三星砸430億韓元研發(fā)EUV光罩保護(hù)膜
三星一方面在積極向唯一的EUV光刻機(jī)廠商ASML爭(zhēng)取訂單，另外一方面也在增資為EUV產(chǎn)業(yè)鏈輸血。
據(jù)報(bào)道，三星電子周二斥資430億韓元（約合2.5億）買入152萬(wàn)股韓國(guó)FST公司的股票，成為其第三大股東，持股占比6.9%。
FST是一家生產(chǎn)掩模/光罩保護(hù)膜和冷卻器的廠商，保護(hù)膜簡(jiǎn)單來(lái)說(shuō)就是保障光罩不受灰塵影響，冷卻器則是控制半導(dǎo)體制造過(guò)程中的溫度。
FST正在研制EUV光罩保護(hù)膜，設(shè)計(jì)目標(biāo)是全尺寸，碳化硅基質(zhì)，30nm尺度，透光率90%。
目前，尚未有一家公司大規(guī)模量產(chǎn)EUV光罩保護(hù)膜FST成功后，將對(duì)產(chǎn)業(yè)以及自身收入有著積極影響。
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