做為國(guó)內(nèi)最大也是最先進(jìn)的半導(dǎo)體制造公司,中芯國(guó)際在先進(jìn)工藝上的進(jìn)展引人關(guān)注,其中7nm及以下節(jié)點(diǎn)非常重要,這還牽涉到EUV光刻機(jī)。
日前有股民在互動(dòng)平臺(tái)上詢問,稱有報(bào)道指出中芯國(guó)際不用EUV光刻就攻克了類7nm工藝,要求中芯國(guó)際澄清。
對(duì)此,中芯國(guó)際表示,公司不針對(duì)傳言進(jìn)行評(píng)論。
從中芯國(guó)際官網(wǎng)的介紹來看,該公司提到的最先進(jìn)工藝還是14nm,接下來的是N+1、N+2工藝,但沒有指明具體的工藝節(jié)點(diǎn)。
中芯國(guó)際聯(lián)合CEO趙海軍曾表示,經(jīng)過三年的積累,F(xiàn)inFET工藝已經(jīng)取得了不錯(cuò)的成績(jī),N+1已經(jīng)進(jìn)入了風(fēng)險(xiǎn)量產(chǎn),但是在外部因素的影響下,去年四季度起FinFET的產(chǎn)能利用率不足,爬坡需要時(shí)間,營(yíng)收奉獻(xiàn)尚未達(dá)到預(yù)期水準(zhǔn),折舊又對(duì)公司整體的盈利造成了負(fù)擔(dān)。
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原文標(biāo)題:不用EUV光刻機(jī)就搞定類7nm工藝?中芯國(guó)際回應(yīng)
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光刻工藝的基本知識(shí)

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