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可潤濕表面圖案化的簡便無掩模限制蝕刻策略

微流控 ? 來源:微流控 ? 作者:微流控 ? 2022-07-11 15:09 ? 次閱讀
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自然圖案總是具有吸引人類眼球和心靈的力量。受奇妙自然現(xiàn)象的啟發(fā),研究人員已制造出具有各向異性潤濕性的人造圖案,以實現(xiàn)定向粘附和液體操縱。表面化學成分和物理形態(tài)是決定表面潤濕性的兩個關鍵因素。一般來說,單一各向異性物理形態(tài)的構建只能實現(xiàn)軸向各向異性潤濕。相比之下,各向異性化學成分或混合化學/物理各向異性使圖案和背面區(qū)域之間具有明顯的疏水/親水邊界,并在細胞陣列、生物傳感器和打印技術等領域顯示出巨大的應用潛力。迄今為止,研究人員在不對稱可潤濕圖案的微細加工方面已經(jīng)做出了巨大努力,包括光接枝、電化學蝕刻、等離子體處理和光刻。盡管這些方法能夠成功構建精確的圖案,但圖案形成嚴重依賴昂貴的設備(如飛秒激光和光刻機)、復雜的模具/掩模,有時還需要復雜且耗時的多步合成工藝,這已經(jīng)成為限制產(chǎn)業(yè)推廣的主要因素。此外,聚合物的分解行為已在材料科學中得到廣泛研究,但所產(chǎn)生的化學和物理結構變化很少被視為潤濕性控制的機會。

據(jù)麥姆斯咨詢報道,鑒于此,四川大學王玉忠院士和宋飛教授開發(fā)了一種用于本征可潤濕表面圖案化的簡便無掩模限制蝕刻策略。使用常見的印刷技術和隨后的位置限制化學蝕刻,可以制造分辨率為200μm的固有、復雜和精確的圖案(如QR碼)。所創(chuàng)建的各向異性圖案可用于實現(xiàn)水響應信息存儲和加密。此外,這種方法還可用于制備功能材料(如柔性電子產(chǎn)品),所制備的Ag電極具有高電導率(63.9 × 106S/cm)和抗彎曲變形能力。這種圖案化方法具有操作簡單、經(jīng)濟友好的優(yōu)點,為開發(fā)具有多種用途的功能材料帶來了廣闊的前景。相關工作以“A confined-etching strategy for intrinsic anisotropic surface wetting patterning”為題發(fā)表在國際頂級期刊《Nature Communications》上。

研究人員首先探索了各向異性精確圖案的制造策略及刻蝕工藝,所制備的微孔薄膜的典型頂部示意圖如圖1所示。微孔薄膜表面顯示出明顯的3D蜂窩狀(HC)微孔結構,且其頂部單層薄,水接觸角(WCA)為87±3.9°(5μl液滴體積)。將HC薄膜浸入5M NaOH水溶液中3小時后,所得薄膜的透明度明顯增加。從處理過的薄膜的SEM圖像中可以發(fā)現(xiàn),薄膜頂部單層消失,并且在暴露的微孔中出現(xiàn)粗糙結構。同時,WCA顯著降低至22°。如果預先用乙醇預濕HC薄膜,只需30秒的堿處理也可以達到相同的效果(圖2)。而僅在5M NaOH水溶液中處理30秒的非預潤濕HC薄膜顯示出幾乎沒有變化的微觀結構、不透明度和WCA。為了證實乙醇預處理對表面蝕刻的作用,研究人員進一步探索了表面潤濕性以及液體對固體基質的滲透。結果表明,乙醇預處理后NaOH水溶液易于滲透,能夠更快地蝕刻到親水性HC表面。

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圖1 具有各向異性潤濕性的精確圖案的制造策略

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圖2 可調(diào)NaOH蝕刻

為了構建可潤濕圖案,研究人員選取了具備可調(diào)蝕刻和水潤濕性的噴墨打印機(圖3),含有水溶性染料和高沸點醇(異丙醇、甘油等)的商業(yè)墨水。墨水可以很容易地潤濕HC的多孔結構,并且潤濕的位置顯示部分覆蓋的孔隙和改變的元素成分。粗糙的微孔結構可以穩(wěn)定地保持所繪墨水的形狀,這是保證圖案準確性的關鍵。利用噴墨打印技術,可以制造出分辨率為200 μm的精確、復雜和微小的點狀陣列。此外,研究人員在不同時期的蝕刻后記錄了有和沒有HC的結構變化。結果顯示,隨著蝕刻時間的增加,未涂漆的HC保持完整的3D微孔結構,而頂部單層消失。蝕刻5分鐘后,墨水涂漆的HC出現(xiàn)粗糙結構。對于墨繪HC,在0-4分鐘的初始時間,3D微孔保持良好,薄膜在空氣中始終保持不透明,當蝕刻5分鐘時,由于微孔破裂,薄膜變得明顯透明(圖4)。

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圖3 噴墨打印輔助圖案

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圖4 可控制的形態(tài)和潤濕性

最后,研究人員對將該策略用于信息加密及柔性電子器件開發(fā)進行了可行性研究。研究結果發(fā)現(xiàn),當在1M NaOH水溶液中處理油墨圖案的HC 3-4分鐘時,所制備的薄膜是不透明的,并且在干燥狀態(tài)下圖案是不可見的,而在水中只有圖案區(qū)域變得可潤濕和透明,這是一個特殊的時間窗口。研究人員利用這樣的時間窗口,創(chuàng)建了一個帶有“SCU FBR”字符的隱藏模式(圖5)。隱藏的圖案在與水接觸后立即變得可見,顯示出快速的水(或細水霧)響應?;诟邎D案化精度,研究人員還通過噴墨打印和隨后的蝕刻方法成功創(chuàng)建了復雜的QR碼,它在水下快速出現(xiàn)并且可以準確讀取。此外,研究發(fā)現(xiàn),Ag納米粒子可以在光滑的CTA、HC以及蝕刻的HC(EHC)的表面上形成薄膜,且EHC-Ag薄膜的電導率高達63.9 × 106S/cm,制備的圖案化EHC表面可直接用于構建柔性電子器件。從SEM圖像可以清楚地觀察到Ag電極的結合,并且Ag電極具有很高的柔韌性(圖6)。

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圖5 信息存儲和加密

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圖6 柔性電子器件的制造

綜上所述,研究人員開發(fā)了一種通過控制材料表面的受限分解來實現(xiàn)精確表面圖案化的簡便快速的無掩模蝕刻方法。借助印刷技術可以調(diào)節(jié)表面潤濕狀態(tài),從而能夠對設置位置進行化學蝕刻并有效地制造復雜的圖案。特別是建立了刻蝕加工窗口,用于信息存儲和加密,并在外部刺激(例如水/濕氣)下讀取。由于金屬導體以可潤濕圖案的選擇性生長,還可以制造具有所需樣式的柔性電子產(chǎn)品。這種無掩模且簡單的方法在從各種聚合物材料大規(guī)模生產(chǎn)精確功能圖案方面顯示出巨大的潛力。

原文標題:用于可潤濕表面圖案化的無掩模限制蝕刻策略,用于功能材料開發(fā)

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審核編輯:彭靜
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