變。如果曝光一定量抗蝕劑的光子數(shù)量過高，那么相對的隨機(jī)變化就會(huì)很小。但當(dāng)曝光少量抗蝕劑的光子數(shù)量變小時(shí)，相對的隨機(jī)變化就會(huì)變大。”

這個(gè)效應(yīng)被稱為光子散粒噪聲。散粒噪聲是指在光刻工藝中光子數(shù)量的變化。

所有類型的光刻技術(shù)都有隨機(jī)性之苦，EUV 尤甚。Mack 說：“首先，EUV 光子攜帶的能量比 193nm 光子多 14 倍。所以對于同樣的曝光劑量，光子數(shù)少 14 倍。其次，我們正在努力通過使用低曝光劑量讓我們的 EUV 掃描儀的吞吐量更高。這也意味著光子更少。光子越少，光子的隨機(jī)不確定性即散粒噪聲就越大?！?/p>

光子數(shù)量的變化會(huì)帶來問題。TEL 資深技術(shù)員Ben Rathsack 說：“我們有更高能量的光子，但數(shù)量不夠。所以我們在圖案中有線寬粗糙度和線邊緣粗糙度?！保↙ER 的定義是特征邊緣與理想形狀的偏差。）

如果光子數(shù)量不夠，變化還可能導(dǎo)致其它問題。Imec 先進(jìn)圖案化部門主管Gregory McIntyre 說：“在成像方面，我們所說的第一難題是納米橋接、線斷開和融合或缺失孔等地方的極端粗糙度事件或隨機(jī)故障。”

所以在 EUV 曝光工藝中，掃描儀可能有時(shí)候無法處理某個(gè)線、空或觸點(diǎn)?；蛘咴撨^程可能會(huì)導(dǎo)致線斷開或觸點(diǎn)融合。

防護(hù)膜問題

除了抗蝕劑之外還有其它問題，即所謂的 EUV 光掩?；A(chǔ)設(shè)施。光掩模是給定 IC 設(shè)計(jì)的主模板。在開發(fā)出一個(gè)掩模之后，就要將其送到晶圓廠。該掩模會(huì)被放置在光刻工具中。這個(gè)工具讓光穿過這個(gè)掩模，從而在晶圓上投射出圖案。

半導(dǎo)體行業(yè)多年來一直都在制造 EUV 掩模，但這項(xiàng)工藝仍然很有難度。KLA-Tencor 標(biāo)線板產(chǎn)品部總經(jīng)理 Weston Sousa 說：“掩模行業(yè)正在加大力度開發(fā) EUV 標(biāo)線板。在圖案缺陷和修復(fù)上難題還有很多，從坯料質(zhì)量到特征尺寸均勻性?！?/p>

成本和產(chǎn)量也存在問題。GlobalFoundries 的 Patton 說：“我擔(dān)心的是掩模。掩模本身有缺陷，在生產(chǎn)制造時(shí)也會(huì)給掩模帶來缺陷?！?/p>

eBeam Initiative 最近一項(xiàng)調(diào)查的數(shù)據(jù)表明掩模的整體產(chǎn)率處在健康的 94.8%，但 EUV 掩模產(chǎn)率僅有 64.3% 左右。

隨著節(jié)點(diǎn)的演進(jìn)，掩模缺陷也越來越小，更難以找到。英特爾的專供光掩模部門Intel Mask Operation 的掩模技術(shù)總監(jiān) JeffFarnsworth 說：“在周期早期，缺陷標(biāo)準(zhǔn)更加寬松。隨著向 HVM 層面推進(jìn)，標(biāo)準(zhǔn)會(huì)越來越嚴(yán)格。HVM 層面的標(biāo)準(zhǔn)肯定不寬松。”

此外，據(jù)三星一位研究者 Heebom Kim 稱，EUV 掩模比復(fù)雜光學(xué)掩模還貴八倍之多。但據(jù)ASML 稱，隨著 EUV 投入大規(guī)模制造，EUV 掩模的成本可能會(huì)下降至比光學(xué)掩模貴不足三倍的水平。

光學(xué)掩模和 EUV 掩模是不同的。在光學(xué)掩模中，掩模坯料由玻璃基板上的不透明鉻層組成。

相比而言，EUV 掩模坯料則由基板上 40 到 50 層交替的硅和鉬層組成。在光學(xué)掩模和 EUV 掩模中，掩模坯料都會(huì)進(jìn)行圖案化，從而形成光掩模?！?/p>

掩模生產(chǎn)商希望實(shí)現(xiàn)兩個(gè)目標(biāo)。一是生產(chǎn)無缺陷的 EUV 掩模，二是防止缺陷出現(xiàn)在掩模上。因?yàn)閬碜話呙鑳x或其它工藝的顆粒物可能會(huì)無意中落在掩模上。

