SGT MOSFE是一種新型的功率半導(dǎo)體器件,具有傳統(tǒng)深溝槽MOSFE的低導(dǎo)通損耗的優(yōu)點,同時具有更加低的開關(guān)損耗。SGT MOSFE作為開關(guān)器件應(yīng)用于新能源電動車、新型光伏發(fā)電、節(jié)能家電等領(lǐng)域的電機驅(qū)動系統(tǒng)、逆變器系統(tǒng)及電源管理系統(tǒng),是核心功率控制部件。
SGT(Shield Gate Trench MOSFET) MOSFET結(jié)構(gòu)及工藝制造方法,因其不需要在溝槽內(nèi)生長厚的屏蔽電極介質(zhì)層,同時Bsg具有良好的高溫回流特性,具備良好的溝槽填充能力,可以將溝槽CD極大程度縮小,因而可以縮小單位元胞尺寸(Pitch Size),采用更高摻雜濃度的外延片實現(xiàn)同樣的擊穿電壓,降低器件Rsp,增強市場競爭力。
圖1 Trench MOSFET Structure
圖2SGT MOSFET Structure
SGT技術(shù)優(yōu)勢,具體體現(xiàn):
1)米勒電容SGT 工藝明顯比溝槽工藝低很多, 所以開關(guān)損耗低。
2)SGT 比溝槽工藝挖槽深度3-5倍, SGT可以橫向使用更多的硅外延體積來阻止電壓,使得SGT的內(nèi)阻比普通MOSFET低2倍左右。
3)由于SGT MOSFET具有更深的溝槽深度,因此可以使用更多硅體積來吸收EAS能量。所以SGT可以在雪崩中做同樣或更好。
4)同等規(guī)格下,芯片面積可以做到更小,性價比更高。 尚陽通采用SGT最新一代工藝,基于多項專利技術(shù)推出中低壓MOSFET系列產(chǎn)品。舉例介紹尚陽通最新推出150V SGT MOSFET。 結(jié)合150V產(chǎn)品應(yīng)用領(lǐng)域的不同,尚陽通同時推出兩款Rdson接近的產(chǎn)品: SRT15N050H、SRT15N059H封裝形式有TO-22OC、TO-263。
SRT15N050H、SRT15N059H主要參數(shù)比較
SRT15N050H、SRT15N059H器件開關(guān)特性對比測試條件:Vdc=75V;Rg=20Ω;Vgs=12V;Id=26A
SRT15N050H適合需要低內(nèi)阻,開關(guān)速度要求不高的系統(tǒng),類似BMS領(lǐng)域應(yīng)用; SRT15N059H適合要求開關(guān)損耗小,開關(guān)速度快的系統(tǒng),類似高頻同步整流(SR)應(yīng)用。
圖3SR Application
圖4BMS Application 尚陽通中低壓SGT系列產(chǎn)品,在電機驅(qū)動、電動工具、PD適配器、大功率電源等各個領(lǐng)域已大批量供貨,為國產(chǎn)半導(dǎo)體器件的發(fā)展助力。附:尚陽通部分SGT MOSFET產(chǎn)品選型表
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