如果 EUV 掃描儀在曝光階段給掩模引入了缺陷，那么它們可能就會(huì)出現(xiàn)在晶圓上，進(jìn)而影響芯片產(chǎn)量。

總體而言，掩模生產(chǎn)商正在生產(chǎn)無缺陷掩模上大步邁進(jìn)。而防止顆粒物落在掩模上是一個(gè)不同的問題，這涉及到掩模基礎(chǔ)設(shè)施中的一個(gè)關(guān)鍵部件：防護(hù)膜（pellicle）。防護(hù)膜可用作掩模的防塵罩。

圖 5：開發(fā)出的原型防護(hù)膜，來自ASML

不久之前，半導(dǎo)體行業(yè)還堅(jiān)持認(rèn)為 EUV 掃描儀可以不使用防護(hù)膜，只需要在潔凈的環(huán)境中就可以加工晶圓。之后芯片制造商改變了自己的看法，表示無法保證 EUV 掃描儀或其它工具能在流程中保持百分之分的潔凈。芯片制造商說如果沒有防護(hù)膜，EUV 就很容易受到顆粒物污染，進(jìn)而產(chǎn)生缺陷。

所以業(yè)界開始開發(fā) EUV 防護(hù)膜。光學(xué)掩模的防護(hù)膜基于薄聚合物材料。而 EUV 防護(hù)膜的唯一供應(yīng)商 ASML 則開發(fā)了一種基于多晶硅的 EUV 防護(hù)膜，其厚度僅有 50nm。

在實(shí)際工作過程中，當(dāng) EUV 光擊中防護(hù)膜時(shí)，膜的溫度會(huì)上升到 600 到 1000 攝氏度之間。

問題是這種防護(hù)膜很脆。在這樣的溫度下，有人擔(dān)心這種 EUV 防護(hù)膜會(huì)在加工過程中退化，導(dǎo)致 EUV 掩模和掃描儀損壞。

到目前為止，ASML 的 EUV 防護(hù)膜已經(jīng)過了 140W EUV 光源測試。但這種防護(hù)膜在 250W 功率下的反應(yīng)還未可知。

“從機(jī)械強(qiáng)度和應(yīng)用性上看，EUV 防護(hù)膜還面臨著一些挑戰(zhàn)?！盇pplied Materials 掩模和 TSV 蝕刻部門首席技術(shù)員兼 CTO Banqiu Wu 說，“防護(hù)膜會(huì)吸收一些 EUV 能量。這些能量將會(huì)導(dǎo)致防護(hù)膜溫度升高。防護(hù)膜也處在真空環(huán)境中，這意味著自然對流冷卻速度非常低。又因?yàn)榉雷o(hù)膜很薄，天然的熱轉(zhuǎn)移也非常困難?！?/p>

總而言之，在 HVM 中使用基于多晶硅的防護(hù)膜還存在一些不確定性，甚至有人對此仍有懷疑。所以目前半導(dǎo)體行業(yè)正在進(jìn)行調(diào)整并在考慮兩個(gè)選擇：等待一種支持 HVM 的防護(hù)膜或不使用防護(hù)膜就開始生產(chǎn)。

比如英特爾就已經(jīng)聲明不會(huì)在沒有防護(hù)膜時(shí)投入 EUV 生產(chǎn)。英特爾的 Farnsworth 說：“我們正在積極進(jìn)取。”

但是也有公司押注其它選擇。很多公司正在考慮在沒有防護(hù)膜時(shí)就開始 EUV 生產(chǎn)，至少可以在初期這么做。

理論上，使用 EUV 的芯片制造商可以在沒有防護(hù)膜時(shí)加工觸點(diǎn)和通孔。GlobalFoundries 的 Patton 說：“這些事情不需要防護(hù)膜，因?yàn)殛P(guān)鍵區(qū)域更小了，所以顆粒物帶來問題的風(fēng)險(xiǎn)也更少了?！?/p>

但是，這也可能會(huì)產(chǎn)生一些不好的后果。即使 EUV 掃描儀是潔凈的，我們不想要的顆粒物也會(huì)落在掩模上。

所以如果芯片制造商在沒有防護(hù)膜時(shí)就投入生產(chǎn)，它們就必須在流程中實(shí)施更多掩模檢查和清潔步驟。GlobalFoundries 的Levinson 說：“我們將不得不做一些關(guān)于晶圓印制和晶圓檢查的事。但這些事很讓人痛苦，所以我們需要一種優(yōu)良的防護(hù)膜方案?！?/p>

在研發(fā)方面，半導(dǎo)體行業(yè)正在研發(fā)下一代防護(hù)膜和掩模基礎(chǔ)設(shè)施的其它部分?？梢钥隙ǖ氖牵珽UV 抗蝕劑的開發(fā)方面也有緊迫感。當(dāng)然，光源方面也是如此。

這些問題會(huì)一同得到解決嗎？在 EUV 光刻正在進(jìn)行的這個(gè)傳奇故事里，時(shí)間會(huì)告訴我們答案。